Sic रोबोट हाथ

अर्धविराम Sic रोबोट हैंड्स सेमीकंडक्टर मैन्युफैक्चरिंग के क्षेत्र में रोबोटिक्स वेफर ट्रांसफर अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किए गए अंतिम-प्रभावितों में नवीनतम हैं। उच्च प्रदर्शन सामग्री के साथ बनाया गया, हमने इन रोबोटिक हाथों को सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) सिरेमिक के साथ अधिकतम थर्मल सारणीकरण, रासायनिक स्थिरता और वेफर निर्माण या हैंडलिंग के तेजी से कठोर वातावरण के लिए यांत्रिक शक्ति प्रदान करने के लिए इंजीनियर किया।

हमारे sic रोबोट हाथों के लिए केंद्रीय हमारे मालिकाना उन्नत हैसिलिकन कार्बाइडअपनी उच्च कठोरता (MOHS 9), उच्च तापीय चालकता और संक्षारण प्रतिरोध के लिए जाना जाता है। एल्यूमीनियम या स्टेनलेस स्टील जैसी पारंपरिक सामग्रियों के विपरीत, एसआईसी संसाधित उच्च तापमान और प्रतिक्रियाशील गैसों सहित अर्धचालक क्लीनरूम के कठोर प्रसंस्करण वातावरण के साथ संगत है। हम दीर्घकालिक स्थायित्व प्रदान करते हैं और संदूषण को कम करते हैं, वेफर विनिर्माण के लिए आवश्यक सख्त शुद्धता के अनुरूप हैं।

SIC रोबोट हाथों के साथ सेमीकंडक्टर उपकरण वेफर को प्राप्त करने के लिए नकारात्मक दबाव सक्शन का उपयोग करते हैं, यानी, अर्धचालक वेफर को सक्शन कप सिद्धांत का उपयोग करके क्वार्ट्ज या सिरेमिक उंगली पर adsorbed किया जाता है, जिसके बाद क्रमशः एक यांत्रिक एक्शन आर्म का उपयोग किया जाता है, जो एक यांत्रिक एक्शन आर्म विस्तार, घूर्णन और उठाने की गति का उपयोग करता है।

"हाई स्पीड" और "स्वच्छता" अर्धचालक वेफर हैंडलिंग उपकरण की मुख्य विशेषताएं हैं। इन विशेषताओं को पूरा करने के लिए, उपकरणों को उपयोग किए गए घटकों के प्रदर्शन पर बेहद कड़े आवश्यकताएं हैं। चूंकि अधिकांश प्रक्रियाएं एक वैक्यूम, उच्च तापमान और संक्षारक गैस वातावरण में की जाती हैं, इसलिए उपकरणों में उपयोग किए जाने वाले हैंडलिंग आर्म में उत्कृष्ट भौतिक गुण होना चाहिए, जैसे: उच्च यांत्रिक शक्ति, संक्षारण प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिरोध, पहनने के प्रतिरोध, उच्च कठोरता, इन्सुलेशन, आदि, और उन्नत सिरेमिक सामग्री बस इन स्थितियों को पूरा कर सकती है।

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिकघने बनावट, उच्च कठोरता, उच्च पहनने के प्रतिरोध के साथ -साथ अच्छी गर्मी प्रतिरोध, उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति, उच्च तापमान वातावरण में अच्छा इन्सुलेशन, अच्छा संक्षारण प्रतिरोध और अन्य भौतिक गुणों के भौतिक गुण हैं। यह अर्धचालक उपकरण हथियारों को संभालने के लिए एक उत्कृष्ट सामग्री है।

यह मानते हुए कि रोबोट प्लेटफॉर्म फैब्स और टूल निर्माताओं में भिन्न होते हैं, हमारे एसआईसी रोबोट हाथ मानकीकृत आकारों की एक सीमा में उपलब्ध हैं और इसे अद्वितीय टूल कॉन्फ़िगरेशन के लिए अनुकूलित किया जा सकता है। माउंटिंग इंटरफेस, फिंगर ज्यामितीय और वेफर सपोर्ट फीचर्स को विशिष्ट उपकरण और प्रक्रिया की जरूरतों को पूरा करने के लिए सिलवाया जा सकता है। चाहे आप क्लस्टर टूल, वैक्यूम चेम्बर्स, या फुप सिस्टम के भीतर वेफर्स को स्थानांतरित कर रहे हों, हमारे रोबोट हाथ प्रमुख रोबोटिक्स ब्रांडों के साथ मूल रूप से एकीकृत करते हैं।

प्रत्येक SIC रोबोट हाथ क्लास 1 क्लीनरूम मानकों के अनुपालन को सुनिश्चित करने के लिए कठोर सफाई, निरीक्षण और पैकेजिंग प्रक्रियाओं से गुजरता है। एसआईसी की गैर-छिद्रपूर्ण, एंटी-स्टैटिक सतह कण आसंजन को कम करती है, जबकि मजबूत संरचना माइक्रोफ्रैक्ट्रर्स का विरोध करती है जो समय के साथ कण पीढ़ी को जन्म दे सकती है। यह उन्हें फ्रंट-एंड वेफर प्रक्रियाओं के लिए आदर्श बनाता है जहां मामूली संदूषण भी डिवाइस की विफलता को जन्म दे सकता है।

एपिटैक्सी और आयन इम्प्लांटेशन से लेकर पीवीडी, सीवीडी, और सीएमपी तक, एसआईसी रोबोट हैंड्स को सेमीकंडक्टर डिवाइस फैब्रिकेशन के हर चरण में भरोसा किया जाता है। थर्मल शॉक और प्लाज्मा वातावरण के लिए उनका बेहतर प्रतिरोध उन्हें उन्नत तर्क और पावर सेमीकंडक्टर लाइनों में अपरिहार्य बनाता है, विशेष रूप से जहां एसआईसी वेफर सब्सट्रेट का उपयोग किया जाता है।