आरटीपी आरटीए सीआईसी लेपित वाहक

सेमीकोरेक्स वेफर्स को सपोर्ट करने के लिए उपयोग किए जाने वाले आरटीपी आरटीए सीआईसी कोटेड कैरियर की आपूर्ति करता है, जो आरटीए, आरटीपी या कठोर रासायनिक सफाई के लिए वास्तव में स्थिर है।  उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट निर्माण के साथ RTP RTA SiC लेपित कैरियर बेहतर गर्मी प्रतिरोध, सुसंगत एपी परत मोटाई और प्रतिरोध के लिए थर्मल एकरूपता और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करता है। महीन SiC क्रिस्टल कोटिंग एक साफ, चिकनी सतह प्रदान करती है, जो संभालने के लिए महत्वपूर्ण है क्योंकि प्राचीन वेफर्स अपने पूरे क्षेत्र में कई बिंदुओं पर रिसेप्टर से संपर्क करते हैं।
सेमीकोरेक्स में, हम उच्च-गुणवत्ता, लागत प्रभावी आरटीपी आरटीए सीआईसी कोटेड कैरियर प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं, हम ग्राहकों की संतुष्टि को प्राथमिकता देते हैं और लागत प्रभावी समाधान प्रदान करते हैं। हम उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।

आरटीपी आरटीए सीआईसी लेपित वाहक के पैरामीटर

आरटीपी आरटीए सीआईसी कोटेड कैरियर की विशेषताएं

- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में अच्छा घनत्व होता है और उच्च तापमान और संक्षारक कार्य वातावरण में एक अच्छी सुरक्षात्मक भूमिका निभा सकते हैं।
- एकल क्रिस्टल वृद्धि के लिए उपयोग किए जाने वाले सिलिकॉन कार्बाइड लेपित सुसेप्टर की सतह की समतलता बहुत अधिक होती है।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत के बीच थर्मल विस्तार गुणांक में अंतर को कम करें, दरार और प्रदूषण को रोकने के लिए प्रभावी ढंग से संबंध शक्ति में सुधार करें।
- ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।
- उच्च गलनांक, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध।