अर्धचंद्र घटक

सेमीकोरेक्स हाफ मून घटक अर्ध-बेलनाकार या खंडित आंतरिक रिएक्टर संरचनाएं हैं जो आमतौर पर एपिटैक्सियल रिएक्टरों के अंदर स्थापित की जाती हैं। उनकी अनूठी ज्यामिति एपिटैक्सियल विकास प्रक्रियाओं के दौरान गैस वितरण, थर्मल प्रबंधन, वेफर पोजिशनिंग और चैम्बर सुरक्षा को अनुकूलित करने में मदद करती है।

दिखाए गए उत्पाद में एकीकृत आंतरिक समर्थन ज्यामिति के साथ एक सटीक-मशीनीकृत बेलनाकार संरचना है, जिसे विशेष रूप से एलपीई-शैली कक्ष कॉन्फ़िगरेशन में फिट करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। ये घटक आमतौर पर उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से निर्मित होते हैं और स्थायित्व, शुद्धता और रासायनिक प्रतिरोध में सुधार के लिए उन्नत सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग्स के साथ संरक्षित किया जा सकता है।

एपिटैक्सियल रिएक्टरों में, घटक स्थिरता और सफाई सीधे फिल्म एकरूपता, क्रिस्टल गुणवत्ता और वेफर उपज को प्रभावित करती है। इसलिए, रिएक्टर आंतरिक को आक्रामक रासायनिक वातावरण, तीव्र थर्मल साइक्लिंग और विरूपण या संदूषण के बिना लंबे समय तक उच्च तापमान संचालन का सामना करना होगा।

एलपीई-शैली चैंबर्स के साथ संगत रिएक्टर पार्ट्स

सेमीकोरेक्स एलपीई एपिटैक्सियल सिस्टम के साथ संगत कई रिएक्टर भागों का निर्माण करता है, जिनमें शामिल हैं:

* अर्धचंद्र भाग

* सुरक्षा कवर

* प्रवाह गाइड भाग

* वेफर समर्थन भाग

* परिरक्षण के छल्ले

* कस्टम ग्रेफाइट असेंबली

सभी घटकों को रिएक्टर आयामों, प्रक्रिया स्थितियों और ग्राहक-विशिष्ट डिज़ाइन आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है।

हाफ मून घटकों की मुख्य विशेषताएं

उच्च शुद्धता ग्रेफाइट आधार सामग्री

रिएक्टर घटकों का निर्माण उच्च-घनत्व, उच्च-शुद्धता का उपयोग करके किया जाता हैआइसोस्टैटिक ग्रेफाइट सामग्रीसेमीकंडक्टर अनुप्रयोगों के लिए विशेष रूप से चयनित। कम अशुद्धता सामग्री एपीटैक्सियल विकास प्रक्रियाओं के दौरान संदूषण जोखिमों को कम करने में मदद करती है।

उच्च शुद्धता वाली सामग्री बनाए रखने के लिए आवश्यक है:

* स्थिर क्रिस्टल विकास

* एकसमान एपिटैक्सियल परतें

* कम दोष घनत्व

* सेमीकंडक्टर-ग्रेड की सफाई

उन्नत SiC कोटिंग सुरक्षा

मांगपूर्ण प्रक्रिया वातावरण के लिए, ग्रेफाइट सब्सट्रेट को घने के साथ लेपित किया जा सकता हैसीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड. SiC कोटिंग उत्कृष्ट आसंजन और रासायनिक स्थिरता के साथ एक अत्यधिक सुरक्षात्मक सतह परत बनाती है।

SiC कोटिंग प्रदान करती है:

* बेहतर संक्षारण प्रतिरोध

* कण उत्पादन में कमी

* बेहतर घिसाव प्रतिरोध

* बढ़ाया ऑक्सीकरण प्रतिरोध

* लंबी सेवा जीवन

कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट को प्रक्रिया गैसों और आक्रामक सफाई रसायनों से भी बचाती है।

