SiC एक्सल स्लीव

सेमीकोरेक्स आपके OEM अर्ध निर्माण उपकरण और वेफर हैंडलिंग घटकों के लिए सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिरेमिक प्रदान करता है। हम कई वर्षों से सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग फिल्म के निर्माता और आपूर्तिकर्ता रहे हैं। हमारी SiC एक्सल स्लीव की कीमत में अच्छी बढ़त है और यह अधिकांश यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करती है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।

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उत्पाद वर्णन

हमारे SiC एक्सल स्लीव में संक्षारण के प्रति अच्छा प्रतिरोध और उच्च तापमान और थर्मल शॉक के प्रति उत्कृष्ट प्रतिरोध है। लोच का एक उच्च मापांक इसके अलावा उत्कृष्ट आयामी स्थिरता का परिणाम देता है। इसके अतिरिक्त, सिरेमिक सामग्री में शून्य सरंध्रता और कम छिद्र घनत्व होता है।

हम ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार सभी प्रकार के SiC एक्सल स्लीव को संसाधित कर सकते हैं।

SiC एक्सल स्लीव के पैरामीटर

तकनीकी गुण
अनुक्रमणिका	इकाई	कीमत
सामग्री का नाम		रिएक्शन सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड	दबाव रहित सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड	पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड
संघटन		आरबीएसआईसी	एसएसआईसी	आर-SiC
थोक घनत्व	जी/सेमी3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
आनमनी सार्मथ्य	एमपीए (केपीएसआई)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
सम्पीडक क्षमता	एमपीए (केपीएसआई)	1120(158)	3970(560)	> 600
कठोरता	बटन	2700	2800	/
दृढ़ता को तोड़ना	एमपीए एम1/2	4.5	4	/
ऊष्मीय चालकता	डब्ल्यू/एम.के	95	120	23
थर्मल विस्तार का गुणांक	10^-6.1/डिग्री सेल्सियस	5	4	4.7
विशिष्ट ऊष्मा	जूल/जी 0k	0.8	0.67	/
हवा में अधिकतम तापमान	℃	1200	1500	1600
लोचदार मापांक	जीपीए	360	410	240

सेमीकोरेक्स ने तीन रूपों में SiC एक्सल स्लीव का उत्पादन किया, रिएक्शन सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड (RBSiC), प्रेशरलेस सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड (SSiC) और रीक्रिस्टल सिलिकॉन कार्बाइड (R-SiC)।

एसएसआईसीसी और आरबीएसआईसीसी के बीच अंतर:

1. सिंटरिंग प्रक्रिया अलग है। आरबीएसआईसी को कम तापमान पर सिलिकॉन कार्बाइड में मुक्त सी को घुसपैठ करना है, एसएसआईसीसी 2100 डिग्री पर प्राकृतिक संकोचन से बनता है।

2. SSiC में चिकनी सतह, उच्च घनत्व और उच्च शक्ति होती है, अधिक सख्त सतह आवश्यकताओं के साथ कुछ सीलिंग के लिए, SSiC बेहतर होगा।

3. अलग-अलग PH और तापमान के तहत अलग-अलग उपयोग किया गया समय, SSiC, RBSiC से अधिक लंबा है

SiC एक्सल स्लीव की विशेषताएं

- उच्च शक्ति (मोह कठोरता 9.5, हीरे के बाद दूसरा)

- एसिड, क्षार, लवण और कार्बनिक सॉल्वैंट्स के लिए संक्षारण प्रतिरोध

- उच्च तापीय चालकता, प्लाज्मा प्रतिरोध, लंबा जीवन

- अर्धचालक

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक के उपलब्ध आकार：

● सिरेमिक रॉड / सिरेमिक पिन / सिरेमिक प्लंजर

● सिरेमिक ट्यूब / सिरेमिक बुशिंग / सिरेमिक स्लीव

● सिरेमिक रिंग / सिरेमिक वॉशर / सिरेमिक स्पेसर

● सिरेमिक डिस्क