सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी रिसेप्टर

सेमीकोरेक्स ग्रेफाइट, सिरेमिक और सिलिकॉन कार्बाइड एपिटॉक्सी ससेप्टर जैसी अन्य सामग्रियों की सतह पर सीवीडी विधि द्वारा सीवीडी विधि द्वारा सीआईसी कोटिंग प्रक्रिया सेवाएं प्रदान करता है, ताकि कार्बन और सिलिकॉन युक्त विशेष गैसें उच्च तापमान पर प्रतिक्रिया करके उच्च शुद्धता वाले एसआईसी अणुओं, अणुओं को प्राप्त कर सकें। लेपित सामग्रियों की सतह, एसआईसी सुरक्षात्मक परत बनाती है। गठित एसआईसी को ग्रेफाइट बेस से मजबूती से जोड़ा जाता है, जिससे ग्रेफाइट बेस को विशेष गुण मिलते हैं, जिससे ग्रेफाइट की सतह कॉम्पैक्ट, सरंध्रता-मुक्त, उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध और ऑक्सीकरण प्रतिरोध बन जाती है।
हमारे सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी ससेप्टर को थर्मल प्रोफाइल की समरूपता सुनिश्चित करते हुए सर्वोत्तम लैमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, जिससे वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास सुनिश्चित होता है।
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सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी ससेप्टर के पैरामीटर

सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सी ससेप्टर की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।
- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।