SiC फोकस रिंग्स

सेमीकोरेक्स उन्नत, उच्च शुद्धता वाले SiC फोकस रिंग्स को प्लाज्मा ईच (या ड्राई ईच) कक्षों में चरम वातावरण का सामना करने के लिए बनाया गया है। हम सिलिकॉन कार्बाइड लेयर्स और एपिटेक्सी सेमीकंडक्टर जैसे सेमीकंडक्टर उद्योगों पर ध्यान केंद्रित करते हैं। हमारे उत्पादों की कीमत में अच्छी बढ़त है और ये कई यूरोपीय और अमेरिकी बाज़ारों को कवर करते हैं। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।

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उत्पाद वर्णन

सेमीकोरेक्स आपूर्ति सीआईसी फोकस रिंग्स आरटीए, आरटीपी या कठोर रासायनिक सफाई के लिए वास्तव में स्थिर है। SiC फोकस रिंग्स या एज रिंग्स को वेफर किनारे या परिधि के चारों ओर खोदने की एकरूपता में सुधार करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। प्लाज़्मा ईच प्रसंस्करण की कठोरता के लिए इंजीनियर किए गए उच्च शुद्धता वाले घटकों के साथ संदूषण और अनिर्धारित रखरखाव को कम करें। SiC कोटिंग के साथ हमारा SiC फोकस रिंग एक सघन, पहनने के लिए प्रतिरोधी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग है। इसमें उच्च संक्षारण और गर्मी प्रतिरोधी गुणों के साथ-साथ उत्कृष्ट तापीय चालकता भी है। हम रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया का उपयोग करके ग्रेफाइट पर पतली परतों में SiC लगाते हैं।

SiC फोकस रिंग्स के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ
SiC-सीवीडी गुण
क्रिस्टल की संरचना	एफसीसी β चरण
घनत्व	जी/सेमी ³	3.21
कठोरता	विकर्स कठोरता	2500
अनाज आकार	माइक्रोन	2~10
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
ताप की गुंजाइश	जे किग्रा-1 के-1	640
उर्ध्वपातन तापमान	℃	2700
फेलेक्सुरल ताकत	एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)	415
यंग का मापांक	जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)	10-6K -1	4.5
ऊष्मीय चालकता	(डब्ल्यू/एमके)	300