कस्टम SiC कैंटिलीवर पैडल

सेमीकोरेक्स कस्टम SiC कैंटिलीवर पैडल वेफर लोडिंग सिस्टम और प्रसार भट्ठी के दिल के बीच महत्वपूर्ण लिंक के रूप में कार्य करता है, जो सिलिकॉन वेफर्स से लदी क्वार्ट्ज या SiC वेफर नौकाओं को उच्च तापमान प्रसंस्करण क्षेत्र में परिवहन के लिए जिम्मेदार है। इस मांगलिक कार्य के लिए उनके डिज़ाइन और भौतिक गुणों को सावधानीपूर्वक अनुकूलित किया गया है:

स्थिर वेफर परिवहन के लिए मजबूत ब्रैकट संरचना:भट्ठी में फैली एक कठोर भुजा की विशेषता वाला ब्रैकट डिज़ाइन, वेफर आंदोलन पर असाधारण स्थिरता और सटीक नियंत्रण प्रदान करता है। यह सुचारू और कंपन-मुक्त परिवहन सुनिश्चित करता है, जिससे लोडिंग और अनलोडिंग के दौरान वेफर के टूटने या गलत संरेखण का जोखिम कम हो जाता है।

कुशल बैच प्रसंस्करण के लिए उच्च भार क्षमता:SiC सिरेमिक की अंतर्निहित ताकत और कठोरता कस्टम SiC कैंटिलीवर पैडल को सिलिकॉन वेफर्स के भारी भार को समायोजित करने, प्रत्येक प्रसार चक्र के थ्रूपुट को अधिकतम करने और उच्च उत्पादन मात्रा में योगदान करने की अनुमति देती है।

निर्बाध एकीकरण के लिए सटीक आयामी नियंत्रण: कस्टम SiC कैंटिलीवर पैडल को सटीक आयामी विशिष्टताओं के लिए सावधानीपूर्वक निर्मित किया गया है, जो प्रसार भट्ठी प्रणाली के भीतर एक सही फिट सुनिश्चित करता है और स्वचालित वेफर हैंडलिंग रोबोट के साथ सहज एकीकरण की सुविधा प्रदान करता है।

विशेष रूप से SiC सिरेमिक का चयनरिएक्शन बॉन्डेड सिलिकॉन कार्बाइड (RBSiC)औरसिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड (SSiC), क्योंकि कस्टम SiC कैंटिलीवर पैडल के लिए पसंद की सामग्री उच्च तापमान वाले वातावरण में उनकी असाधारण प्रदर्शन विशेषताओं से उत्पन्न होती है:

अटूट उच्च तापमान स्थिरता: कस्टम SiC कैंटिलीवर पैडल प्रसार भट्टियों के भीतर आने वाले ऊंचे तापमान (1600 डिग्री सेल्सियस तक) पर भी विरूपण और रेंगने के लिए असाधारण प्रतिरोध प्रदर्शित करता है। यह लगातार वेफर समर्थन सुनिश्चित करता है और शिथिलता या झुकने से बचाता है जो वेफर की एकरूपता से समझौता कर सकता है।

असाधारण थर्मल शॉक प्रतिरोध:अनगिनत प्रसार चक्रों पर कस्टम SiC कैंटिलीवर पैडल की अखंडता को बनाए रखने के लिए क्षति के बिना तेजी से तापमान परिवर्तन का सामना करने की क्षमता महत्वपूर्ण है। SiC सिरेमिक इस संबंध में उत्कृष्टता प्राप्त करता है, जिससे टूटने या फ्रैक्चर के जोखिम को कम किया जा सकता है जिससे महंगा डाउनटाइम हो सकता है।

सटीक संरेखण के लिए कम तापीय विस्तार:SiC सिरेमिक का न्यूनतम थर्मल विस्तार यह सुनिश्चित करता है कि कस्टम SiC कैंटिलीवर पैडल ऑपरेशन के दौरान अनुभव की जाने वाली विस्तृत तापमान सीमाओं में अपनी आयामी स्थिरता बनाए रखता है। भट्ठी के भीतर सटीक वेफर संरेखण बनाए रखने, समान हीटिंग और लगातार प्रसार प्रोफाइल सुनिश्चित करने के लिए यह महत्वपूर्ण है।