सिलिकॉन कार्बाइड आईसीपी नक़्क़ाशी प्लेट उच्च शुद्धता वाले सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक द्वारा निर्मित अपरिहार्य वेफर धारक है। सेमीकोरेक्स द्वारा विशेष रूप से डिजाइन किया गया, यह अत्याधुनिक सेमीकंडक्टर उद्योग में प्रेरक रूप से युग्मित प्लाज्मा (आईसीपी) नक़्क़ाशी और जमाव प्रणालियों के लिए महत्वपूर्ण प्रवर्तकों के रूप में कार्य करता है।
सिलिकॉन कार्बाइड आईसीपी नक़्क़ाशी प्लेटनक़्क़ाशी संचालन में वेफर्स के लिए स्थिर समर्थन और सटीक स्थिति प्रदान करने में सक्षम है, जो कंपन या विस्थापन के कारण नक़्क़ाशी परिशुद्धता में कमी को कुशलतापूर्वक रोकता है।
सिलिकॉन कार्बाइड आईसीपी एचिंग प्लेट में थर्मल प्रबंधन क्षमताएं हैं। बेहतर तापीय चालकताएसआईसी सिरेमिकसिलिकॉन कार्बाइड आईसीपी एचिंग प्लेट को गर्मी को तेजी से खत्म करने की क्षमता देता है, जो वर्कपीस की स्थानीय ओवरहीटिंग को रोकने में मदद करता है और नक़्क़ाशी तापमान की एकरूपता सुनिश्चित करता है, जिससे नक़्क़ाशी की गुणवत्ता में सुधार होता है। SiC सिरेमिक में थर्मल विस्तार का कम गुणांक होता है, जो सिलिकॉन कार्बाइड ICP नक़्क़ाशी प्लेट को अच्छी आयामी स्थिरता बनाए रखने और थर्मल विस्तार के कारण वर्कपीस विस्थापन या विरूपण को कम करने की अनुमति देता है।
अपनी उत्कृष्ट कठोरता और ताकत गुणों पर भरोसा करते हुए, सिलिकॉन कार्बाइड आईसीपी एचिंग प्लेट न्यूनतम विरूपण या क्षति के साथ नक़्क़ाशी प्रक्रिया के दौरान आने वाले यांत्रिक तनाव और प्लाज्मा प्रभाव को सहन करने की क्षमता दिखाती है। यह क्षमता अर्धचालक उपकरणों की उपज और उत्पादन क्षमता में प्रभावी ढंग से सुधार करती है।
आईसीपी ऑपरेटिंग वातावरण को अर्धचालक स्तर की सफाई की आवश्यकता होती है। सेमीकोरेक्स की सिलिकॉन कार्बाइड आईसीपी नक़्क़ाशी प्लेट पूरी तरह से इस आवश्यकता को पूरा कर सकती है, जो रासायनिक गैसों (जैसे क्लोरीन और फ्लोरीन) और आईसीपी नक़्क़ाशी वातावरण के प्लाज्मा के लिए असाधारण प्रतिरोध प्रदान करती है। यह महत्वपूर्ण विशेषता नक़्क़ाशी कार्यों के दौरान निकलने वाले दूषित पदार्थों की मात्रा को कम करके प्रक्रिया के वातावरण को साफ़ रखती है।
सेमीकोरेक्स उपयोगकर्ता की सुविधा को प्राथमिकता देता है, सिलिकॉन कार्बाइड आईसीपी एचिंग प्लेट के अनुकूलित डिज़ाइन की पेशकश करता है जो मौजूदा आईसीपी एचिंग सिस्टम के साथ सहजता से एकीकृत होता है और विभिन्न कॉन्फ़िगरेशन के साथ संगत होता है। यह एक सुचारु परिवर्तन की अनुमति देता है, जिससे यह उपकरण निर्माताओं के लिए एक आदर्श अपग्रेड समाधान बन जाता है।