सिसक एपिटैक्सियल मॉड्यूल

अर्धरेक्स एसआईसी एपिटैक्सियल मॉड्यूल, प्रीमियम ग्रेड, एसआईसी कोटेड ग्रेफाइट से तैयार किया गया, एपिटैक्सियल उपकरण का एक हिस्सा है जो सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) एपिटैक्सी प्रक्रियाओं के सबसे कठिन तत्वों का सामना करने के लिए विकसित किया गया है। रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) अनुप्रयोगों में उच्च तापमान के लिए यह मॉड्यूल, उच्च गुणवत्ता वाले एसआईसी के एपिटैक्सियल विकास के दौरान वेफर्स के लिए स्थिरता और समर्थन का प्रदर्शन करने में एक महत्वपूर्ण घटक है। अर्धविराम एसआईसी मॉड्यूल गुणवत्ता वाले एसआईसी विनिर्देशों के अनुरूप एपिटैक्सियल सामग्री के एक विश्वसनीय और दोहराए जाने वाले उत्पादन के लिए एक प्रभावी आधार सामग्री है।

अर्धविराम एसआईसी मॉड्यूल एक ग्रेफाइट सब्सट्रेट है जो सिलिकॉन कार्बाइड चढ़ाना की एक घनी और समान परत के साथ कवर किया गया है और सबसे गंभीर प्रक्रिया केमिस्ट्री में भी कण संदूषण और जंग के लिए प्रतिरोधी है। एसआईसी कोटिंग अंतर्निहित ग्रेफाइट के संदूषण और कटाव को रोकती है और 1600 डिग्री सेल्सियस तक पर्याप्त यांत्रिक सहायता और सुरक्षा प्रदान करती है। एसआईसी मॉड्यूल सिलिकॉन कार्बाइड के समग्र पहनने, संक्षारण और रासायनिक प्रतिरोधी गुणों के साथ ग्रेफाइट की ताकत और मशीनीकरण को जोड़ती है, जिससे यह एक कठोर एपिटैक्सियल वातावरण में स्थायित्व के मामले में मॉड्यूल का सबसे उपयुक्त है।

मॉड्यूल को थर्मल साइकिलिंग प्रक्रिया में आयामी परिवर्तन को कम करते हुए एक समान थर्मल प्रोफ़ाइल प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। वेफर फ्लैटनेस और एपिटैक्सी एकरूपता को बनाए रखने के लिए यह थर्मल एकरूपता और स्थिरता आवश्यक है। यदि वेफर उच्च थर्मल चालकता के साथ एक स्थिर स्थिति बनाए रखता है, तो प्रसंस्करण के दौरान वेफर में थर्मल की स्थिति समान होगी, जो कि भाग विफलता या संदूषण से संबंधित उपज, क्रिस्टल गुणवत्ता और डाउनटाइम को सकारात्मक रूप से प्रभावित करती है।

SIC एपिटैक्सियल मॉड्यूल हॉट-वॉल और कोल्ड-वॉल सहित कई एपिटैक्सियल रिएक्टरों के साथ संगत है और इसमें विशिष्ट रिएक्टर लेआउट और ग्राहकों की जरूरतों को समायोजित करने के लिए आकार और आयामों के लिए अनुकूलित करने का विकल्प है। SIC एपिटैक्सियल मॉड्यूल के लिए अच्छी तरह से अनुकूल है, लेकिन 4-इंच, 6-इंच, और 8-इंच SIC एपिटैक्सी अनुप्रयोगों तक सीमित नहीं है। एसआईसी एपिटैक्सियल मॉड्यूल की उच्च शुद्धता और अनुकूलित ज्यामिति के कारण, भौतिक हस्तक्षेप को गैस प्रवाह की गतिशीलता और थर्मल ग्रेडिएंट्स पर इसके प्रभाव में कम से कम किया जाता है जो एपिटैक्सियल परत के अधिक नियंत्रित विकास का समर्थन करते हैं।

अर्धविराम के SIC एपिटैक्सियल मॉड्यूल सनकी विधानसभा में उच्चतम गुणवत्ता वाले नियंत्रित टुकड़े का प्रतिनिधित्व करते हैं। उच्च गुणवत्ता नियंत्रण प्रोटोकॉल के अलावा, अर्धविराम एक समान, घने और कम-आउटगासिंग एसआईसी फिल्मों को लागू करने के लिए नवीनतम कोटिंग विधियों का उपयोग करता है। अर्धविराम के पास उच्च प्रदर्शन सिरेमिक कोटिंग्स और ग्रेफाइट मशीनिंग की पहचान करने वाली प्रक्रिया लाभों का एक लंबा इतिहास है जो बैच से बैच तक सर्वोत्तम संभव उत्पाद जीवन, स्थिरता और प्रक्रिया स्थिरता प्रदान करता है।

SIC पावर डिवाइसों के तेजी से विकसित होने वाले क्षेत्र में, जहां सामग्री की गुणवत्ता सीधे डिवाइस के प्रदर्शन को प्रभावित करती है, एपिटैक्सियल मॉड्यूल केवल एक उपभोज्य नहीं है-यह एक महत्वपूर्ण एनबलर है। SIC कोटेड ग्रेफाइट एपिटैक्सियल मॉड्यूल से अर्धविराम से ग्राहकों के लिए एक मजबूत, विश्वसनीय समाधान प्रदान करता है, जो SIC एपिटैक्सी में दक्षता, उपज और लागत-प्रभावशीलता की सीमाओं को आगे बढ़ाने की मांग करता है।