SiC एपी-वेफर ससेप्टर्स

आप एपिटैक्सियल ग्रोथ के माध्यम से आदर्श सामग्री गुणों को स्थापित किए बिना इलेक्ट्रिक वाहनों (ईवी) और 5जी की क्रांति के लिए आवश्यक वाइड बैंडगैप (डब्ल्यूबीजी) सेमीकंडक्टर का निर्माण नहीं कर सकते हैं। सेमीकोरेक्स \SiC एपी-वेफ़र ससेप्टर्स को SiC और GaN एपिटैक्सी के लिए आधार (थर्मल/संरचनात्मक) के रूप में उपयोग के लिए डिज़ाइन किया गया है। का संयोजनआइसोस्टैटिक ग्रेफाइट(उत्कृष्ट थर्मल चालकता) रासायनिक वाष्प जमा (सीवीडी) सिलिकॉन कार्बाइड (अत्यधिक रासायनिक प्रतिरोध) के साथ एक प्रक्रिया किट प्राप्त करती है जो सबसे बड़ी संभावित उपज और दोहराव की अनुमति देती है।

"परफेक्ट" थर्मल वातावरण की इंजीनियरिंग

प्रतिक्रियाशील और संक्षारक अग्रदूत गैसों से संतृप्त वातावरण में पर्याप्त एपिटैक्सियल विकास तापमान (1,500 डिग्री सेल्सियस से अधिक) प्राप्त करने के लिए एक पारंपरिक ग्रेफाइट वाहक एक्सपोजर पर खराब हो जाएगा और इसलिए वेफर को दूषित कर देगा। हालाँकि, सेमीकोरेक्स द्वारा विकसित SiC एपि-वेफर ससेप्टर्स ने हजारों प्रक्रिया घंटों के लिए एक स्थिर आधार के साथ एपिटेक्सी प्रक्रिया प्रदान करने के लिए उन्नत सामग्री एकीकरण के माध्यम से एक समाधान प्राप्त किया है।

1. सुपीरियर थर्मल एकरूपता

एक संग्राहक की प्राथमिक भूमिका ऊष्मा फैलाने वाले के रूप में कार्य करना है। हमारा उच्च शुद्धता वाला आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट कोर संपूर्ण वेफर सतह पर एक समान थर्मल क्षेत्र प्रदान करता है। यह "हॉट स्पॉट" को कम करता है जो एपि-लेयर की मोटाई और डोपिंग एकाग्रता में भिन्नता का कारण बनता है। पावर इलेक्ट्रॉनिक्स की दुनिया में, जहां आरडीएस (ऑन) स्थिरता राजा है, हमारे रिसेप्टर्स उप-माइक्रोन एकरूपता के लिए आवश्यक थर्मल परिशुद्धता प्रदान करते हैं।

2. हर्मेटिक सीवीडी SiC एनकैप्सुलेशन

हम सघन, अति-शुद्ध सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग लगाने के लिए अत्याधुनिक सीवीडी प्रक्रिया का उपयोग करते हैं। यह परत सिर्फ एक आवरण नहीं है; यह एक भली भांति बंद सील है.

कण दमन: कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट को प्रतिक्रिया कक्ष में बोरान या धातु के निशान जैसी "धूल" या बाहर निकलने वाली अशुद्धियों से रोकती है।

रासायनिक जड़त्व: हमाराSiC कोटिंगH2, HCl, और अमोनिया (NH3) नक़्क़ाशी के लिए अभेद्य है, जो MOCVD और SiC एपिटैक्सी रिएक्टरों में आम हैं।

3. परिशुद्धता सीटीई मिलान

लेपित हार्डवेयर में सबसे आम विफलता बिंदुओं में से एक थर्मल साइक्लिंग के कारण होने वाला प्रदूषण है। हम विशेष रूप से थर्मल विस्तार गुणांक (सीटीई) के साथ ग्रेफाइट ग्रेड का चयन करते हैं जो पूरी तरह से सिंक्रनाइज़ हैSiC कोटिंग. यह "विस्तार सामंजस्य" SiC एपि-वेफर ससेप्टर्स को बिना दरार या छीले तेजी से रैंप-अप और रैंप-डाउन चक्रों को सहन करने की अनुमति देता है, जिससे उद्योग-मानक विकल्पों की तुलना में घटक की सेवा जीवन 300% तक बढ़ जाता है।

वैश्विक रिएक्टर प्लेटफार्मों के लिए अनुकूलित

हमारी इंजीनियरिंग टीम के पास क्षैतिज और ऊर्ध्वाधर दोनों रिएक्टर कॉन्फ़िगरेशन के लिए रिसेप्टर्स डिजाइन करने का व्यापक अनुभव है। हम उद्योग के अग्रणी ओईएम सिस्टम (एआईएक्सट्रॉन, वीको और टोक्यो इलेक्ट्रॉन प्लेटफॉर्म सहित) के लिए ड्रॉप-इन प्रतिस्थापन और कस्टम-इंजीनियर समाधान प्रदान करते हैं।

चाहे आप एक ग्रहीय रिएक्टर या एकल-वेफर उपकरण चला रहे हों, हमारे रिसेप्टर्स इसके लिए अनुकूलित हैं:

गैस प्रवाह गतिशीलता:वेफर में लैमिनर प्रवाह सुनिश्चित करने के लिए सटीक रूप से मशीनीकृत जेबें।

वेफर रोटेशन:विकास के दौरान स्थिर, उच्च गति रोटेशन के लिए अनुकूलित वजन-से-घर्षण अनुपात।

स्वचालित हैंडलिंग:रोबोटिक वेफर स्थानांतरण के यांत्रिक तनाव का सामना करने के लिए प्रबलित किनारे।