SiC क्षैतिज फर्नेस ट्यूब

सेमीकोरेक्स SiC क्षैतिज फर्नेस ट्यूब एक सटीक सिरेमिक प्रक्रिया ट्यूब है जिसका उपयोग क्षैतिज प्रसार और थर्मल प्रसंस्करण भट्टियों के अंदर किया जाता है। ट्यूब उच्च तापमान संचालन के दौरान अर्धचालक वेफर्स के लिए एक स्थिर और नियंत्रित प्रतिक्रिया वातावरण बनाता है।

दिखाए गए उत्पाद में उन्नत 3डी प्रिंटिंग तकनीक का उपयोग करके निर्मित एक एकीकृत वन-पीस संरचना है। ऑपरेशन के दौरान, भट्टी ट्यूब प्रतिक्रियाशील और सुरक्षात्मक गैस वायुमंडल के संपर्क में आती है, जिसमें शामिल हैं:

* ऑक्सीजन (प्रतिक्रिया गैस)

* नाइट्रोजन (सुरक्षात्मक गैस)

* हाइड्रोजन क्लोराइड (HCl) की थोड़ी मात्रा

ऑपरेटिंग तापमान लगभग 1250 डिग्री सेल्सियस तक पहुंच सकता है, जिससे सामग्री को विस्तारित उत्पादन चक्रों के दौरान उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिरोध और संरचनात्मक अखंडता बनाए रखने की आवश्यकता होती है।

पारंपरिक क्वार्ट्ज भट्टी ट्यूबों की तुलना में,सिकफर्नेस ट्यूब बेहतर तापीय चालकता, उच्च यांत्रिक शक्ति और थर्मल शॉक और संक्षारक प्रक्रिया स्थितियों के प्रति उल्लेखनीय रूप से बेहतर प्रतिरोध प्रदान करते हैं।

सिक क्षैतिज फर्नेस ट्यूबों की मुख्य विशेषताएं

उन्नत 3डी मुद्रित एकीकृत संरचना

फर्नेस ट्यूब उन्नत 3डी प्रिंटिंग वन-पीस फॉर्मिंग तकनीक को अपनाती है, जिससे घटक को उत्कृष्ट आयामी स्थिरता के साथ जटिल ज्यामिति प्राप्त करने की अनुमति मिलती है।

एकीकृत संरचना कई लाभ प्रदान करती है:

* कम असेंबली इंटरफ़ेस

* बेहतर संरचनात्मक ताकत

* उन्नत सीलिंग प्रदर्शन

*बेहतर तापीय एकरूपता

* थर्मल साइक्लिंग के दौरान उच्च विश्वसनीयता

यह विनिर्माण विधि विभिन्न अर्धचालक भट्टी प्रणालियों के लिए अनुकूलित डिज़ाइन भी सक्षम बनाती है।

अति-निम्न अशुद्धता सामग्री

सेमीकंडक्टर निर्माण में शुद्धता महत्वपूर्ण है। SiC फर्नेस ट्यूब की आधार सामग्री अशुद्धता सामग्री 100 पीपीएम से नीचे नियंत्रित होती है, जबकि सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग अशुद्धता सामग्री 1 पीपीएम से नीचे होती है।

अल्ट्रा-उच्च शुद्धता सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के दौरान संदूषण जोखिमों को कम करने में मदद करती है, जिससे स्थिर वेफर गुणवत्ता और बेहतर डिवाइस उपज सुनिश्चित होती है।

कम संदूषण प्रदर्शन विशेष रूप से महत्वपूर्ण है:

* सिलिकॉन वेफर प्रसार

* ऑक्सीकरण प्रक्रियाएं

* पावर सेमीकंडक्टर विनिर्माण

* उन्नत एकीकृत सर्किट निर्माण

* यौगिक अर्धचालक प्रसंस्करण

उच्च तापीय चालकता

पारंपरिक भट्ठी सामग्री की तुलना में सिलिकॉन कार्बाइड उत्कृष्ट तापीय चालकता प्रदर्शित करता है। कुशल गर्मी हस्तांतरण भट्ठी ट्यूब को पूरे प्रक्रिया कक्ष में अत्यधिक समान तापमान वितरण बनाए रखने की अनुमति देता है।

समान थर्मल प्रदर्शन मदद करता है:

* प्रक्रिया की निरंतरता में सुधार करें

* तापमान प्रवणता कम करें

* वेफर तनाव को कम करें

* प्रक्रिया दोहराव क्षमता बढ़ाएँ

* सटीक थर्मल नियंत्रण का समर्थन करें

यह उच्च तापमान प्रसार और ऑक्सीकरण प्रक्रियाओं में विशेष रूप से मूल्यवान है जहां तापमान एकरूपता सीधे वेफर गुणवत्ता को प्रभावित करती है।

