एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए SiC कोटेड आरटीपी कैरियर प्लेट

एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए हमारी SiC कोटेड आरटीपी कैरियर प्लेट को जमाव वातावरण की सबसे कठिन परिस्थितियों का सामना करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसकी उच्च गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध के कारण, एपिटैक्सिअल रिसेप्टर्स एपिटैक्सियल विकास के लिए सही जमाव वातावरण के अधीन होते हैं। कैरियर पर महीन SiC क्रिस्टल कोटिंग रासायनिक सफाई के खिलाफ एक चिकनी सतह और उच्च स्थायित्व सुनिश्चित करती है, जबकि सामग्री को दरारें और प्रदूषण को रोकने के लिए इंजीनियर किया जाता है।
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एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए SiC कोटेड आरटीपी कैरियर प्लेट के पैरामीटर

एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए SiC कोटेड आरटीपी कैरियर प्लेट की विशेषताएं

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
बेहतर गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता
चिकनी सतह के लिए महीन SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई के खिलाफ उच्च स्थायित्व
सामग्री को इस प्रकार डिज़ाइन किया गया है कि दरारें और प्रदूषण न हो।