सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के लिए टिकाऊ फोकस रिंग

सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के लिए सेमीकोरेक्स टिकाऊ फोकस रिंग सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में उपयोग किए जाने वाले प्लाज्मा ईच कक्षों के चरम वातावरण का सामना करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। हमारे फोकस रिंग घने, पहनने के लिए प्रतिरोधी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग के साथ लेपित उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट से बने होते हैं। SiC कोटिंग में उच्च संक्षारण और गर्मी प्रतिरोधी गुण हैं, साथ ही उत्कृष्ट तापीय चालकता भी है। हम अपने फोकस रिंगों की सेवा जीवन को बेहतर बनाने के लिए रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया का उपयोग करके ग्रेफाइट पर पतली परतों में SiC लगाते हैं।

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उत्पाद वर्णन

सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के लिए हमारे टिकाऊ फोकस रिंग्स को वेफर किनारे या परिधि के चारों ओर खोदने की एकरूपता में सुधार करने, संदूषण और अनिर्धारित रखरखाव को कम करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। वे रैपिड थर्मल एनीलिंग (आरटीए), रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग (आरटीपी), और कठोर रासायनिक सफाई के लिए अत्यधिक स्थिर हैं।

सेमीकोरेक्स में, हम सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के लिए उच्च गुणवत्ता, लागत प्रभावी टिकाऊ फोकस रिंग प्रदान करने पर ध्यान केंद्रित करते हैं, हम ग्राहकों की संतुष्टि को प्राथमिकता देते हैं और लागत प्रभावी समाधान प्रदान करते हैं। हम उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करते हुए आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।

सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के लिए हमारे टिकाऊ फोकस रिंगों के बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।

अर्धचालक प्रसंस्करण के लिए टिकाऊ फोकस रिंग के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ
SiC-CVD गुण
क्रिस्टल की संरचना	एफसीसी β चरण
घनत्व	जी/सेमी ³	3.21
कठोरता	विकर्स कठोरता	2500
अनाज आकार	माइक्रोन	2~10
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
ताप की गुंजाइश	जे किग्रा-1 के-1	640
ऊर्ध्वपातन तापमान	℃	2700
फेलेक्सुरल ताकत	एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)	415
यंग का मापांक	जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)	10-6K -1	4.5
ऊष्मीय चालकता	(डब्ल्यू/एमके)	300