सेमीकोरेक्स SiC सिरेमिक वैक्यूम चक सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक से निर्मित सटीक वैक्यूम सोखने वाले उपकरण हैं, जो सेमीकंडक्टर वेफर्स को प्रसंस्करण और निरीक्षण के दौरान विशिष्ट स्थिति में सटीक और स्थिर रूप से तैनात कर सकते हैं। सेमीकोरेक्स SiC सिरेमिक वैक्यूम चक का उपयोग करने से सेमीकंडक्टर विनिर्माण पैदावार में सुधार करने, सेमीकंडक्टर डिवाइस के प्रदर्शन को बढ़ाने और समग्र विनिर्माण लागत को कम करने में मदद मिल सकती है।
परिशुद्धता-इंजीनियर्ड सूक्ष्म-छिद्रों को SiC सिरेमिक वैक्यूम चक की सतह पर समान रूप से वितरित किया जाता है, जिससे बाहरी वैक्यूम उपकरण के साथ विश्वसनीय कनेक्शन सक्षम होता है। संचालन के दौरान, वैक्यूम पंप को छिद्रों के माध्यम से हवा खींचने के लिए सक्रिय किया जाता है, जिससे सेमीकंडक्टर वेफर और वैक्यूम चक के बीच एक नकारात्मक दबाव वातावरण बनता है। इसलिए यह वेफर को वैक्यूम चक सतह पर समान रूप से और मजबूती से पकड़ने की अनुमति देता है।
सेमीकोरेक्सSiC सिरेमिक वैक्यूम चककच्चे माल के रूप में उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड का सावधानीपूर्वक चयन करें। सामग्री की शुद्धता पर सेमीकोरेक्स का कड़ा नियंत्रण ऑपरेशन के दौरान अशुद्धियों के कारण होने वाले वेफर संदूषण को प्रभावी ढंग से रोकता है, इस प्रकार उत्पादन की सफाई और उपज की बढ़ती मांगों को पूरा करता है।
सेमीकोरेक्स SiC सिरेमिक वैक्यूम चक की सतह दर्पण पॉलिशिंग से गुजरती है, और उनकी सपाटता 0.3-0.5 μm पर नियंत्रित होती है। यह चरम समतलता नियंत्रण इष्टतम संपर्क प्रभाव को सक्षम कर सकता है, जो खुरदरी संपर्क सतहों के कारण होने वाली वेफर खरोंच के जोखिम को काफी कम कर देता है। वैक्यूम चक में प्रत्येक सूक्ष्म छेद और खांचे को सटीक रूप से मशीनीकृत किया जाता है, जिससे संचालन के दौरान एक स्थिर और समान सोखना प्रभाव प्रदान होता है।
सेमीकोरेक्स हमारे मूल्यवान ग्राहकों को अनुकूलन सेवाएं प्रदान करता है, जो SiC सिरेमिक वैक्यूम चक के विभिन्न आकार विकल्पों की पेशकश करता है, जैसे 6-इंच, 8-इंच, 12-इंच। हम ग्राहकों की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए आयामी सहनशीलता, छिद्र आकार, सपाटता और खुरदरापन को अनुकूलित कर सकते हैं, जिससे आपके अर्धचालक प्रसंस्करण और निरीक्षण उपकरण के साथ एक आदर्श मिलान सुनिश्चित हो सके।
सेमीकोरेक्सSiC सिरेमिकवैक्यूम चक को आइसोस्टैटिक दबाव द्वारा बनाया जाता है और फिर उच्च तापमान पर सिंटर किया जाता है। इन विशेष प्रक्रियाओं प्रौद्योगिकी के बाद, सेमीकोरेक्स SiC सिरेमिक वैक्यूम चक में हल्के वजन, उच्च कठोरता, मजबूत पहनने के प्रतिरोध और थर्मल विस्तार के कम गुणांक जैसे कई उत्कृष्ट प्रदर्शन होते हैं। ये गुण सेमीकोरेक्स SiC सिरेमिक वैक्यूम चक को सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलिंग और प्रसंस्करण में चुनौतीपूर्ण परिस्थितियों में लगातार संचालित करने में सक्षम बनाते हैं।