रोबोट अंत प्रभावक

रोबोट एंड इफ़ेक्टर रोबोट का हाथ है जो सेमीकंडक्टर वेफर्स को वेफर प्रसंस्करण उपकरण और वाहक में स्थितियों के बीच ले जाता है। रोबोट एंड इफ़ेक्टर को आयामी रूप से सटीक और थर्मल रूप से स्थिर होना चाहिए, जबकि उपकरणों को नुकसान पहुंचाए बिना या कण संदूषण पैदा किए बिना वेफर्स को सुरक्षित रूप से संभालने के लिए एक चिकनी, घर्षण प्रतिरोधी सतह होनी चाहिए। हमारा उच्च शुद्धता वाला सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग रोबोट एंड इफ़ेक्टर बेहतर गर्मी प्रतिरोध, लगातार एपी परत की मोटाई और प्रतिरोध के लिए थर्मल एकरूपता और टिकाऊ रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करता है।

रोबोट एंड इफ़ेक्टर के पैरामीटर

रोबोट एंड एफेक्टर की विशेषताएं

उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट

बेहतर गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता

चिकनी सतह के लिए महीन SiC क्रिस्टल लेपित

रासायनिक सफाई के खिलाफ उच्च स्थायित्व

सामग्री को इस प्रकार डिज़ाइन किया गया है कि दरारें और प्रदूषण न हो।