8. इंच ईपीआई समर्थक

अर्धविराम 8 इंच ईपीआई सूसोसेप्टर एक उच्च-तकनीकी वेफर सपोर्ट पार्ट है जिसका उपयोग अर्धचालक के निर्माण के लिए एपिटैक्सियल डिपोजिशन ऑपरेशन में किया जाता है। यह पर्याप्त रूप से इन-शुद्ध ग्रेफाइट कोर सामग्री के साथ निर्मित होता है, जो कि सिलिकॉन कार्बाइड (एसआईसी) की एक मोटी, निरंतर समान परत के साथ लेपित है, जो एपिटैक्सियल रिएक्टरों में उपयोग की जाती है, जहां थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिरोध और, जमाव की एकरूपता महत्वपूर्ण है। 8 इंच का व्यास उपकरणों के लिए उद्योग विनिर्देशों के लिए मानकीकृत है जो 200 मिमी वेफर्स को संसाधित करता है और इसलिए मौजूदा फैब्रिकेशन मल्टीटास्किंग में विश्वसनीय एकीकरण प्रदान करता है।  

एपिटैक्सियल ग्रोथ के लिए एक उच्च नियंत्रित थर्मल वातावरण और अपेक्षाकृत अक्रिय सामग्री इंटरैक्शन की आवश्यकता होती है। दोनों उदाहरणों में Sic लेपित ग्रेफाइट सकारात्मक रूप से प्रदर्शन किया जाएगा। ग्रेफाइट कोर में बहुत उच्च तापीय चालकता और बहुत कम थर्मल विस्तार होता है, जिसका अर्थ पर्याप्त रूप से डिज़ाइन किए गए हीटिंग स्रोत के साथ होता है कि ग्रेफाइट कोर से गर्मी को तेजी से स्थानांतरित किया जा सकता है और वेफर की सतह पर लगातार तापमान ग्रेडिएंट बनाए रखा जा सकता है। SIC की बाहरी परत सुस्पष्टता के बाहरी खोल के प्रभाव में है। SIC परत उच्च तापमान से सुस्प्रेस कोर की रक्षा करती है, प्रक्रिया गैस के संक्षारक उप-उत्पादों जैसे कि हाइड्रोजन, क्लोरीनयुक्त सिलेन के अत्यधिक संक्षारक गुण, और यांत्रिक विनाश के कारण यांत्रिक विनाश दोहराया यांत्रिक विनाश के कारण बार-बार हीटिंग चक्रों पर होता है। कुल मिलाकर हम यथोचित भविष्यवाणी कर सकते हैं कि जब तक यह दोहरी सामग्री संरचना पर्याप्त रूप से मोटी है, तब तक सूस्विनर लंबे समय तक हीटिंग की अवधि में यंत्रवत् ध्वनि और रासायनिक रूप से निष्क्रिय दोनों रहेगा। विशेष रूप से, हमने प्रासंगिक थर्मल रेंज के भीतर काम करते समय इसे अनुभवजन्य रूप से देखा है, और एसआईसी परत प्रक्रिया और ग्राफिक्स कोर के बीच एक विश्वसनीय बाधा प्रदान करती है, उपकरण सेवा की लंबाई को अधिकतम करते हुए उत्पाद की गुणवत्ता के लिए अधिकतम अवसरों को बढ़ाती है।

सेमीकंडक्टर विनिर्माण प्रक्रियाओं में ग्रेफाइट घटकों में एक आवश्यक और अविश्वसनीय रूप से महत्वपूर्ण हिस्सा है, और ग्रेफाइट सामग्री की गुणवत्ता उत्पाद के प्रदर्शन में एक महत्वपूर्ण कारक है। अर्धविराम में हमारा उत्पादन प्रक्रिया के हर चरण में कड़े नियंत्रण है ताकि हम बैच से बैच तक अत्यधिक प्रतिलिपि प्रस्तुत करने योग्य सामग्री समरूपता और स्थिरता कर सकें। हमारी छोटी बैच उत्पादन प्रक्रिया के साथ, हमारे पास केवल 50 क्यूबिक मीटर के चैम्बर वॉल्यूम के साथ छोटे कार्बोज़ाइजेशन भट्टियां हैं, जिससे हमें उत्पादन प्रक्रिया में सख्त नियंत्रण बनाए रखने की अनुमति मिलती है। प्रत्येक ग्रेफाइट ब्लॉक व्यक्तिगत निगरानी से गुजरता है, हमारी प्रक्रिया में ट्रैक करने योग्य है। भट्ठी के भीतर बहु-बिंदु तापमान की निगरानी के अलावा, हम सामग्री की सतह पर तापमान को ट्रैक करते हैं, उत्पादन प्रक्रिया के दौरान तापमान विचलन को एक बहुत ही संकीर्ण सीमा तक कम करते हैं। थर्मल प्रबंधन के लिए हमारा ध्यान हमें आंतरिक तनाव को कम करने और अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए अत्यधिक स्थिर और प्रजनन योग्य ग्रेफाइट घटकों का उत्पादन करने की अनुमति देता है।

