MOCVD रिएक्टरों के लिए सेमीकोरेक्स के ससेप्टर्स उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद हैं जिनका उपयोग सेमीकंडक्टर उद्योग में सिलिकॉन कार्बाइड परतों और एपिटैक्सी सेमीकंडक्टर जैसे विभिन्न अनुप्रयोगों के लिए किया जाता है। हमारा उत्पाद गियर या रिंग के आकार में उपलब्ध है और इसे उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है, जिससे यह 1600 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान पर स्थिर हो जाता है।
MOCVD रिएक्टरों के लिए हमारे संवेदक CVD रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत बनाए जाते हैं, जिससे उच्च शुद्धता सुनिश्चित होती है। उत्पाद की सतह घनी है, महीन कणों और उच्च कठोरता के साथ, यह अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मकों के लिए संक्षारण प्रतिरोधी है।
MOCVD रिएक्टरों के लिए हमारे संवेदकों को सभी सतहों पर कोटिंग सुनिश्चित करने, छीलने से बचने और सर्वोत्तम लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। उत्पाद थर्मल प्रोफाइल की समता की गारंटी देता है और प्रक्रिया के दौरान किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकता है, जिससे उच्च गुणवत्ता वाले परिणाम सुनिश्चित होते हैं।
सेमीकोरेक्स में, हम ग्राहकों की संतुष्टि को प्राथमिकता देते हैं और लागत प्रभावी समाधान प्रदान करते हैं। हम आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने, उच्च गुणवत्ता वाले उत्पादों और असाधारण ग्राहक सेवा प्रदान करने की आशा करते हैं।
MOCVD रिएक्टरों के लिए संवेदकों के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश |
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सीआईसी-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी / सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
मैं |
2 ~ 10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
उच्च बनाने की क्रिया तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (सीटीई) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू / एमके) |
300 |
MOCVD के लिए SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर की विशेषताएं
- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लामिनार गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की गारंटी समता
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें