प्लाज्मा प्रसंस्करण फोकस रिंग

हमारी प्लाज्मा प्रसंस्करण फोकस रिंग आरटीए, आरटीपी, या कठोर रासायनिक सफाई के लिए अत्यधिक स्थिर है, जो उन्हें प्लाज्मा ईच (या ड्राई ईच) कक्षों में उपयोग के लिए एक आदर्श विकल्प बनाती है। वेफर किनारे या परिधि के चारों ओर खोदने की एकरूपता में सुधार करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, हमारे फोकस रिंग या एज रिंग को संदूषण और अनिर्धारित रखरखाव को कम करने के लिए इंजीनियर किया गया है।

हमारी SiC कोटिंग उच्च संक्षारण और गर्मी प्रतिरोध गुणों के साथ-साथ उत्कृष्ट तापीय चालकता के साथ एक घनी, पहनने के लिए प्रतिरोधी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग है। हम रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया का उपयोग करके ग्रेफाइट पर पतली परतों में SiC लगाते हैं। यह सुनिश्चित करता है कि हमारे SiC फोकस रिंग्स में बेहतर गुणवत्ता और स्थायित्व है, जो उन्हें आपके प्लाज्मा ईच प्रसंस्करण आवश्यकताओं के लिए एक विश्वसनीय विकल्प बनाता है।

हमारे प्लाज्मा प्रोसेसिंग फोकस रिंग के बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।

प्लाज्मा प्रसंस्करण फोकस रिंग के पैरामीटर

प्लाज्मा प्रसंस्करण फोकस रिंग की विशेषताएं

- सेवा जीवन को बेहतर बनाने के लिए सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग।

- उच्च प्रदर्शन वाले शुद्ध कठोर कार्बन से बना थर्मल इन्सुलेशन।

- कार्बन/कार्बन मिश्रित हीटर और प्लेट। - ग्रेफाइट सब्सट्रेट और सिलिकॉन कार्बाइड परत दोनों में उच्च तापीय चालकता और उत्कृष्ट ताप वितरण गुण होते हैं।

- पिनहोल प्रतिरोध और उच्च जीवनकाल के लिए उच्च शुद्धता ग्रेफाइट और SiC कोटिंग