एपीटैक्सियल वेफर नाव

सेमीकोरेक्स ऊर्ध्वाधर/स्तंभ और क्षैतिज दोनों विन्यासों के लिए वेफर नौकाएं, पेडस्टल्स और कस्टम वेफर वाहक प्रदान करता है। हम कई वर्षों से सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग फिल्म के निर्माता और आपूर्तिकर्ता रहे हैं। हमारे एपिटैक्सियल वेफर बोट की कीमत में अच्छी बढ़त है और यह अधिकांश यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करती है। हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।

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उत्पाद वर्णन

सेमीकोरेक्स एपिटैक्सियल वेफर बोट, सेमीकंडक्टर निर्माण में वेफर प्रसंस्करण के लिए सही समाधान। हमारी एपिटैक्सियल वेफर नावें उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक से बनी हैं जो उच्च तापमान और रासायनिक संक्षारण के लिए बेहतर प्रतिरोध प्रदान करती हैं।
हमारे सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल वेफर बोट में एक चिकनी सतह होती है जो कण उत्पादन को कम करती है, जिससे आपके उत्पादों के लिए उच्चतम स्तर की शुद्धता सुनिश्चित होती है। उत्कृष्ट तापीय चालकता और बेहतर यांत्रिक शक्ति के साथ, हमारी नावें लगातार और विश्वसनीय परिणाम प्रदान करती हैं।
हमारी एपिटैक्सियल वेफर नावें सभी मानक वेफर प्रसंस्करण उपकरणों के साथ संगत हैं और 1600 डिग्री सेल्सियस तक तापमान का सामना कर सकती हैं। उन्हें संभालना और साफ करना आसान है, जो उन्हें आपकी विनिर्माण आवश्यकताओं के लिए लागत प्रभावी और कुशल विकल्प बनाता है।
हमारे विशेषज्ञों की टीम सर्वोत्तम गुणवत्ता और सेवा प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है। हम आपकी विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए कस्टम डिज़ाइन प्रदान करते हैं, और हमारे उत्पाद हमारे गुणवत्ता आश्वासन कार्यक्रम द्वारा समर्थित हैं।

एपिटैक्सियल वेफर नाव के पैरामीटर

तकनीकी गुण
अनुक्रमणिका	इकाई	कीमत
सामग्री का नाम		रिएक्शन सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड	दबाव रहित सिन्जेड सिलिकॉन कार्बाइड	पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड
संघटन		आरबीएसआईसी	एसएसआईसी	आर-SiC
थोक घनत्व	जी/सेमी3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
आनमनी सार्मथ्य	एमपीए (केपीएसआई)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
सम्पीडक क्षमता	एमपीए (केपीएसआई)	1120(158)	3970(560)	> 600
कठोरता	बटन	2700	2800	/
दृढ़ता को तोड़ना	एमपीए एम1/2	4.5	4	/
ऊष्मीय चालकता	डब्ल्यू/एम.के	95	120	23
थर्मल विस्तार का गुणांक	10^-6.1/डिग्री सेल्सियस	5	4	4.7
विशिष्ट ऊष्मा	जूल/जी 0k	0.8	0.67	/
हवा में अधिकतम तापमान	℃	1200	1500	1600
लोचदार मापांक	जीपीए	360	410	240

एसएसआईसीसी और आरबीएसआईसीसी के बीच अंतर:

1. सिंटरिंग प्रक्रिया अलग है। आरबीएसआईसी को कम तापमान पर सिलिकॉन कार्बाइड में मुक्त सी को घुसपैठ करना है, एसएसआईसीसी 2100 डिग्री पर प्राकृतिक संकोचन से बनता है।

2. SSiC में चिकनी सतह, उच्च घनत्व और उच्च शक्ति होती है, अधिक सख्त सतह आवश्यकताओं के साथ कुछ सीलिंग के लिए, SSiC बेहतर होगा।

3. अलग-अलग PH और तापमान के तहत अलग-अलग उपयोग किया गया समय, SSiC, RBSiC से अधिक लंबा है

सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल वेफर नाव की विशेषताएं

MOCVD द्वारा लेपित उच्च शुद्धता SiC
बेहतर गर्मी प्रतिरोध और थर्मल एकरूपता
चिकनी सतह के लिए महीन SiC क्रिस्टल लेपित
रासायनिक सफाई के खिलाफ उच्च स्थायित्व
सामग्री को डिज़ाइन किया गया है ताकि दरारें और प्रदूषण न हो।