8-इंच वेफरहोल्डर के छल्ले

अर्धविराम 8-इंच वेफरहोल्डर रिंग्स कटिंग-एज सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग हार्डवेयर हैं जो महत्वपूर्ण थर्मल, नक़्क़ाशी और बयान प्रक्रियाओं के माध्यम से सुरक्षित रूप से सिलिकॉन वेफर्स को सुरक्षित और समर्थन करने के लिए हैं। घने के साथ उच्च गुणवत्ता वाले ग्रेफाइट से निर्मितसिलिकॉन कार्बाइड की कोटिंगअतिरिक्त ताकत के लिए, वेफर होल्डर रिंग बेहतर थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिरोध और यांत्रिक शक्ति प्राप्त करता है, इसे उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण जैसे कि सीवीडी (रासायनिक वाष्प जमाव), PECVD और एपिटैक्सी सिस्टम में उपयोग के लिए आदर्श प्रदान करता है।

प्रमुख विशेषताऐं:

सामग्री की संरचना:

सब्सट्रेट सामग्री हैउच्च शुद्धता ग्रेफाइट, जिसे उच्च तापीय चालकता और संरचनात्मक समरूपता के लिए चुना जाता है। उच्च घनत्व और समानसिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) फिल्म कोटिंगसतह पर लागू किया जाता है, 1000 डिग्री सेल्सियस से अधिक में ऊंचे तापमान पर भी ऑक्सीकरण और रासायनिक हमले के लिए उच्च प्रतिरोध का प्रदर्शन करता है। मिश्रण में लंबी अवधि और वेफर्स के संदूषण के न्यूनतम जोखिम का एक शेल्फ जीवन होता है।

सुरक्षित वेफर स्थिति

विशेष रूप से 8-इंच (200 मिमी) वेफर्स को धारण करने के लिए डिज़ाइन किया गया, वेफरहोल्डर रिंग में सटीक सहिष्णुता और एक बेहतर रूप से डिज़ाइन किए गए आंतरिक ज्यामिति को सुरक्षित रूप से वेफर को पकड़ने के लिए रखा गया है। रिंग थर्मल साइकिलिंग और गैस प्रवाह के दौरान स्थिति में स्थिर रहती है, जिससे सूक्ष्म-चालन को कम किया जाता है जो कण निर्माण या वेफर टूटने का कारण बन सकता है।

थर्मल एकरूपता:

ग्रेफाइट सब्सट्रेट की अंतर्निहित थर्मल चालकता और एसआईसी कोटिंग की स्थिरता वेफर सतह पर लगातार गर्मी हस्तांतरण सुनिश्चित करती है। यह लगातार प्रक्रिया परिणामों, थर्मल तनाव को कम करने और बेहतर डिवाइस उपज में परिणाम देता है।

रासायनिक और प्लाज्मा प्रतिरोध:

एसआईसी सतह ग्रेफाइट कोर को कठोर प्रक्रिया प्लास्मा और गैसों से बचाती है, जो दोहराया प्रक्रिया चक्रों के लिए एक प्रतिरोध की पेशकश करती है। रासायनिक जड़ता विशेष रूप से संक्षारक हलोजन युक्त नक़्क़ाशी या प्रतिक्रियाशील गैस वातावरण में फायदेमंद है।

अनुकूलन उपलब्ध:

8-इंच वेफरहोल्डर रिंग्स को विशिष्ट उपकरण या प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए कस्टम-डिज़ाइन किया जा सकता है, अर्थात्, एज सपोर्ट डिज़ाइन में भिन्नता, स्लॉट्स का स्थान और बढ़ते कॉन्फ़िगरेशन। हमारे डिजाइनर प्रत्येक उपयोग के लिए उच्चतम प्रदर्शन संभव प्रदान करने के लिए OEM और FABS के साथ काम करते हैं।

आवेदन:

• Lpcvd / pecvd / apcvd
• एपिटैक्सियल वृद्धि प्रक्रियाएँ
• प्रसार भट्ठी
• उच्च तापमान
• अन्य अर्धचालक थर्मल प्रसंस्करण प्रणालियाँ

प्रत्येक 8-इंच वेफरहोल्डर के छल्ले आयाम सटीकता सत्यापन, कोटिंग आसंजन परीक्षण और थर्मल साइकिलिंग योग्यता जैसे कठोर निरीक्षण से गुजरते हैं। हमारी उन्नत विनिर्माण प्रौद्योगिकी अर्धचालक उद्योग की उच्च मांगों को पूरा करने के लिए समान एसआईसी कोटिंग मोटाई और बेहतरीन सतह खत्म सुनिश्चित करती है।

अर्धविराम 8-इंच वेफरहोल्डर रिंग (एसआईसी-लेपित ग्रेफाइट) अगली पीढ़ी के अर्धचालक उत्पादन के लिए एक आवश्यक उपकरण हैं, जो यांत्रिक परिशुद्धता, सामग्री स्थायित्व और रासायनिक स्थिरता प्रदान करते हैं। प्रक्रिया उपकरण अपग्रेड से लेकर अगली पीढ़ी के वेफर प्लेटफार्मों के निर्माण तक, यह उत्पाद आज की मांग वाले उत्पादन वातावरण को सक्षम करने के लिए आवश्यक विश्वसनीयता और प्रदर्शन प्रदान करता है।