सिस पाइप

अर्धचालक SIC पाइप अर्धचालक भट्ठी प्रणालियों के लिए सिरेमिक भाग हैं।  उनके पास अद्वितीय गुण होते हैं जिनमें उच्च थर्मल ट्रांसमिशन और उच्च तापमान और रासायनिक प्रतिरोध शामिल होते हैं जो अर्धचालक अनुप्रयोगों में आवश्यक होते हैं जहां चरम उच्च तापमान और रासायनिक पर्यावरणीय स्थिति होती है जो अपेक्षित होती हैं और जहां गुण वांछनीय होते हैं - स्थायित्व, ऊर्जा दक्षता, और अद्वितीय स्थिर प्रक्रिया स्थितियां - जो उन्नत सेमीकंडक्टर विनिर्माण वातावरण में आर्थिक होने की अनुमति देती है।

अर्धविराम sic पाइप एक उच्च शुद्धता ठीक-दाने का उपयोग करते हैंसिलिकन कार्बाइडयह उन्नत सिंटरिंग और पुनर्संरचना विधियों और तकनीकों के परिणामस्वरूप असाधारण उच्च तापमान यांत्रिक स्थिरता के लिए निर्मित है। उच्च प्रदर्शन वाले एसआईसी के सक्षम होने से असाधारण यांत्रिक शक्ति और उच्च परिचालन तापमान पर थर्मल स्थिरता की अवधारण होती है। SIC में असाधारण कठोरता है जो पहनने, या संभावित विरूपण को कम करती है।  इसके अतिरिक्त, एसआईसी गुणों से जुड़ी विशेषताएँ कम-ईंधन के सह-कुशल थर्मल विस्तार के कम-ईंधन सह-कुशल हैं क्योंकि वे थर्मल तनाव को सीमित करते हैं क्योंकि चरम उच्च और कम ऑपरेटिंग गर्मी के बीच इस सामग्री को साइकिल चलाने के लिए आवश्यकताएं होंगी। इन सभी विचारों में वे प्रसार भट्टियों, ऑक्सीकरण भट्टियों और LPCVD/PECVD सिस्टम में आदर्श अनुप्रयोगों के लिए एक विशेष उपयोगिता है, जो अधिकतम स्थिर प्रक्रिया की स्थिति को बनाए रखने के लिए खत्म करने के लिए लाभ के हैं, या सीमा, दोष जो कि वेफर या सामग्री से संबंधित मैट्रिक्स हैं, जो अत्यधिक स्थिर, यहां तक ​​कि प्रक्रिया की स्थिति भी हैं।

SIC पाइपों की एक अन्य महत्वपूर्ण उपयोगिता विशिष्ट परिस्थितियों में उच्च थर्मल चालन प्रोफाइल है और प्रवाहकीय और, महत्वपूर्ण रूप से, इस प्रक्रिया में तापमान का एक समान और स्थिर वितरण का उत्पादन करने के लिए लागू भट्ठी डिजाइन।  यह विश्वसनीय व्यवहार वेफर्स को उचित समय अंतराल में अर्ध-समान तापमान वितरण के संपर्क में आने की अनुमति देता है और इसके अलावा फिल्म जमाव की स्थिति में सुधार करते हुए फ्लैट-बॉटमेड विकृत और/या दोषपूर्ण वेफर्स को कम करने के लिए थर्मल ग्रेडिएंट को सीमित करने के लिए।

रासायनिक स्थिरता और प्रतिरोध एक और महत्वपूर्ण प्रदर्शन कारक है।  अर्धचालक प्रक्रियाओं में, भट्ठी ट्यूब को ऑक्सीजन, हाइड्रोजन, अमोनिया और सभी हैलोजेन सहित अत्यधिक प्रतिक्रियाशील गैसों के प्रभाव के अधीन किया जाता है, जो एक तेजी से फैशन में पारंपरिक सामग्रियों को नीचा कर सकते हैं। घने और गैर-पोते माइक्रोस्ट्रक्चर, एसआईसी की रासायनिक रूप से अक्रिय प्रकृति के साथ, चरम प्रक्रिया वातावरण में परिचालन और यांत्रिक प्रदर्शन प्रदान करते हुए ऑक्सीकरण और जंग से बचाता है।  एसआईसी भट्टियों की स्थायित्व उन्हें लंबे समय तक रूप और आयामी सटीकता की अखंडता को बनाए रखने में मदद करता है, जो प्रक्रिया नियंत्रण और स्थिरता के लिए महत्वपूर्ण है।

SIC पाइपों को आकार और दीवार की मोटाई की एक विस्तृत श्रृंखला में निर्मित किया जा सकता है, ज्यामितीय रूप से भट्ठी के डिजाइन और प्रक्रिया की जरूरतों को पूरा करने के लिए।  SIC पाइप के डिजाइन और उत्पादन के दौरान सटीक सटीक मशीनिंग विशेषताओं को भी बनाए रखा जाता है ताकि लामिना गैस प्रवाह और समान थर्मल प्रोफाइल के संतुलन को बनाए रखने के लिए चिकनी आंतरिक सतहों और उत्कृष्ट संकेंद्रितता के साथ परिचालन सहिष्णुता तंग हो सके। सरफेस पॉलिशिंग और कोटिंग्स को उपचार के विकल्प के रूप में प्रदान किया जा सकता है जो कण पीढ़ी को कम करके और संक्षारण प्रतिरोध में सुधार करके प्रदर्शन को बढ़ाएगा।

SIC पाइपों में क्वार्ट्ज या एल्यूमिना पाइप जैसी वैकल्पिक सामग्रियों की तुलना में स्पष्ट परिचालन और लागत लाभ हैं।  SIC घटकों के लिए प्रारंभिक लागत थोड़ी अधिक हो सकती है, लेकिन उत्पाद का जीवन, टूटना में कमी, और कम रखरखाव की आवश्यकताओं के परिणामस्वरूप स्वामित्व की कुल लागत होती है जो वैकल्पिक सामग्री और पाइपों की तुलना में कम लागत होती है।

निष्कर्ष निकालने के लिए, अर्धविरामसिकसेमीकंडक्टर भट्ठी अनुप्रयोगों के लिए पाइप सबसे अच्छा विकल्प हैं, क्योंकि वे उत्पादन वातावरण की मांग के लिए सर्वश्रेष्ठ थर्मल प्रदर्शन, यांत्रिक शक्ति, रासायनिक प्रतिरोध और विश्वसनीयता प्रदान करते हैं। यह सामग्री प्रक्रिया स्थिरता में सुधार करती है और डाउन-द-रोड लागत बचत और दक्षता (यानी कम ऊर्जा की खपत) में सहायता करती है। SIC पाइप आधुनिक अर्धचालक निर्माण के लिए एक मौलिक सामग्री है।