सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नाव

सेमीकोरेक्स ऊर्ध्वाधर/स्तंभ और क्षैतिज दोनों विन्यासों के लिए वेफर नावें, पेडस्टल्स और कस्टम वेफर वाहक प्रदान करता है। हम कई वर्षों से सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग फिल्म के निर्माता और आपूर्तिकर्ता रहे हैं। हमारी सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नाव की कीमत अच्छी है और यह अधिकांश यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करती है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।

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उत्पाद वर्णन

सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर बोट, सेमीकंडक्टर निर्माण में वेफर हैंडलिंग और सुरक्षा के लिए अंतिम समाधान।
हमारी सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नाव सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) की एक परत के साथ लेपित उच्च गुणवत्ता वाली सामग्री से बनी है, जिसमें CVD विधि का उपयोग किया गया है, जिसमें संक्षारण के लिए अच्छा प्रतिरोध और उच्च तापमान और थर्मल शॉक के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध है। उन्नत सिरेमिक उच्च क्षमता वाले वेफर वाहकों के लिए कणों और संदूषकों को कम करते हुए उत्कृष्ट थर्मल प्रतिरोध और प्लाज्मा स्थायित्व प्रदान करते हैं।

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नाव के पैरामीटर

तकनीकी गुण
अनुक्रमणिका	इकाई	कीमत
सामग्री का नाम		रिएक्शन सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड	दबाव रहित सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड	पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड
संघटन		आरबीएसआईसी	एसएसआईसी	आर-SiC
थोक घनत्व	जी/सेमी3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
आनमनी सार्मथ्य	एमपीए (केपीएसआई)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
सम्पीडक क्षमता	एमपीए (केपीएसआई)	1120(158)	3970(560)	> 600
कठोरता	बटन	2700	2800	/
दृढ़ता को तोड़ना	एमपीए एम1/2	4.5	4	/
ऊष्मीय चालकता	डब्ल्यू/एम.के	95	120	23
थर्मल विस्तार का गुणांक	10^-6.1/डिग्री सेल्सियस	5	4	4.7
विशिष्ट ऊष्मा	जूल/जी 0k	0.8	0.67	/
हवा में अधिकतम तापमान	℃	1200	1500	1600
लोचदार मापांक	जीपीए	360	410	240

एसएसआईसीसी और आरबीएसआईसीसी के बीच अंतर:

1. सिंटरिंग प्रक्रिया अलग है। आरबीएसआईसी को कम तापमान पर सिलिकॉन कार्बाइड में मुक्त सी को घुसपैठ करना है, एसएसआईसीसी 2100 डिग्री पर प्राकृतिक संकोचन से बनता है।

2. SSiC में चिकनी सतह, उच्च घनत्व और उच्च शक्ति होती है, अधिक सख्त सतह आवश्यकताओं के साथ कुछ सीलिंग के लिए, SSiC बेहतर होगा।

3. अलग-अलग PH और तापमान के तहत अलग-अलग उपयोग किया गया समय, SSiC, RBSiC से अधिक लंबा है

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक वेफर नाव की विशेषताएं

बेहतर गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता
चिकनी सतह के लिए महीन SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई के खिलाफ उच्च स्थायित्व
सामग्री को डिज़ाइन किया गया है ताकि दरारें और प्रदूषण न हो।