सिरेमिक बोट्स

अर्धविराम SIC सिरेमिक नावें अत्याधुनिक वाहक हैं जो विशेष रूप से सुरक्षित रूप से परिवहन, स्टोर और प्रोसेस सेमीकंडक्टर वेफर्स को रासायनिक और थर्मल रूप से चरम वातावरण में सुरक्षित रूप से परिवहन, स्टोर और प्रोसेस करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। सेमीकंडक्टर उद्योग ने तेजी से नए प्रदर्शन मानकों को अपनाया है, जिनके लिए एसआईसी सिरेमिक नौकाओं को मज़बूती से, भरोसेमंद और संदूषण-मुक्त करने की आवश्यकता है, जो आधुनिक वेफर निर्माण प्रक्रियाओं के लिए असहिष्णु और महत्वपूर्ण मांगों को प्राप्त करते हैं।

मजबूत थर्मल स्थिरता और शक्ति

SIC सिरेमिक नावों की परिभाषित विशेषता इसकी बहुत उच्च थर्मल स्थिरता है। एसआईसी सिरेमिक नावें आक्रामक थर्मल साइकिलिंग प्रक्रियाओं के दौरान अपने आकार या संरचना को खोए बिना 1600 डिग्री सेल्सियस से अधिक तापमान को सहन कर सकती हैं। अल्ट्रा-लो थर्मल विस्तार गुणांक के कारण, एसआईसी सिरेमिक नावों को विरूपण और क्रैकिंग के लिए कम प्रवण होता है, जो कड़ी परिस्थितियों में हैंडलिंग के दौरान तंग सहिष्णुता और समग्र वेफर सुरक्षा के लिए अनुमति देता है।

उच्च शुद्धता और रासायनिक प्रतिरोध

SIC सिरेमिक नौकाओं को अल्ट्रा-हाई प्योरिटी सिलिकॉन कार्बाइड से बाहर किया जाता है। SIC सिरेमिक नावें भी रासायनिक क्षरण, संक्षारक और प्लाज्मा को मिटाने के लिए अत्यधिक प्रतिरोधी हैं। एसआईसी सिरेमिक नावों की अक्रिय प्रकृति का अर्थ है संक्षारक गैसों, प्रतिक्रियाशील वातावरण की प्रक्रियाएं, अम्लीय स्थितियां या तो नाव से कोई संदूषण नहीं बनाती हैं या काम करने की प्रक्रिया को नुकसान पहुंचाने के लिए घुलनशील नहीं होती हैं। SIC सिरेमिक नावों की गैर-संगत सतह कोई कण पीढ़ी या आयन लीचिंग को सक्षम नहीं बनाती है, इस प्रकार एक वेफर सतह अशुद्धियों से खतरे में नहीं होती है जो डिवाइस के प्रदर्शन या उपज में बाधा डालती है।

सुरक्षित और सुरक्षित वेफर हैंडलिंग के लिए सटीक इंजीनियरिंग

SIC सिरेमिक नावों को तंग सहिष्णुता के भीतर निर्मित किया जाता है, जिससे उन्हें 100 मिमी, 150 मिमी, 200 मिमी, 300 मिमी, और अधिक सहित विभिन्न व्यास के वेफर्स को संभालने की अनुमति मिलती है। एसआईसी नौकाओं का संरचनात्मक डिजाइन उचित वेफर लैपिंग ओरिएंटेशन को बनाए रखने के लिए उत्कृष्ट सपाटता, समानता और समान स्लॉट आकार प्रदान करता है और किसी अन्य प्रक्रिया या उपकरण में स्थानांतरित होने पर वेफर के किनारों की रक्षा करता है। सभी एसआईसी नौकाओं को टूल सेट से मेल खाने या किसी भी स्वचालन विनिर्देशों को पूरा करने के लिए कस्टम आयामों के साथ डिज़ाइन किया जा सकता है।

लंबे जीवनकाल और अधिक लागत कुशल

एसआईसी पारंपरिक सामग्रियों (क्वार्ट्ज, एल्यूमिना) को काफी बेहतर यांत्रिक शक्ति, फ्रैक्चर क्रूरता और थर्मल शॉक प्रतिरोध के साथ बदल देता है। स्थायित्व का यह स्तर "विफलता" से पहले एक लंबे जीवनकाल में अनुवाद करता है, ऑपरेशन के दौरान काफी कम प्रतिस्थापन, और स्वामित्व की कम कुल लागत। SIC के स्थायित्व से प्रदर्शन में स्थिरता समय को कम करेगी और अर्धचालक विनिर्माण लाइनों पर थ्रूपुट को गति देगी।

अर्धचालक प्रक्रियाओं में खुले आवेदन

एसआईसी सिरेमिक नावों का उपयोग व्यापक रूप से फ्रंट-एंड सेमीकंडक्टर प्रक्रियाओं में किया जाता है जैसे:

LPCVD और PECVD बयान

थर्मल ऑक्सीकरण

आयन आरोपण

Annealing और प्रसार

वेफर सफाई और रासायनिक प्रसंस्करण

SIC सिरेमिक हैंडल में वायुमंडल और वैक्यूम प्रक्रिया कक्ष दोनों में संगत प्रसंस्करण अनुप्रयोग होते हैं, जिससे यह उत्पादकता को बढ़ाते समय संदूषण के जोखिम को कम करने और कम करने के लिए फाउंडरीज और फैब्स के लिए एक आदर्श विकल्प बन जाता है।