SiC एपि-वेफर रिसेप्टर

सेमीकोरेक्स वेफर्स को सपोर्ट करने के लिए उपयोग किए जाने वाले एमओसीवीडी द्वारा लेपित SiC एपि-वेफर ससेप्टर की आपूर्ति करता है। उनका उच्च शुद्धता वाला सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट निर्माण बेहतर गर्मी प्रतिरोध, यहां तक ​​कि लगातार एपी परत मोटाई और प्रतिरोध और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध के लिए थर्मल एकरूपता प्रदान करता है। महीन SiC क्रिस्टल कोटिंग एक साफ, चिकनी सतह प्रदान करती है, जो संभालने के लिए महत्वपूर्ण है क्योंकि प्राचीन वेफर्स अपने पूरे क्षेत्र में कई बिंदुओं पर रिसेप्टर से संपर्क करते हैं।
हमारे SiC एपि-वेफर ससेप्टर को थर्मल प्रोफ़ाइल की समरूपता सुनिश्चित करते हुए सर्वोत्तम लैमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकने में मदद करता है, जिससे वेफर चिप पर उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल विकास सुनिश्चित होता है।
हमारे SiC एपी-वेफर ससेप्टर के बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।

SiC एपि-वेफर ससेप्टर के पैरामीटर

SiC एपि-वेफर ससेप्टर की विशेषताएं

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
बेहतर गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता
चिकनी सतह के लिए महीन SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई के खिलाफ उच्च स्थायित्व
सामग्री को डिज़ाइन किया गया है ताकि दरारें और प्रदूषण न हो।