एपिटैक्सियल रिएक्टरों के लिए ग्रेफाइट वाहक

एपिटैक्सियल रिएक्टरों के लिए अर्धविराम ग्रेफाइट वाहक अर्धचालक विनिर्माण के लिए एपिटैक्सियल बयान के लिए एक इंजीनियर घटक है। यह ग्रेफाइट वाहक उच्च शुद्धता ग्रेफाइट से बना है और SIC के साथ समान रूप से लेपित है। यह वाहक जिम्मेदारी को कम करने, पहनने और आंसू को कम करने और संक्षारक वातावरण में और उच्च तापमान में भी बेहतर रासायनिक स्थिरता प्रदान करने के कई फायदे के साथ आता है। नीचे की सतह पर बॉटमाइला घने माइक्रो पोरसिटी विकास के दौरान वेफर सतह पर समान गैस वितरण प्रदान करती है जो कि दोष मुक्त क्रिस्टल परतों का उत्पादन करने के लिए पर्याप्त सटीक होना चाहिए।

SIC लेपित वाहक क्षैतिज या ऊर्ध्वाधर एपिटैक्सियल रिएक्टरों पर केंद्रित है, चाहे बैच या एकल वेफर। सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग ग्रेफाइट की रक्षा करता है, नाम ईडी नक़्क़ाशी प्रतिरोध में सुधार करता है, ऑक्सीकरण प्रतिरोधी है, और बिना किसी ग्रेफाइट की तुलना में थर्मल झटका भी दृष्टिकोण ऑपरेटरों को क्रांति करने वाले ऑपरेटरों को थर्मल चक्र के हर चरण में कम हस्तक्षेप सेवा जीवन के साथ व्यापक रखरखाव/प्रतिस्थापित करने वाले स्मारकीय समय का उपयोग करके निवेश किया जाता है; बाल्टी से रखरखाव के लिए जल्दबाजी करना या वाहक के साथ सक्षम आरके प्रतिष्ठित पॉलिमर को शायद एक बार सब कुछ के रूप में बदल दिया जाना चाहिए; प्रसव पूर्व या प्रति अनुसूचित रखरखाव के बजाय परिचालन प्रभावकारिता को अधिकतम करने के लिए।

बेस ग्रेफाइट सब्सट्रेट को अल्ट्रा-फाइन अनाज, उच्च-घनत्व सामग्री से बनाया गया है, जो चरम थर्मल लोडिंग के तहत अंतर्निहित यांत्रिक स्थिरता और आयामी स्थिरता प्रदान करता है। रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) का उपयोग करते हुए कार्बन लेयर में एक निश्चित, सटीक एसआईसी कोटिंग को जोड़ा जा सकता है, जो एक साथ एक उच्च घनत्व, चिकनी, तेज और पिनहोल मुक्त परत एक मजबूत सतह बॉन्ड के साथ प्रदान करता है। इसका मतलब प्रक्रिया गैसों और रिएक्टर की स्थिति के साथ अच्छी संगतता हो सकती है, साथ ही कम संदूषण और कम कणों को कम करने वाले वेफर उपज को प्रभावित कर सकते हैं।

वाहक के तल पर माइक्रो-होल स्थान, रिक्ति और संरचना को रिएक्टर के आधार से सबसे अधिक कुशल और समान गैस प्रवाह को बढ़ावा देने की योजना बनाई गई है, जो कि ग्रेफाइट वाहक के छिद्रों के माध्यम से इसके ऊपर वेफर्स तक है। रिएक्टर के आधार से एक समान गैस का प्रवाह एपिटैक्सियल ग्रोथ प्रक्रियाओं के लिए ग्रेफाइट वाहक में परत की मोटाई और डोपिंग प्रोफाइल की प्रक्रिया नियंत्रण को बदल सकता है, विशेष रूप से एसआईसी या जीएएन जैसे गैसीय यौगिक अर्धचालक में जहां सटीक और पुनरावृत्ति महत्वपूर्ण है। इसके अलावा, छिद्र घनत्व और पैटर्न का विनिर्देश अत्यधिक अनुकूलन योग्य है, प्रत्येक निगम के रिएक्टर डिजाइन द्वारा परिभाषित किया गया है, और वेध संरचना प्रक्रिया विनिर्देशों पर आधारित है।

अर्धविराम ग्रेफाइट वाहक को ध्यान में रखते हुए एपिटैक्सियल प्रक्रिया वातावरण की कठोरता के साथ डिजाइन और निर्मित किया जाता है। अर्धरेक्स सभी आकारों, छेद पैटर्न और लेपित मोटाई के लिए अनुकूलन प्रदान करता है ताकि आपके मौजूदा उपकरणों में मूल रूप से एकीकृत हो सके। वाहक बनाने के लिए हमारी इन-हाउस क्षमता, और सटीक गुणवत्ता नियंत्रण सटीक, दोहराने योग्य प्रदर्शन, उच्च शुद्धता समाधान और विश्वसनीयता सुनिश्चित करता है जो आज के प्रमुख अर्धचालक निर्माताओं द्वारा मांग की जाती है।