सिलिकॉन कार्बाइड कैसेट नावें

सेमीकोरेक्ससिलिकॉन कार्बाइड कैसेट नावेंअपनी स्थिर और उच्च शक्ति संरचना के साथ अपरिहार्य ले जाने वाले घटक हैं, जो कई अर्धचालक वेफर्स को सुरक्षित रूप से और सटीक रूप से पकड़ते हैं, स्थानांतरित करते हैं और संभालते हैं। लगातार प्रसंस्करण परिणामों के लिए अनुकूलित गर्मी और गैस प्रवाह वितरण सुनिश्चित करने के लिए विभिन्न उच्च तापमान अर्धचालक प्रक्रियाओं में उनका व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।

सावधानीपूर्वक चयनित कच्चा माल

उच्च तापमान सिंटरिंग के माध्यम से सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड पाउडर से सटीक रूप से निर्मित, सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड कैसेट नौकाओं में निम्नलिखित उत्कृष्ट गुण होते हैं।

1.अति उच्च शुद्धता:सब्सट्रेट की अशुद्धता सामग्री को 100 पीपीएम से नीचे और अशुद्धता स्तर पर नियंत्रित किया जाता हैसीवीडी सिलिकॉन कार्बाइडकोटिंग 1 पीपीएम से कम तक पहुंच सकती है।

2. विश्वसनीय संक्षारण प्रतिरोध:सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक मजबूत संक्षारण प्रतिरोध प्रदान करता है, और यह अधिकांश एसिड (जैसे हाइड्रोक्लोरिक एसिड, सल्फ्यूरिक एसिड और हाइड्रोफ्लोरिक एसिड), क्षार (जैसे कास्टिक सोडा), सॉल्वैंट्स और ऑक्सीकरण मीडिया से संक्षारण प्रतिरोधी है।

3.असाधारण थर्मल प्रबंधन क्षमता:असाधारण थर्मल प्रतिरोध और कम थर्मल विस्तार गुणांक के साथ, सिलिकॉन कार्बाइड कैसेट नावें अपने रासायनिक गुणों और यांत्रिक शक्ति को बनाए रख सकती हैं, तब भी जब वे 1250 डिग्री सेल्सियस के आसपास उच्च तापमान पर लंबे समय तक परिचालन स्थितियों के संपर्क में रहती हैं।

परिशुद्धता-इंजीनियर्ड संरचना

1. क्षैतिज फ़्रेम संरचना:सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड कैसेट नावों की क्षैतिज फ्रेम संरचना उन्हें क्षैतिज उच्च तापमान भट्ठी ट्यूबों में पूरी तरह से फिट बनाती है।

2. समान दूरी पर स्लॉट नॉच:कई समान रूप से दूरी वाले स्लॉट नॉच की विशेषता के साथ, सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड कैसेट नावें वेफर को मजबूती से पकड़ सकती हैं, जो वेफर विस्थापन के परिणामस्वरूप होने वाली अवांछित खरोंच, घर्षण और क्षति को काफी हद तक रोक सकती हैं, इस प्रकार प्रभावी ढंग से सेमीकंडक्टर प्रक्रिया स्थिरता और वेफर उपज सुनिश्चित करती हैं।

3. मल्टी-स्लॉट डिज़ाइन:कई वेफर्स ले जाने के लिए डिज़ाइन किए गए कई स्लॉट सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड कैसेट नौकाओं को उनके एकल-बैच प्रसंस्करण थ्रूपुट और समग्र उत्पादन दक्षता में सुधार करने में सक्षम बनाते हैं।

4. खुली वास्तुकला:सेमीकोरेक्स सिलिकॉन कार्बाइड कैसेट नावें विचारशील खुली वास्तुकला से सुसज्जित हैं, जो समान गैस वितरण और पर्याप्त प्रतिक्रिया संपर्क प्राप्त करने में मदद कर सकती हैं, जिससे असंगत प्रक्रिया परिणामों को प्रभावी ढंग से कम किया जा सकता है।