सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नावें

प्रीमियम सामग्री चयन

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक के उत्कृष्ट गुणवेफ़र नावेंउच्च गुणवत्ता वाले कच्चे माल के कारण हैं। सेमीकंडक्टर-ग्रेड SiSiC सामग्री से निर्मित और CVD SiC कोटिंग से ढकी, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नावें निम्नलिखित उत्कृष्ट गुणों का प्रदर्शन करती हैं।

1.अल्ट्रा-उच्च शुद्धता, धातु अशुद्धता रिलीज से मुक्त

सब्सट्रेट अशुद्धता: ＜100 पीपीएम

सीवीडी एसआईसी कोटिंग अशुद्धता: ＜1 पीपीएम

2.सुपीरियर थर्मल स्थिरता

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नावें 1250℃ उच्च तापमान की स्थिति में लगातार प्रदर्शन करने में सक्षम हैं, जिससे न्यूनतम विरूपण और रेंगना प्रतिरोध होता है।

3. उच्च यांत्रिक शक्ति

सिलिकन कार्बाइडइसमें उच्च कठोरता और पहनने का प्रतिरोध है, जो सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नौकाओं को खरोंच, घर्षण और क्षति का प्रतिरोध करने में सक्षम बनाता है, इस प्रकार दीर्घकालिक संचालन के दौरान अच्छा प्रदर्शन करता है और क्षति के प्रति प्रतिरोधी होता है।

4. असाधारण संक्षारण प्रतिरोध

क्योंकि सिलिकॉन कार्बाइड मजबूत एसिड और क्षार से जंग के प्रति प्रतिरोधी है, सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नावें अत्यधिक संक्षारक कामकाजी परिस्थितियों में भी अपनी संरचनात्मक अखंडता और कार्यात्मक प्रदर्शन को बनाए रख सकती हैं।

अनुकूलित संरचनात्मक डिजाइन

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नौकाओं को बैच वेफर प्रसंस्करण के लिए डिज़ाइन किया गया है, उनका अनुकूलित संरचनात्मक ढांचा प्रत्येक वेफर के लिए स्थिर बैच वेफर समर्थन और लगातार प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करता है।

1.3-पोस्ट ऊर्ध्वाधर समर्थन संरचना

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नौकाओं की ऊर्ध्वाधर संरचना उन्हें ऊर्ध्वाधर भट्ठी अनुप्रयोगों से सहजता से मेल खाने में सक्षम बनाती है। इस संरचना के साथ, एमिकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नावें उच्च तापमान भट्ठी के भीतर प्रक्रिया गैसों के सजातीय परिसंचरण और थर्मल ऊर्जा के समान वितरण की सुविधा प्रदान कर सकती हैं।

2. समान रूप से वितरित स्लॉट पिंच

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नावें अपने समर्थन पदों पर कई सटीक-मशीनीकृत स्लॉट पिंच से सुसज्जित हैं। उनके समान दूरी वाले स्लॉट पिंच उचित स्लॉट स्पेसिंग प्राप्त करते हैं, जो सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नौकाओं को सेमीकंडक्टर वेफर्स को मजबूती से सुरक्षित करने में सक्षम बनाता है, जिससे वेफर थर्मल प्रसंस्करण परिणामों की स्थिरता में सुधार करने में योगदान मिलता है।

इतने सारे उत्कृष्ट प्रदर्शन और कार्यों के साथ, सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नौकाओं का व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर वेफर निर्माण की मुख्य प्रक्रियाओं, जैसे ऑक्सीकरण, प्रसार, आयन आरोपण और उच्च तापमान एनीलिंग में उपयोग किया जाता है।