SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब

उच्च लचीली ताकत: सेमीकोरेक्स SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब में 200MPa से अधिक की लचीली ताकत होती है, जो सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं की विशिष्ट उच्च तनाव स्थितियों के तहत असाधारण यांत्रिक प्रदर्शन और संरचनात्मक अखंडता सुनिश्चित करती है।

उत्कृष्ट ऑक्सीकरण प्रतिरोध: ये SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब बेहतर ऑक्सीकरण प्रतिरोध प्रदर्शित करते हैं, जो सभी गैर-ऑक्साइड सिरेमिक में सबसे अच्छा है। यह विशेषता उच्च तापमान वाले वातावरण में दीर्घकालिक स्थिरता और प्रदर्शन सुनिश्चित करती है, गिरावट के जोखिम को कम करती है और ट्यूबों के परिचालन जीवन को बढ़ाती है।

उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध: SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब की रासायनिक जड़ता संक्षारण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान करती है, जिससे ये ट्यूब अर्धचालक प्रसंस्करण में अक्सर आने वाले कठोर रासायनिक वातावरण में उपयोग के लिए आदर्श बन जाती हैं।

उच्च पहनने का प्रतिरोध: SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब पहनने के लिए अत्यधिक प्रतिरोधी है, जो आयामी स्थिरता बनाए रखने और घर्षण स्थितियों में लंबे समय तक उपयोग के दौरान रखरखाव आवश्यकताओं को कम करने के लिए महत्वपूर्ण है।

कम घर्षण गुणांक: SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब का कम घर्षण गुणांक ट्यूब और वेफर्स दोनों पर टूट-फूट को कम करता है, जिससे सुचारू संचालन सुनिश्चित होता है और सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के दौरान संदूषण जोखिम कम होता है।

सुपीरियर उच्च तापमान यांत्रिक गुण: SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब ज्ञात सिरेमिक सामग्रियों के बीच सर्वोत्तम उच्च तापमान यांत्रिक गुणों को प्रदर्शित करता है, जिसमें उत्कृष्ट ताकत और रेंगना प्रतिरोध शामिल है। यह इसे ऊंचे तापमान पर दीर्घकालिक स्थिरता की आवश्यकता वाले अनुप्रयोगों के लिए विशेष रूप से उपयुक्त बनाता है।

सीवीडी कोटिंग के साथ: सेमीकोरेक्स रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) एसआईसी कोटिंग 99.9995% से अधिक शुद्धता स्तर प्राप्त करती है, जिसमें अशुद्धता सामग्री 5 पीपीएम से नीचे और हानिकारक धातु अशुद्धियां 1 पीपीएम से नीचे होती हैं। सीवीडी कोटिंग प्रक्रिया यह सुनिश्चित करती है कि ट्यूब 2-3Torr की कठोर वैक्यूम जकड़न आवश्यकताओं को पूरा करती हैं, जो उच्च परिशुद्धता अर्धचालक विनिर्माण वातावरण के लिए आवश्यक है।

डिफ्यूजन फर्नेस में अनुप्रयोग: ये SiC डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब विशेष रूप से डिफ्यूजन फर्नेस में उपयोग के लिए डिज़ाइन किए गए हैं, जहां वे डोपिंग और ऑक्सीकरण जैसी उच्च तापमान प्रक्रियाओं में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। उनके उन्नत भौतिक गुण यह सुनिश्चित करते हैं कि वे इन प्रक्रियाओं की मांग वाली स्थितियों का सामना कर सकते हैं, जिससे अर्धचालक उत्पादन की दक्षता और विश्वसनीयता बढ़ जाती है।