SiC एपिटैक्सी रिसेप्टर

SiC एपिटैक्सी ससेप्टर एक महत्वपूर्ण घटक है जिसका उपयोग MOCVD उपकरण में एकल क्रिस्टल सब्सट्रेट्स को समर्थन और गर्म करने के लिए किया जाता है। इसके बेहतर प्रदर्शन पैरामीटर जैसे थर्मल स्थिरता और थर्मल एकरूपता एपिटैक्सियल सामग्री विकास की गुणवत्ता में निर्णायक भूमिका निभाते हैं, जिससे पतली फिल्म सामग्री में उच्च स्तर की एकरूपता और शुद्धता सुनिश्चित होती है।

SiC एपिटैक्सी ससेप्टर में उत्कृष्ट घनत्व है, जो उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में प्रभावी सुरक्षा प्रदान करता है। इसके अतिरिक्त, इसकी सतह की समतलता का उच्च स्तर सब्सट्रेट सतह पर एकल क्रिस्टल विकास की आवश्यकताओं को पूरी तरह से पूरा करता है।

SiC एपिटैक्सी ससेप्टर में थर्मल विस्तार अंतर का न्यूनतम गुणांक एपिटैक्सियल सब्सट्रेट और कोटिंग सामग्री के बीच संबंध शक्ति को काफी बढ़ाता है, इस प्रकार उच्च तापमान थर्मल साइक्लिंग का अनुभव करने के बाद क्रैकिंग की संभावना कम हो जाती है।

इसके साथ ही, यह उच्च तापीय चालकता प्रदर्शित करता है, जिससे चिप के विकास के लिए तीव्र और समान ताप वितरण की सुविधा मिलती है। इसके अलावा, इसका उच्च गलनांक, तापमान प्रतिरोध, ऑक्सीकरण प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में स्थिर संचालन को सक्षम बनाता है।

MOCVD उपकरण के प्रतिक्रिया कक्ष के भीतर एक महत्वपूर्ण घटक के रूप में, SiC एपिटैक्सी ससेप्टर में उच्च तापमान प्रतिरोध, समान थर्मल चालकता, अच्छी रासायनिक स्थिरता और थर्मल शॉक के लिए मजबूत प्रतिरोध जैसे फायदे होने चाहिए। सेमीकोरेक्स SiC एपिटैक्सी ससेप्टर इन सभी आवश्यकताओं को पूरा करता है।