सीसी ऑक्सीकरण ट्यूब

अर्धविराम एसआईसी ऑक्सीकरण ट्यूब का निर्माण उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक से किया जाता है जो ऑक्सीकरण, प्रसार, या एनीलिंग प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है जो आमतौर पर 1600 डिग्री सेल्सियस पर प्रदर्शन किया जाता है। एक sic भट्ठी, क्षैतिज या ऊर्ध्वाधर के हिस्से के रूप में, यह नियंत्रित वातावरण है जिसे ऑक्सीकरण करते समय वेफर्स को गर्म किया जाता है। ऑक्सीकरण ट्यूब का कार्य बिजली उपकरणों और चौड़े बैंडगैप अर्धचालकों के निर्माण में सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) वेफर्स के थर्मल उपचार के लिए एक स्वच्छ, समान और स्थिर वातावरण प्रदान करना है, जो निरंतर संभावित ऑक्सीकरण प्रक्रिया के एपर्चर के रूप में, ऑक्सीकरण ट्यूब पहले उपयोग के लिए एक उपभोज्य लक्ष्य के रूप में कार्य करता है। जबकि क्वार्ट्ज और एल्यूमिना ट्यूबों को अक्सर समय के साथ -साथ विचलन, युद्ध, या रासायनिक टूटने के माध्यम से टूटते हुए पाया जाता है, सिलिकॉन कार्बाइड में थर्मल शॉक चुनौतियों, यांत्रिक संपत्ति वृद्धि और रासायनिक जड़ता के खिलाफ असाधारण स्थायित्व होता है। ये कारक उच्च विश्वसनीयता, उच्च थ्रूपुट वातावरण में ऑक्सीकरण ट्यूबों के लिए एक बढ़िया विकल्प के रूप में सिलिकॉन कार्बाइड प्राप्त करते हैं।

कोल्ड आइसोस्टैटिक प्रेसिंग और दबाव रहित सिंटरिंग (या रिक्रिस्टलाइज़ेशन) जैसे उन्नत रूपों का उपयोग करते हुए, अर्धविराम SIC ऑक्सीकरण ट्यूबों का उत्पादन करता है जिसमें घने, गैस-तंग और सजातीय माइक्रोस्ट्रक्चर होता है। यह पोरसिटी के जोखिम के बिना ताकत प्रदान करता है, जिससे ऑक्सीकरण प्रक्रिया संदूषण के बिना आगे बढ़ने की अनुमति देती है। SIC में बहुत अधिक थर्मल चालकता होती है, जो वेफर लोड ज़ोन में समान थर्मल वितरण की अनुमति देता है और इस प्रकार थर्मल ग्रेडिएंट को कम करता है जो कि वेफर्स या दोष का कारण बन सकता है। एसिड, ठिकानों और प्रतिक्रियाशील गैसों के लिए ट्यूब का प्रतिरोध वेफर सतह के साथ और भट्ठी के वातावरण के माध्यम से अवांछित रासायनिक बातचीत को रोकता है।

यह रेंगता नहीं है, यह विकृत नहीं है। ट्यूब को उत्पादन के कई चक्रों के बाद प्रतिस्थापित करने की आवश्यकता नहीं है-यह दीर्घकालिक थर्मल साइक्लिंग वातावरण है जो अन्यथा कम सामग्री को नष्ट कर देगा। इसलिए, कोई भी उच्च आवृत्ति रुकावट का मतलब कम परिचालन लागत का मतलब है, और यह किसी भी व्यवधान के बिना प्रक्रिया को प्रवाह रखता है। यह संदूषण जोखिमों को भी कम करता है जो अगली पीढ़ी के अर्धचालक उपकरणों में आसानी से उपज के प्रदर्शन को कम कर सकता है जहां ट्रेस अशुद्धियों में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाई जाती है। अर्धविराम किसी भी भट्ठी प्लेटफॉर्म और उपयोग किए गए नुस्खा के लिए मानक और पूरी तरह से अनुकूलित ट्यूब आयाम दोनों का उत्पादन करता है। आंतरिक और बाहरी व्यास, लंबाई, दीवार की मोटाई, और सतह खत्म सभी पैरामीटर हैं जिन्हें विभिन्न विशिष्ट थर्मल और यांत्रिक आवश्यकताओं को संबोधित करने के लिए समायोजन की आवश्यकता हो सकती है; प्रयोगशाला-पैमाने पर आर एंड डी भट्टियों से लेकर बड़ी विनिर्माण लाइनों तक-प्रत्येक मामले में जहां ट्यूब को प्रदर्शन की गारंटी के लिए मशीनिंग, सफाई और निरीक्षण की आवश्यकता होती है।

गुणवत्ता नियंत्रण प्रत्येक एक SIC ऑक्सीकरण ट्यूब के लिए आयामी जांच, सामग्री घनत्व परीक्षण और थर्मल चक्र विश्वसनीयता सत्यापन के साथ शुरू होता है। एक मजबूत सामग्री ट्रेसबिलिटी सिस्टम अपने कच्चे पाउडर चरण से अंतिम निरीक्षण तक उत्पाद को लॉग करता है। इस तरह की गुणवत्ता ग्राहकों को हमारे एसआईसी ऑक्सीकरण ट्यूबों की दीर्घकालिक स्थिरता और प्रतिलिपि प्रस्तुत करने योग्यता में एक स्थिर हाथ देती है।

अर्धविराम चुनें, और एक आपूर्तिकर्ता में एक भागीदार प्राप्त करें जो बहुत शुरुआत से एक साथ काम करके व्यापक प्रक्रिया नियंत्रण और उत्तरदायी तकनीकी सहायता के साथ उन्नत सिरेमिक इंजीनियरिंग को जोड़ती है। हम आपके विशिष्ट भट्ठी वातावरण, प्रक्रिया आवश्यकताओं और एकीकरण चुनौतियों के बारे में सीखते हैं ताकि हम आपको अपने प्रक्रिया परिणामों के साथ -साथ टूल अपटाइम में सुधार करने वाले अनुकूलित समाधानों की पेशकश कर सकें।

अर्धविराम एसआईसी ऑक्सीकरण ट्यूब रासायनिक स्थिरता और यांत्रिक शक्ति के साथ सर्वोत्तम संभव थर्मल प्रदर्शन प्रदान करता है। यह ऑक्सीकरण और उन्नत अर्धचालक सामग्री के दौरान एक समान थर्मल वातावरण प्रदान करके किसी भी उच्च तापमान वाले एसआईसी प्रसंस्करण प्रणाली का दिल बन जाता है। उन निर्माताओं के लिए जिन्हें भट्ठी के घटकों को विश्वसनीय, स्वच्छ और लंबे समय तक चलने के लिए आवश्यकता होती है, अर्धविराम ज्ञान और अनुभव द्वारा समर्थित एक उत्पाद पसंद होगा और साथ ही साथ सर्वश्रेष्ठ से कम कुछ भी नहीं देने के मानक भी होंगे।