एसआईसी कोटिंग को रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) के माध्यम से लागू किया जाता है, और एक ठोस, साफ-सुथरी सतह का उत्पादन करता है, जो एक महीन-अनाज मैट्रिक्स के साथ कण पीढ़ी को कम करता है; और इसलिए, स्वच्छ सीवीडी प्रक्रिया को बढ़ाया जाता है। लेपित फिल्म मोटाई का सीवीडी प्रक्रिया नियंत्रण एकरूपता का आश्वासन देता है और थर्मल साइकिलिंग के माध्यम से सपाटता और आयामी स्थिरता के लिए महत्वपूर्ण है। यह अंततः उत्कृष्ट वेफर प्लानरिटी प्रदान करता है, जिसके परिणामस्वरूप एपिटैक्सी प्रक्रिया के दौरान सबसे अधिक परत जमाव होता है।-उच्च प्रदर्शन वाले अर्धचालक उपकरणों जैसे कि पावर MOSFET, IGBTS और RF घटकों को प्राप्त करने के लिए एक प्रमुख पैरामीटर।

आयामी स्थिरता अभी तक अर्धविराम द्वारा निर्मित 8 इंच ईपीआई सूसोसेप्टर का एक और मौलिक लाभ है। सूसोसेप्टर को सख्त सहिष्णुता के लिए इंजीनियर किया जाता है, जिसके परिणामस्वरूप वेफर हैंडलिंग रोबोट के साथ बहुत अनुकूलता होती है और हीटिंग ज़ोन में एक सटीक फिट होता है। सूसोसेप्टर सतह को पॉलिश किया जाता है और विशिष्ट एपिटैक्सियल रिएक्टर के विशेष थर्मल और प्रवाह की स्थिति के लिए अनुकूलित किया जाता है जिसे सूसोसेक्टर में तैनात किया जाएगा। विकल्प, उदाहरण के लिए पिन होल, पॉकेट अवकाश या एंटी-स्लिप सतहों को लिफ्ट करें, सभी को ओईएम टूल डिज़ाइन और प्रक्रियाओं की विशिष्ट आवश्यकताओं से मिलान किया जा सकता है।

प्रत्येक सूस्विनर उत्पादन के दौरान थर्मल प्रदर्शन और कोटिंग अखंडता दोनों के लिए कई परीक्षणों से गुजरता है। आयामी माप और सत्यापन, कोटिंग आसंजन परीक्षण, थर्मल शॉक प्रतिरोध परीक्षण, और रासायनिक प्रतिरोध परीक्षणों सहित गुणवत्ता नियंत्रण के तरीके विश्वसनीयता सुनिश्चित करने के लिए लागू किए जाते हैं और प्रदर्शन आक्रामक एपिटैक्सियल वातावरण में भी प्राप्त किए जाते हैं। परिणाम एक ऐसा उत्पाद है जो अंततः सेमीकंडक्टर फैब्रिकेशन उद्योग की वर्तमान मांग आवश्यकताओं को पूरा करता है और उससे अधिक है।

अर्धविराम 8 इंच ईपीआई सूसोसेप्टर को एसआईसी कोटेड ग्रेफाइट से बनाया जाता है जो थर्मल चालकता, यांत्रिक कठोरता और रासायनिक जड़ता को संतुलित करता है। 8 इंच का सुसज्जित करने वाला उच्च-वॉल्यूम एपिटैक्सी ग्रोथ अनुप्रयोगों के लिए एक प्रमुख घटक है, जो उच्च तापमान पर स्थिर, स्वच्छ, वेफर सपोर्ट के उत्पादन में सफलता के कारण उच्च-उपज, उच्च-एकरूपता परिभाषित एपिटैक्सियल प्रक्रियाओं के परिणामस्वरूप होता है। ईपीआई सूसोसेप्टर का 8 इंच का आकार बाजार में मानक 8-इंच उपकरणों में सबसे अधिक देखा जाता है और मौजूदा ग्राहकों के उपकरणों के साथ विनिमेय है। अपने मानक कॉन्फ़िगरेशन में ईपीआई सूसोबीर अत्यधिक अनुकूलन योग्य है।