SiC प्रक्रिया ट्यूब

सेमीकोरेक्स SiC (सिलिकॉन कार्बाइड) प्रक्रिया ट्यूब एक विशेष घटक है जिसका उपयोग वेफर ताप उपचार प्रक्रियाओं में किया जाता है, विशेष रूप से उन अनुप्रयोगों में जिनके लिए उच्च तापमान, संक्षारक वातावरण या दोनों की आवश्यकता होती है। इसे ताप उपचार या थर्मल प्रसंस्करण के दौरान अर्धचालक वेफर्स के लिए एक सुरक्षात्मक और नियंत्रित वातावरण प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।

प्रक्रिया ट्यूब को एक सीलबंद कक्ष बनाने के लिए सावधानीपूर्वक इंजीनियर किया जाता है जहां गर्मी उपचार के लिए वेफर्स रखे जाते हैं। यह एक अवरोधक के रूप में कार्य करता है, जो आसपास के वातावरण के साथ वेफर्स के सीधे संपर्क को रोकता है। प्रसंस्करण वातावरण की शुद्धता बनाए रखने और वेफर्स को संदूषण से बचाने के लिए यह अलगाव महत्वपूर्ण है।

SiC प्रक्रिया ट्यूब के अंदर, वेफर ताप उपचार होता है। इसमें वेफर सामग्री के गुणों को संशोधित करने के लिए आवश्यक विभिन्न प्रक्रियाएं जैसे एनीलिंग, ऑक्सीकरण, प्रसार और अन्य थर्मल उपचार शामिल हो सकते हैं। ट्यूब के गुण, जैसे इसकी उच्च तापीय चालकता और रासायनिक हमले के प्रतिरोध, वेफर्स के समान तापमान वितरण और सुरक्षा सुनिश्चित करने में मदद करते हैं।

वेफर ताप उपचार प्रक्रियाओं में SiC प्रक्रिया ट्यूब महत्वपूर्ण घटक हैं। उनका उच्च तापमान प्रतिरोध, रासायनिक जड़ता और नियंत्रित वातावरण बनाने की क्षमता थर्मल प्रसंस्करण चरणों के सफल निष्पादन को सुनिश्चित करती है, जिससे उच्च गुणवत्ता वाले अर्धचालक वेफर्स का उत्पादन होता है।