SiC मल्टी पॉकेट रिसीवर

सेमीकोरेक्स SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टर का आधार अल्ट्रा-हाई प्योरिटी आइसोट्रोपिक ग्रेफाइट है, जो अपनी थर्मल स्थिरता और थर्मल शॉक के प्रतिरोध के लिए प्रसिद्ध है। इस आधार सामग्री को सावधानीपूर्वक नियंत्रित सीवीडी-जमा SiC कोटिंग के अनुप्रयोग के माध्यम से और बढ़ाया जाता है। यह संयोजन गुणों का एक अनूठा तालमेल प्रदान करता है:

अद्वितीय रासायनिक प्रतिरोध:SiC सतह परत एपिटैक्सियल विकास प्रक्रियाओं में निहित ऊंचे तापमान पर भी ऑक्सीकरण, संक्षारण और रासायनिक हमले के लिए असाधारण प्रतिरोध प्रदर्शित करती है। यह जड़ता सुनिश्चित करती है कि SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टर अपनी संरचनात्मक अखंडता और सतह की गुणवत्ता बनाए रखता है, संदूषण के जोखिम को कम करता है और विस्तारित परिचालन जीवनकाल सुनिश्चित करता है।

असाधारण थर्मल स्थिरता और एकरूपता:आइसोट्रोपिक ग्रेफाइट की अंतर्निहित स्थिरता, एक समान SiC कोटिंग के साथ मिलकर, ससेप्टर सतह पर समान गर्मी वितरण की गारंटी देती है। यह एकरूपता एपिटेक्सी के दौरान वेफर में सजातीय तापमान प्रोफाइल प्राप्त करने में सर्वोपरि है, जो सीधे बेहतर क्रिस्टल विकास और फिल्म एकरूपता में अनुवादित होती है।

उन्नत प्रक्रिया दक्षता:SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टर की मजबूती और दीर्घायु प्रक्रिया दक्षता को बढ़ाने में योगदान करती है। सफाई या प्रतिस्थापन के लिए कम डाउनटाइम उच्च थ्रूपुट और स्वामित्व की कम समग्र लागत में तब्दील हो जाता है, जो सेमीकंडक्टर निर्माण वातावरण की मांग में महत्वपूर्ण कारक हैं।

SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टर के बेहतर गुण सीधे एपिटैक्सियल वेफर निर्माण में ठोस लाभ प्रदान करते हैं:

बेहतर वेफर गुणवत्ता:बढ़ी हुई तापमान एकरूपता और रासायनिक जड़ता एपिटैक्सियल परत में दोषों को कम करने और क्रिस्टल की गुणवत्ता में सुधार करने में योगदान करती है। इसका सीधे तौर पर अंतिम अर्धचालक उपकरणों के बेहतर प्रदर्शन और उपज में अनुवाद होता है।

डिवाइस प्रदर्शन में वृद्धि:एपिटैक्सी के दौरान डोपिंग प्रोफाइल और परत की मोटाई पर सटीक नियंत्रण प्राप्त करने की क्षमता डिवाइस के प्रदर्शन को अनुकूलित करने के लिए महत्वपूर्ण है। SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टर द्वारा प्रदान किया गया स्थिर और समान प्लेटफॉर्म निर्माताओं को विशिष्ट अनुप्रयोगों के लिए डिवाइस विशेषताओं को ठीक करने में सक्षम बनाता है।

उन्नत अनुप्रयोग सक्षम करना:जैसे-जैसे सेमीकंडक्टर उद्योग छोटे उपकरण ज्यामिति और अधिक जटिल आर्किटेक्चर की ओर बढ़ रहा है, उच्च प्रदर्शन वाले एपिटैक्सियल वेफर्स की मांग बढ़ती जा रही है। सेमीकोरेक्स SiC मल्टी पॉकेट ससेप्टर सटीक और दोहराए जाने योग्य एपिटैक्सियल विकास के लिए आवश्यक मंच प्रदान करके इन प्रगति को सक्षम करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।