वर्टिकल बोट्स

अर्धरेक्स एसआईसी वर्टिकल बोट्स इंजीनियर वेफर वाहक हैं, जो ऊर्ध्वाधर भट्ठी सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के लिए उच्चतम थर्मल, यांत्रिक और रासायनिक स्थिरता प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किए गए और निर्मित हैं। उच्च शुद्धता का निर्माणसिलिकन कार्बाइड, हम मानते हैं कि वे बहुत उन्नत वेफर थर्मल प्रसंस्करण के लिए शक्ति, स्थायित्व और स्वच्छता का सबसे अच्छा संतुलन हैं, जिसे ऑक्सीकरण, प्रसार, एलपीसीवीडी के रूप में जाना जाता है, और ऊर्ध्वाधर भट्ठी प्रणालियों में एनीलिंग है।

ऊर्ध्वाधर भट्ठी प्रसंस्करण वातावरण में एक वेफर सपोर्ट सिस्टम की आवश्यकता होती है जो उच्च तापमान पर बार-बार एक्सपोज़र का सामना कर सकती है, जो अक्सर 1,200 डिग्री सेल्सियस से अधिक हो जाती है, और संदूषण के मुद्दों के बिना डिमेन-सियाई रूप से स्थिर रहती है। Sic ऊर्ध्वाधर नावें इन स्थितियों में उनकी मजबूती में उत्कृष्टता प्राप्त करती हैं क्योंकि पुनरावर्ती या CVD सिलिकॉन कार्बाइड के आंतरिक यांत्रिक और थर्मल गुणों के कारण। उनका बेहद कम थर्मल विस्तार गुणांक तेजी से थर्मल साइकिलिंग के कारण न्यूनतम वॉरपेज या विरूपण सुनिश्चित करता है। इसके अतिरिक्त, उच्च तापीय चालकता, सभी वेफर्स में सबसे बड़ी स्थानीय तापमान समरूपता प्रदान करती है, जो परत की मोटाई, डोपिंग प्रोफाइल और विद्युत प्रदर्शन में वेफर-टू-वेफर स्थिरता के लिए महत्वपूर्ण है; अर्धचालक उद्योग में उच्च-मात्रा विनिर्माण के महत्वपूर्ण पहलू।

पारंपरिक क्वार्ट्ज नावों की तुलना में, एसआईसी वर्टिकल बोट्स बेहतर मैकेनिकल स्ट्रेंथ और विस्तारित सेवा जीवन प्रदान करते हैं। क्वार्ट्ज समय के साथ भंगुर और विचलित हो जाता है, विशेष रूप से आक्रामक भट्टी केमिस्ट्री में, उच्च प्रतिस्थापन लागत और संभावित उत्पादन रुकावटों के लिए अग्रणी। इसके विपरीत, सिलिकॉन कार्बाइड क्लोरीन, एचसीएल, या अमोनिया जैसे संक्षारक गैसों के लंबे समय तक संपर्क के बाद भी अपनी अखंडता बनाए रखता है, जो विभिन्न प्रसार और एलपीसीवीडी प्रक्रियाओं में आम हैं। इसके असाधारण पहनने और ऑक्सीकरण प्रतिरोध कण पीढ़ी को बहुत कम कर देता है, जिससे संदूषण और दोष गठन से सतहों को सुरक्षित रखने में मदद मिलती है।

एसआईसी वर्टिकल बोट्स भी अल्ट्रा-क्लीन प्रोसेसिंग के संदर्भ में एक महत्वपूर्ण लाभ प्रदान करते हैं। उच्च शुद्धता वाले SIC सामग्री को पहचान योग्य ट्रेस दूषित धातुओं को कम करने के लिए सख्त परिश्रम के तहत संसाधित किया जाता है जो अर्धचालक उपकरणों की परिचालन विशेषताओं में हस्तक्षेप कर सकते हैं। एसआईसी वर्टिकल बोट सतहों को अच्छी तरह से सही-कोण विशेषताओं के साथ समाप्त कर दिया जाता है जो सूक्ष्म कणों के बहाने की संभावना को कम करते हैं। एसआईसी सतह रासायनिक रूप से अक्रिय हैं और प्रक्रिया गैसों के साथ प्रतिक्रिया नहीं करते हैं और इसलिए संदूषण की संभावना कम होती है। इस संबंध में, एसआईसी वर्टिकल बोट्स लाइन (FEOL) के सामने के छोर और लाइन (BEOL) वेफर प्रोसेसिंग ऑपरेशंस के पीछे के छोर के लिए अच्छी तरह से अनुकूल हैं।

एसआईसी वर्टिकल बोट्स भी डिजाइन लचीलापन प्रदान करते हैं। प्रत्येक ऊर्ध्वाधर नाव कई वेफर व्यास (150 मिमी, 200 मिमी या 300 मिमी वेफर्स) को समायोजित करने के लिए डिज़ाइन-विशिष्ट हो सकती है और स्लॉट नंबर और स्पेसिंग का उपयोग प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए किया जा सकता है। सटीक मशीनिंग और आयामी नियंत्रण उचित वेफर संरेखण के लिए अनुमति देते हैं और वेफर समर्थन लोडिंग, प्रसंस्करण और अनलोडिंग के दौरान किसी भी माइक्रो-स्क्रैच या तनाव दरार की संभावना को कम करते हैं। इसके अलावा, यदि किसी विशेष प्रक्रिया के लिए बेहतर तापमान एकरूपता और / या कम थर्मल द्रव्यमान की आवश्यकता होती है, तो अनुकूलित ज्यामितीय और स्लॉट डिज़ाइन को किसी भी यांत्रिक गुणों का त्याग किए बिना, एसआईसी वर्टिकल बोट कॉन्फ़िगरेशन में शामिल किया जा सकता है।

एक अन्य लाभ रखरखाव और परिचालन दक्षता है। का कठोर निर्माणसिकऊर्ध्वाधर नावें प्रतिस्थापन समय और आवृत्ति को कम करती हैं, जिससे डाउनटाइम या स्वामित्व की लागत कम हो जाती है। SIC का थर्मल शॉक प्रतिरोध हीटिंग और कूलिंग के छोटे चक्रों के लिए उत्पादन लाइनों पर उच्च थ्रूपुट देने के लिए अनुमति देता है। एसआईसी ऊर्ध्वाधर नावों का रखरखाव या सफाई भी बहुत सरल है; सामग्री सेमीकंडक्टर फैब्स में आम तौर पर एसिड के साथ रासायनिक सफाई और उच्च तापमान वाले बेक-आउट के रूप में सामान्य पारंपरिक गीले या सूखे सफाई प्रक्रियाओं को सहन कर सकती है।

परिष्कृत अर्धचालक निर्माण के इस आधुनिक युग में जहां उपज में सुधार, संदूषण नियंत्रण और प्रक्रिया में स्थिरता का सभी महत्व है, एसआईसी वर्टिकल बोट्स एक सच्चे तकनीकी लाभ प्रदान करते हैं। वे ऊर्ध्वाधर भट्ठी अनुप्रयोगों की भौतिक और रासायनिक चुनौतियों के साथ अच्छी तरह से व्यवहार करते हैं और वेफर अखंडता, लगातार परिणाम और उपकरणों के जीवन को लंबे समय तक वितरित करके समग्र प्रक्रिया अनुकूलन में योगदान करते हैं।