उत्कृष्ट तापीय स्थिरता

हाफ मून घटक उच्च तापमान वाले एपिटैक्सियल रिएक्टरों में काम करते हैं जहां थर्मल स्थिरता महत्वपूर्ण है। ग्रेफाइट और SiC सामग्रियां उत्कृष्ट तापीय चालकता और तापीय आघात प्रतिरोध प्रदान करती हैं, जिससे तीव्र ताप और शीतलन चक्रों के दौरान स्थिर कक्ष स्थितियों को बनाए रखने में मदद मिलती है।

उत्कृष्ट थर्मल प्रदर्शन इसमें योगदान देता है:

* समान तापमान वितरण

* तापीय तनाव कम हुआ

* स्थिर प्रक्रिया दोहराव

* एपिटैक्सियल परत की स्थिरता में सुधार

परिशुद्धता मशीनिंग क्षमता

सेमीकोरेक्स तंग आयामी सहनशीलता और जटिल आंतरिक संरचनाओं को प्राप्त करने के लिए उन्नत सीएनसी मशीनिंग और सटीक विनिर्माण प्रौद्योगिकियों का उपयोग करता है।

सटीक मशीनिंग सुनिश्चित करती है:

* उचित रिएक्टर फिटमेंट

* स्थिर गैस प्रवाह नियंत्रण

* विश्वसनीय वेफर स्थिति

* लगातार चैम्बर प्रदर्शन

विशिष्ट रिएक्टर डिज़ाइन के अनुसार जटिल अनुकूलित ज्यामिति का भी उत्पादन किया जा सकता है।

मजबूत रासायनिक प्रतिरोध

एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं में अक्सर संक्षारक गैसें और कठोर परिचालन स्थितियां शामिल होती हैं। SiC-लेपित रिएक्टर घटक उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदर्शित करते हैं:

*हाइड्रोजन

* क्लोरीन युक्त गैसें

*एसिड सफाई रसायन

* उच्च तापमान ऑक्सीकरण

यह रासायनिक स्थायित्व घटक के जीवनकाल को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाता है और रखरखाव की आवृत्ति को कम करता है।

एपिटैक्सियल ग्रोथ सिस्टम में अनुप्रयोग

सेमीकंडक्टर विनिर्माण अनुप्रयोगों के लिए उन्नत एपिटैक्सियल प्रसंस्करण उपकरण में हाफ मून घटकों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, जिनमें शामिल हैं:

* सिलिकॉन एपिटैक्सी

* SiC एपीटैक्सियल वृद्धि

* GaN एपिटैक्सी

* पावर सेमीकंडक्टर विनिर्माण

* एलईडी उत्पादन

* उन्नत वेफर प्रसंस्करण

* उच्च तापमान सीवीडी सिस्टम

रिएक्टर कक्ष के अंदर, ये घटक गैस प्रवाह गतिशीलता को अनुकूलित करने, प्रक्रिया की एकरूपता बनाए रखने और महत्वपूर्ण कक्ष क्षेत्रों को थर्मल और रासायनिक क्षति से बचाने में मदद करते हैं।

सेमीकोरेक्स क्यों चुनें?

सेमीकोरेक्स सेमीकंडक्टर और उच्च तापमान वाले औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए उन्नत ग्रेफाइट और सिलिकॉन कार्बाइड समाधान पर केंद्रित है। एपिटैक्सियल रिएक्टर घटकों में व्यापक अनुभव के साथ, हम दीर्घकालिक विश्वसनीयता और सेमीकंडक्टर-ग्रेड प्रदर्शन के लिए डिज़ाइन किए गए सटीक-इंजीनियर उत्पाद प्रदान करते हैं।

हमारे फायदों में शामिल हैं:

* उच्च शुद्धता वाला कच्चा माल

* उन्नत SiC कोटिंग तकनीक

* परिशुद्धता मशीनिंग क्षमता

* कस्टम इंजीनियरिंग समर्थन

* सख्त गुणवत्ता नियंत्रण

* वैश्विक आपूर्ति क्षमता

अनुकूलित विनिर्माण समाधानों के साथ उन्नत सामग्री विशेषज्ञता को जोड़कर, सेमीकोरेक्स अगली पीढ़ी के सेमीकंडक्टर प्रौद्योगिकियों के लिए स्थिर और कुशल एपिटैक्सियल विकास प्रक्रियाओं को प्राप्त करने में दुनिया भर के ग्राहकों का समर्थन करता है।