सेमीकोरेक्स आरटीपी सीआईसी कोटिंग कैरियर बेहतर गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता प्रदान करता है, जो इसे सेमीकंडक्टर वेफर प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए सही समाधान बनाता है। अपने उच्च गुणवत्ता वाले SiC लेपित ग्रेफाइट के साथ, यह उत्पाद एपिटैक्सियल विकास के लिए सबसे कठोर जमाव वातावरण का सामना करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण आरटीए, आरटीपी या कठोर रासायनिक सफाई के लिए विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित करते हैं।
हमारे आरटीपी सीआईसी कोटिंग कैरियर को जमाव वातावरण की सबसे कठिन परिस्थितियों का सामना करने के लिए इंजीनियर किया गया है। इसकी उच्च गर्मी और संक्षारण प्रतिरोध के कारण, एपिटैक्सिअल रिसेप्टर्स एपिटैक्सियल विकास के लिए सही जमाव वातावरण के अधीन होते हैं। कैरियर पर महीन SiC क्रिस्टल कोटिंग रासायनिक सफाई के खिलाफ एक चिकनी सतह और उच्च स्थायित्व सुनिश्चित करती है, जबकि सामग्री को दरारें और प्रदूषण को रोकने के लिए इंजीनियर किया जाता है।
सेमीकोरेक्स में, हम उच्च गुणवत्ता, लागत प्रभावी आरटीपी सीआईसी कोटिंग वाहक प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं, हम ग्राहकों की संतुष्टि को प्राथमिकता देते हैं और लागत प्रभावी समाधान प्रदान करते हैं। हम उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
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आरटीपी सीआईसी कोटिंग कैरियर के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ |
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SiC-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी/सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
माइक्रोन |
2~10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
जे किग्रा-1 के-1 |
640 |
उर्ध्वपातन तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू/एमके) |
300 |
आरटीपी सीआईसी कोटिंग कैरियर की विशेषताएं
उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट
बेहतर गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता
चिकनी सतह के लिए महीन SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई के खिलाफ उच्च स्थायित्व
सामग्री को डिज़ाइन किया गया है ताकि दरारें और प्रदूषण न हो।