डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब

डिफ्यूजन फर्नेस ट्यूब आमतौर पर उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज या SiC से बनाई जाती है, जो दोनों असाधारण थर्मल स्थिरता और रासायनिक प्रतिक्रियाओं के प्रतिरोध को प्रदर्शित करते हैं। यह महत्वपूर्ण है क्योंकि प्रसार भट्टी ट्यूब को संसाधित होने वाली अर्धचालक सामग्री में अशुद्धियाँ नहीं लानी चाहिए। यहां तक ​​कि थोड़ी सी भी अशुद्धियां निर्मित अर्धचालक उपकरणों के प्रदर्शन और विश्वसनीयता पर महत्वपूर्ण हानिकारक प्रभाव डाल सकती हैं।

प्रसंस्करण के दौरान अर्धचालक वेफर्स के संदूषण को रोकने के लिए प्रसार भट्ठी ट्यूब के निर्माण में उपयोग की जाने वाली सामग्रियों को उनकी उच्च शुद्धता के लिए चुना जाता है। प्रसार भट्ठी ट्यूब अपनी संरचनात्मक अखंडता को विकृत या समझौता किए बिना अर्धचालक प्रसंस्करण के दौरान आने वाले अत्यधिक तापमान का सामना करती है। यह लंबे समय तक संचालन के दौरान लगातार और विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित करता है। थर्मल स्थिरता के अलावा, प्रसार भट्टी ट्यूब अर्धचालक प्रसंस्करण में उपयोग किए जाने वाले रसायनों और गैसों के संक्षारक प्रभावों के प्रति प्रतिरोध भी प्रदर्शित करती है। यह समय के साथ ट्यूब के क्षरण को रोकता है और दीर्घायु सुनिश्चित करता है।

कुछ प्रसार भट्ठी ट्यूबों में उनके प्रदर्शन को और बढ़ाने या संदूषण या रासायनिक प्रतिक्रियाओं के खिलाफ अतिरिक्त सुरक्षा प्रदान करने के लिए विशेष सामग्रियों से बने लाइनर की सुविधा हो सकती है। ट्यूब सामग्री के गुणों और अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए इन लाइनरों का सावधानीपूर्वक चयन किया जाता है।