उत्कृष्ट थर्मल शॉक स्थिरता

सेमीकंडक्टर फर्नेस सिस्टम अक्सर तीव्र ताप और शीतलन चक्र का अनुभव करते हैं। SiC क्षैतिज फर्नेस ट्यूब उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध प्रदान करते हैं, जिससे उन्हें दरार या विरूपण के बिना गंभीर तापमान में उतार-चढ़ाव का सामना करने की अनुमति मिलती है।

उत्कृष्ट थर्मल शॉक स्थिरता परिचालन विश्वसनीयता में सुधार करती है और निरंतर उच्च तापमान उत्पादन स्थितियों के तहत सेवा जीवन का विस्तार करती है।

मजबूत सीवीडी एसआईसी कोटिंग आसंजन

The सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगसब्सट्रेट के साथ मजबूत संबंध शक्ति के साथ एक अत्यधिक घनी और टिकाऊ सुरक्षात्मक सतह परत बनाता है।

कोटिंग प्रदान करती है:

* उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध

* उच्च पहनने का प्रतिरोध

* बढ़ी हुई सतह की शुद्धता

* बेहतर रासायनिक स्थिरता

* आक्रामक वातावरण में जीवन काल में सुधार

मजबूत कोटिंग आसंजन भी दीर्घकालिक संचालन के दौरान छीलने या गिरावट को रोकने में मदद करता है।

मजबूत एसिड सफाई का प्रतिरोध

सेमीकंडक्टर निर्माण में, प्रक्रिया घटकों को जमा अवशेषों और दूषित पदार्थों को हटाने के लिए अक्सर समय-समय पर रासायनिक सफाई की आवश्यकता होती है। SiC भट्टी ट्यूब मजबूत एसिड सफाई प्रक्रियाओं के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदर्शित करती है, बार-बार रखरखाव चक्र के बाद स्थिर सतह की गुणवत्ता और संरचनात्मक अखंडता बनाए रखती है।

यह विशेषता डाउनटाइम को कम करने में मदद करती है और दीर्घकालिक प्रक्रिया स्थिरता का समर्थन करती है।

सिक क्षैतिज फर्नेस ट्यूबों के अनुप्रयोग

सिक क्षैतिज फर्नेस ट्यूबों का व्यापक रूप से अर्धचालक थर्मल प्रसंस्करण उपकरण में उपयोग किया जाता है, जिनमें शामिल हैं:

* वेफर ऑक्सीकरण प्रणाली

* सेमीकंडक्टर प्रसार भट्टियां

* एनीलिंग उपकरण

* एलपीसीवीडी सिस्टम

* थर्मल प्रसंस्करण कक्ष

* सिलिकॉन वेफर विनिर्माण

* विद्युत अर्धचालक उत्पादन

* SiC और GaN अर्धचालक प्रसंस्करण

वे विशेष रूप से उच्च तापमान वाले अर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त हैं जिनके लिए अति-स्वच्छ वातावरण, उच्च तापीय दक्षता और उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध की आवश्यकता होती है।

सेमीकोरेक्स SiC हॉरिजॉन्टल फर्नेस ट्यूब क्यों चुनें?

सेमीकोरेक्स थर्मल प्रक्रिया वातावरण की मांग के लिए इंजीनियर किए गए सेमीकंडक्टर-ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड घटकों में माहिर है। हमारे SiC हॉरिजॉन्टल फर्नेस ट्यूब विश्वसनीय दीर्घकालिक प्रदर्शन सुनिश्चित करने के लिए उच्च शुद्धता वाली सामग्री, उन्नत CVD कोटिंग तकनीक और सटीक गुणवत्ता नियंत्रण प्रणालियों का उपयोग करके निर्मित किए जाते हैं।

हम प्रदान करते हैं:

* उच्च शुद्धतासीआईसी सामग्री

* परिशुद्धता 3डी एकीकृत विनिर्माण

* उत्कृष्ट थर्मल और रासायनिक स्थिरता

* मजबूत सीवीडी कोटिंग आसंजन

* अनुकूलन योग्य आयाम और संरचनाएँ

* सेमीकंडक्टर-ग्रेड संदूषण नियंत्रण

* विश्वसनीय वैश्विक तकनीकी सहायता

उन्नत सिरेमिक सामग्री और सेमीकंडक्टर प्रक्रिया अनुप्रयोगों में व्यापक विशेषज्ञता के साथ, सेमीकोरेक्स उच्च-प्रदर्शन वाले SiC समाधान प्रदान करता है जो दुनिया भर में अगली पीढ़ी के सेमीकंडक्टर निर्माण का समर्थन करता है।