एसआईसी ब्रैकट पैडल

अर्धरेक्स एसआईसी कैंटिलीवर पैडल उच्च प्रदर्शन वाले घटक हैं जो अर्धचालक थर्मल प्रोसेसिंग उपकरण (एलपीसीवीडी, पीईसीवीडी, ऑक्सीकरण और प्रसार भट्टियों) में वेफर हैंडलिंग और वेफर ट्रांसपोर्ट के लिए ठीक से डिज़ाइन किए गए हैं। ये कैंटिलीवर पैडल वेफर्स के लिए एक मंच और समर्थन का एक आवश्यक रूप प्रदान करते हैं जो कठोर उच्च तापमान प्रक्रियाओं (अक्सर 1200 डिग्री सेल्सियस से अधिक) के माध्यम से भंगुर वेफर्स के स्थिर और विश्वसनीय परिवहन को सुनिश्चित करता है। कैंटिलीवर पैडल उच्च शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) से निर्मित होते हैं जो अर्धचालक निर्माण वातावरण के लिए यांत्रिक स्थायित्व, थर्मल स्थिरता और एंटी-कॉरोसिव गुण प्रदान करता है।

सिलिकॉन कार्बाइड एक सुपर-प्रीमियम सिरेमिक सामग्री है जिसमें उत्कृष्ट तापीय चालकता, कम थर्मल विस्तार और रासायनिक रूप से शत्रुतापूर्ण वातावरण में मज़बूती से प्रदर्शन करने की क्षमता है। कैंटिलीवर पैडल में सिलिकॉन कार्बाइड थर्मल वारपिंग को कम करने में मदद कर सकता है

 और आंदोलन जो वेफर्स को सपाट और उनके नाममात्र प्रसंस्करण की स्थिति में रखता है। कैंटिलीवर पैडल के संदर्भ में वेफर की थर्मल स्थिरता कण संदूषण और यांत्रिक आंदोलन के मुद्दों को कम करने के लिए महत्वपूर्ण है, विशेष रूप से उन्नत नोड उपकरणों का उत्पादन करते समय। इन मुद्दों के परिणामस्वरूप उपज हानि या महंगा पुन: कार्य और वेफर्स के प्रतिस्थापन हो सकते हैं।

एसआईसी कैंटिलीवर पैडल का अखंड रूप जोड़ों और कमजोर बिंदुओं को समाप्त करते हुए यांत्रिक मजबूती और थर्मल एकरूपता में सुधार करता है जो आमतौर पर कंपोजिट में मौजूद हो सकते हैं। इसके अलावा, पैडल की सतह खत्म विशेष रूप से नियंत्रित की जाती है, और आम तौर पर कण पीढ़ी को कम करने के लिए एक निकट दर्पण-गुणवत्ता के लिए पॉलिश किया जाता है और बहुत साफ-सुथरा वर्ग के अनुरूप होता है।

प्रसार और ऑक्सीकरण प्रक्रियाओं में जिसमें ऑक्सीजन, भाप और अन्य प्रतिक्रियाशील गैसें शामिल होती हैं; परंपरागत सामग्री समय के साथ मंदी या विकृत हो सकती है। SIC की अंतर्निहित रासायनिक निष्क्रिय संपत्ति यह सुनिश्चित करती है कि पैडल आउटगास, या कोरोड नहीं करेगी और अस्थिर सामग्री के उपयोग के कारण प्रक्रिया को संदूषण का परिचय देगी, एक अधिक स्थिर प्रक्रिया और विश्वसनीय परिणामों में योगदान देगा।  हीटिंग और कूलिंग के तेजी से साइकिल चलाने के बावजूद SIC कैंटिलीवर पैडल की संरचनात्मक अखंडता स्थिर रहती है। इसलिए, वे बहुत कम रखरखाव या भाग प्रतिस्थापन डाउनटाइम के साथ लंबे परिचालन सेवा जीवन प्रदान करते हैं।

इसके अलावा, एसआईसी पैडल के कम द्रव्यमान और हल्के वजन तेजी से थर्मल प्रतिक्रिया के लिए अनुमति देते हैं; जिससे तेजी से थर्मल रैंप-अप और कूल-डाउन समय की अनुमति मिलती है, जो उत्पादकता और ऊर्जा दक्षता में वृद्धि में योगदान देता है, सेमीकंडक्टर निर्माण के प्रतिस्पर्धी परिदृश्य में सभी प्रमुख मैट्रिक्स।

SIC कैंटिलीवर पैडल को विभिन्न प्रकार के विन्यासों और आकारों में आपूर्ति की जा सकती है, जिसे विभिन्न भट्ठी डिजाइनों और वेफर आकारों को समायोजित करने के लिए डिज़ाइन और निर्मित किया जा सकता है, जो 100 मिमी से 300 मिमी और उससे अधिक तक का है। ओईएम और उपकरण इंटीग्रेटर्स समय के साथ एसआईसी पैडल की स्थिरता और विश्वसनीयता की सराहना करते हैं, दोनों फ्रंट-एंड और बैक-एंड प्रक्रियाओं में तैनाती के लिए।

अर्धरेक्स सामग्री शुद्धता, माइक्रोस्ट्रक्चर और आयामी सहिष्णुता पर तंग नियंत्रण के साथ प्रीमियम एसआईसी कैंटिलीवर पैडल प्रदान करता है। हमारी उन्नत प्रक्रिया क्षमताएं, सेमीकंडक्टर थर्मल डायनामिक्स के हमारे ज्ञान के साथ मिलकर, हमें इन विशेषताओं के साथ पैडल का उत्पादन करने की अनुमति देती हैं जो स्थिरता, स्वच्छता और स्थायित्व के लिए उद्योग मानकों को पूरा करते हैं या अधिक करते हैं। जब इसे सही और विश्वसनीय होने की आवश्यकता होती है, तो अर्धविराम गुणवत्ता वाले एसआईसी घटकों के लिए जाने का स्थान है।