8 इंच एपि टॉप रिंग

अर्धरेक्स 8 इंच ईपीआई टॉप रिंग एपिटैक्सियल (ईपीआई) डिपोजिशन सिस्टम का एक विशेष घटक है जो रिएक्शन चैंबर पर शीर्ष कवर रिंग के रूप में उच्च प्रदर्शन प्रदान करता है। सेमीकंडक्टर वेफर्स के एपिटैक्सियल ग्रोथ के दौरान संरचनात्मक अखंडता और थर्मल स्थिरता पर ध्यान देने के साथ, ईपीआई टॉप रिंग उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट से बना है और सेमीकंडक्टर विनिर्माण के तापमान और रासायनिक रूप से प्रतिक्रियाशील वातावरण का सामना करने के लिए सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) के साथ लेपित है।

एपिटैक्सियल रिएक्टरों में, टॉप रिंग वेफर वातावरण को बनाए रखने में मदद करता है और सस्पेक्टर असेंबली के हिस्से के रूप में बयान के दौरान तापमान एकरूपता और गैस प्रवाह में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। ग्रेफाइट सब्सट्रेट पर एसआईसी कोटिंग ईपीआई टॉप रिंग (हाइड्रोजन, सिलेन, क्लोरोसिलेन्स, आदि) के प्रदर्शन के दौरान प्रक्रियाओं के गैसों के संपर्क में आने के कारण ग्रेफाइट कोर की सुरक्षा के लिए आवश्यक थर्मल स्थिरता और अक्रिय वातावरण के साथ ईपीआई शीर्ष रिंग प्रदान करता है। SIC परत की कठोरता और चालकता गिरावट को रोककर और उत्पादन चक्र में अधिक स्थिर परतों के लिए अनुमति देकर EPI शीर्ष रिंग के प्रदर्शन को बढ़ाती है।

आयामी सटीकता, कोटिंग स्थिरता, और दोहराव के लिए एक प्रतिबद्धता के साथ, 8 इंच ईपीआई टॉप रिंग सटीक इंजीनियरिंग के साथ निर्मित है। ग्रेफाइट सब्सट्रेट को तंग सहिष्णुता के लिए तैयार किया जाता है और उत्कृष्ट रूप से अशुद्धियों को अलग करने के लिए शुद्ध किया जाता है, जो उत्कृष्ट शुद्धता और शक्ति के साथ एक साफ सब्सट्रेट प्रदान करता है। SIC कोटिंग को रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) के माध्यम से एक घना, सुसंगत और दृढ़ता से बंधे सुरक्षात्मक परत बनाने के लिए लागू किया जाता है। यह प्रक्रिया कण पीढ़ी को कम करती है और विस्तारित उपयोग के दौरान कोटिंग को सतह की अखंडता को बनाए रखने की अनुमति देती है।

सेमीकंडक्टर निर्माता महत्वपूर्ण चैम्बर मापदंडों को बनाए रखने और उत्पादन के दौरान दोष-मुक्त वेफर्स का समर्थन करने के लिए ईपीआई टॉप रिंग पर भरोसा करते हैं। कॉन्फ़िगरेशन को प्रमुख OEM 8-इंच वेफर प्रोसेसिंग सिस्टम के साथ उपयोग के लिए डिज़ाइन किया गया है। कस्टम विकल्प मोटाई, सतह खत्म और बेहतर थर्मल प्रबंधन या यहां तक कि गैस वितरण के लिए ग्रूव्ड डिज़ाइन के लिए उपलब्ध हैं।

इस एप्लिकेशन के लिए एसआईसी लेपित ग्रेफाइट के गुणों के अनुरूप दोनों सामग्रियों से गुणों का सबसे अच्छा संयोजन लेता है; ग्रेफाइट बहुत मशीनी है और इसमें सिलिकॉन कार्बाइड के साथ संयुक्त थर्मल शॉक प्रतिरोध है जो कठिन, संक्षारण प्रतिरोधी है, और इसमें लंबे समय तक सेवा जीवन है। यह संयोजन अंततः आपको एक ईपीआई टॉप रिंग देता है जो उच्च तापमान पर विश्वसनीय है, और एक स्वच्छ और स्थिर प्रसंस्करण वातावरण की गारंटी देता है जो रखरखाव अंतराल को कम करता है, और समग्र संवर्धित उपकरण अपटाइम प्रदान करता है।

ग्रेफाइट घटक अर्धचालक विनिर्माण में एक अपरिहार्य और महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। ग्रेफाइट सामग्री की गुणवत्ता तैयार उत्पाद की गुणवत्ता को काफी प्रभावित करती है। हमारे ग्रेफाइट बैच स्थिरता और सामग्री समरूपता को पूरे उत्पादन प्रक्रिया में नियंत्रित और गारंटी दी जाती है।

1. सेल-बैच उत्पादन, केवल 50 क्यूबिक मीटर की क्षमता के साथ एक छोटे कार्बनकरण भट्ठी का उपयोग करना।

2। सामग्री के प्रत्येक टुकड़े की निगरानी और ट्रैक किया जाता है।

3. भट्ठी के भीतर कई बिंदुओं पर टेम्परेचर मॉनिटरिंग न्यूनतम तापमान अंतर सुनिश्चित करती है।

4. सामग्री पर कई बिंदुओं पर मॉनिटरिंग की निगरानी न्यूनतम तापमान अंतर सुनिश्चित करती है।

अर्धरेक्स द्वारा 8 इंच की ईपीआई टॉप रिंग असाधारण प्रदर्शन, बैच-टू-बैच स्थिरता, और सबसे कठिन अर्धचालक सिलिकॉन, सिलिकॉन कार्बाइड या अन्य यौगिक सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी प्रक्रियाओं में सिद्ध विश्वसनीयता प्रदान करती है। प्रत्येक विनिर्माण कदम पर, हम गुणवत्ता नियंत्रण वाले उत्पादों का उत्पादन करते हैं, जिसका अर्थ है कि अर्धचालक उद्योग के लिए खरीदे गए प्रत्येक उत्पाद गुणवत्ता विनिर्देशों से अधिक है।

सटीक इंजीनियरिंग, बेहतर सामग्री, और पैदावार और डिवाइस के प्रदर्शन में सुधार के लिए एप्लिकेशन-विशिष्ट अनुकूलन के माध्यम से पेश की जाने वाली संभावनाओं का लाभ उठाने के लिए अपने एपिटैक्सी एप्लिकेशन के लिए अर्धविराम की 8 इंच ईपीआई टॉप रिंग का चयन करें।