सेमीकोरेक्स ने अपना SiC डिस्क ससेप्टर पेश किया है, जिसे एपिटैक्सी, मेटल-ऑर्गेनिक केमिकल वेपर डिपोजिशन (MOCVD), और रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) उपकरण के प्रदर्शन को बढ़ाने के लिए डिज़ाइन किया गया है। सावधानीपूर्वक इंजीनियर किया गया SiC डिस्क ससेप्टर ऐसे गुण प्रदान करता है जो उच्च तापमान और वैक्यूम वातावरण में बेहतर प्रदर्शन, स्थायित्व और दक्षता की गारंटी देता है।**
गुणवत्ता और नवीनता के प्रति गहरी प्रतिबद्धता के साथ, सेमीकोरेक्स का अल्ट्रा-प्योर SiC डिस्क ससेप्टर एपिटेक्सी, MOCVD और RTP उपकरणों में प्रदर्शन के लिए एक नया मानक स्थापित करता है। असाधारण थर्मल शॉक प्रतिरोध, बेहतर थर्मल चालकता, उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध और अति-उच्च शुद्धता के संयोजन से, ये इंजीनियर घटक अर्धचालक निर्माताओं को अद्वितीय दक्षता, विश्वसनीयता और उत्पाद की गुणवत्ता प्राप्त करने के लिए सशक्त बनाते हैं। सेमीकोरेक्स के अनुकूलन योग्य समाधान यह सुनिश्चित करते हैं कि प्रत्येक थर्मल प्रोसेसिंग एप्लिकेशन को अपनी अनूठी मांगों को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किए गए अनुकूलित, सटीक-इंजीनियर्ड घटकों से लाभ मिलता है।
उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध:SiC डिस्क ससेप्टर तेजी से तापमान में उतार-चढ़ाव को झेलने में उत्कृष्टता प्राप्त करता है, जो RTP और अन्य उच्च तापमान प्रक्रियाओं में आम है। यह असाधारण थर्मल शॉक प्रतिरोध संरचनात्मक अखंडता और दीर्घायु सुनिश्चित करता है, अचानक तापमान परिवर्तन के कारण क्षति या विफलता के जोखिम को कम करता है और थर्मल प्रसंस्करण उपकरण की विश्वसनीयता बढ़ाता है।
बेहतर तापीय चालकता:थर्मल प्रसंस्करण अनुप्रयोगों में कुशल गर्मी हस्तांतरण महत्वपूर्ण है। SiC डिस्क ससेप्टर की उत्कृष्ट तापीय चालकता तीव्र और समान हीटिंग और शीतलन सुनिश्चित करती है, जो सटीक तापमान नियंत्रण और प्रक्रिया एकरूपता के लिए आवश्यक है। इससे प्रक्रिया दक्षता में सुधार, चक्र समय में कमी और उच्च गुणवत्ता वाले अर्धचालक वेफर्स प्राप्त होते हैं।
असाधारण रासायनिक प्रतिरोध:SiC डिस्क ससेप्टर एपिटेक्सी, MOCVD और RTP प्रक्रियाओं में उपयोग किए जाने वाले संक्षारक और प्रतिक्रियाशील रसायनों की एक विस्तृत श्रृंखला के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान करता है। यह रासायनिक जड़ता अंतर्निहित ग्रेफाइट को क्षरण से बचाती है, प्रक्रिया पर्यावरण के प्रदूषण को रोकती है, और विस्तारित परिचालन अवधि में लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करती है।
अति उच्च शुद्धता: SiC डिस्क ससेप्टर को ग्रेफाइट और SiC कोटिंग दोनों के लिए अति-उच्च शुद्धता मानकों के अनुसार निर्मित किया जाता है, जो संदूषण की संभावना से बचाता है और दोष-मुक्त अर्धचालक उपकरणों के उत्पादन को सुनिश्चित करता है। शुद्धता के प्रति इस प्रतिबद्धता का मतलब है उच्च पैदावार और बेहतर डिवाइस प्रदर्शन।
जटिल आकार उपलब्धता:सेमीकोरेक्स की उन्नत विनिर्माण क्षमताएं विशिष्ट ग्राहक आवश्यकताओं के अनुरूप जटिल आकार में SiC डिस्क ससेप्टर के उत्पादन की अनुमति देती हैं। यह लचीलापन कस्टम समाधानों के डिज़ाइन को सक्षम बनाता है जो विभिन्न थर्मल प्रसंस्करण अनुप्रयोगों की सटीक आवश्यकताओं को पूरा करते हैं, प्रक्रिया दक्षता और उपकरण अनुकूलता को बढ़ाते हैं।
ऑक्सीकरण वातावरण में प्रयोग योग्य:मजबूत सीवीडी SiC कोटिंग ऑक्सीकरण के खिलाफ उत्कृष्ट सुरक्षा प्रदान करती है, जिससे SiC डिस्क ससेप्टर को ऑक्सीकरण वातावरण में विश्वसनीय रूप से कार्य करने की अनुमति मिलती है। यह उनकी प्रयोज्यता को थर्मल प्रक्रियाओं की एक विस्तृत श्रृंखला तक विस्तारित करता है, जिससे बहुमुखी प्रतिभा और अनुकूलनशीलता सुनिश्चित होती है।
मजबूत, दोहराने योग्य प्रदर्शन:उच्च तापमान और वैक्यूम वातावरण के लिए डिज़ाइन किया गया, SiC डिस्क ससेप्टर मजबूत और दोहराने योग्य प्रदर्शन प्रदान करता है। इसकी स्थायित्व और स्थिरता उन्हें महत्वपूर्ण थर्मल प्रसंस्करण अनुप्रयोगों, डाउनटाइम, रखरखाव लागत को कम करने और दीर्घकालिक परिचालन विश्वसनीयता सुनिश्चित करने के लिए आदर्श बनाती है।
सेमीकोरेक्स थर्मल प्रसंस्करण उपकरण की विभिन्न आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सीवीडी सीआईसी-लेपित घटकों को अनुकूलित करने में माहिर है, जिसमें शामिल हैं:
डिफ्यूज़र:गैस वितरण एकरूपता और प्रक्रिया स्थिरता बढ़ाएँ।
इन्सुलेटर:उच्च तापमान वाले वातावरण में थर्मल अलगाव और सुरक्षा प्रदान करें।
अन्य कस्टम थर्मल घटक:विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने और उपकरण प्रदर्शन को अनुकूलित करने के लिए डिज़ाइन किए गए अनुरूप समाधान।