सिलिकॉन कार्बाइड बोट्स

अर्धविराम सिलिकॉन कार्बाइड नावें असाधारण थर्मल स्थिरता का प्रदर्शन करती हैं, जिससे उन्हें ऑक्सीकरण और प्रसार प्रक्रियाओं के लिए आवश्यक चरम तापमान का सामना करना पड़ता है। उनका उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध क्रैकिंग या विरूपण के जोखिम को कम करता है, जिससे लंबे समय तक परिचालन दीर्घायु सुनिश्चित होता है। उच्च घनत्व SIC रचना बेहतर यांत्रिक शक्ति प्रदान करती है, निरंतर थर्मल साइकिलिंग के तहत भी संरचनात्मक अखंडता को बनाए रखती है। यांत्रिक तनाव के लिए यह असाधारण प्रतिरोध वेफर संदूषण और टूटने की संभावना को कम करता है, उच्च प्रक्रिया पैदावार में योगदान देता है। इसके अलावा, एसआईसी नौकाओं में उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध होता है, ऑक्सीकरण और प्रसार चरणों में उपयोग की जाने वाली आक्रामक प्रक्रिया गैसों के लिए शेष निष्क्रिय। यह विशेषता अवांछित प्रतिक्रियाओं को रोकती है जो वेफर शुद्धता और उत्पादन दक्षता से समझौता कर सकती है।

सिलिकॉन कार्बाइड नौकाओं का उपयोग मुख्य रूप से ऑक्सीकरण और प्रसार भट्टियों में किया जाता है, जहां उच्च तापमान और प्रतिक्रियाशील गैसों के लिए वेफर एक्सपोज़र पर सटीक नियंत्रण आवश्यक है। वे उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन डाइऑक्साइड परतों को विकसित करने के लिए थर्मल ऑक्सीकरण के दौरान वेफर्स का समर्थन करते हैं और डोपेंट गैसों के लिए नियंत्रित जोखिम के माध्यम से समान डोपिंग की सुविधा प्रदान करते हैं। इसके अतिरिक्त, वे annealing और अन्य उच्च तापमान उपचारों के लिए एक स्थिर मंच प्रदान करते हैं जिन्हें लंबे समय तक गर्मी के संपर्क में आने की आवश्यकता होती है।

पारंपरिक क्वार्ट्ज और ग्रेफाइट नौकाओं की तुलना में, सिलिकॉन कार्बाइड नावें बेजोड़ स्थायित्व, दीर्घायु और प्रदर्शन प्रदान करती हैं। संदूषण को कम करते हुए कठोर थर्मल और रासायनिक वातावरण का सामना करने की उनकी क्षमता उन्हें उच्च-सटीक अर्धचालक विनिर्माण के लिए पसंदीदा विकल्प बनाती है। गुणवत्ता और नवाचार पर ध्यान केंद्रित करने के साथ, हमारी सिलिकॉन कार्बाइड नावें बेहतर प्रदर्शन प्रदान करती हैं, जिससे दुनिया भर में अर्धचालक निर्माताओं के लिए उच्च पैदावार और कुशल वेफर प्रसंस्करण सुनिश्चित होता है। चाहे उन्नत नोड प्रौद्योगिकियों या विरासत सेमीकंडक्टर फैब्रिकेशन के लिए, ये नावें कड़े उद्योग की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए एक विश्वसनीय समाधान प्रदान करती हैं।

(1) ले जाने और संरक्षण: सिलिकॉन कार्बाइड नावें अपने आंतरिक कोष्ठक या स्लॉट के माध्यम से वेफर्स जैसे अर्धचालक सामग्री को ले जाती हैं, और बाहरी वातावरण से वेफर्स की रक्षा के लिए सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री के उच्च तापमान और संक्षारण प्रतिरोध का उपयोग करती हैं।

(२) समान हीटिंग: सिलिकॉन कार्बाइड बोट वेफर्स को गर्मी उपचार प्रक्रिया के दौरान समान रूप से गर्म होने की अनुमति देता है। यह यह सुनिश्चित करने में मदद करता है कि वेफर के प्रत्येक भाग का तापमान और प्रतिक्रिया दर गर्मी उपचार प्रक्रिया के दौरान सुसंगत रहे, जिससे वेफर की उपज और गुणवत्ता में सुधार हो।

वर्तमान में तीन मुख्य प्रकार हैंसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिकसामग्री: प्रतिक्रिया sintering, दबाव रहित sintering, और recrystallization sintering। अधिकांश अनुप्रयोगों में, प्रतिक्रिया सिनडेड सिलिकॉन कार्बाइड एक अधिक उपयुक्त और लागत प्रभावी उत्पाद है। पुनर्संयोजित SIC नावों को आमतौर पर sinter और पहले कई इकाई भागों को संसाधित किया जाता है, फिर उच्च तापमान पर एक नाव में भागों को संयोजित करने के लिए Si पेस्ट का उपयोग करें, और अंत में CVD-SIC कोटिंग (लगभग 100UM) लागू करें। चूंकि पुनर्संरचना छिद्रपूर्ण है, अगर कोई SIC कोटिंग नहीं है, तो यह अर्धचालक प्रक्रिया में आंशिकों को भी पेश करेगा। सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के साथ इस प्रकार की पुनर्नवीनीकरण एसआईसी नाव में सबसे लंबी विनिर्माण प्रक्रिया है और यह बहुत महंगा है। SIC लेपित ग्रेफाइट नौकाओं की तुलना में, CVD-SIC कोटेड पुनरावर्ती SIC नावों में कोई CTE बेमेल समस्या नहीं है।