MOCVD के लिए SiC लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टर

सेमीकोरेक्स चीन में सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर का बड़े पैमाने पर निर्माता और आपूर्तिकर्ता है। हम सिलिकॉन कार्बाइड लेयर्स और एपिटेक्सी सेमीकंडक्टर जैसे सेमीकंडक्टर उद्योगों पर ध्यान केंद्रित करते हैं। MOCVD के लिए हमारे SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर की कीमत में अच्छी बढ़त है और यह कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करता है। हम आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।

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उत्पाद वर्णन

एमओसीवीडी के लिए सेमीकोरेक्स सीआईसी लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर एक उच्च शुद्धता वाला सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट वाहक है, जो वेफर चिप पर एपिक्सियल परत को विकसित करने की प्रक्रिया में उपयोग करता है। यह MOCVD में गियर या रिंग के आकार की केंद्र प्लेट है। MOCVD के लिए SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर में उच्च ताप और संक्षारण प्रतिरोध होता है, जिसकी अत्यधिक स्थिरता होती है।
सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और सेवाएँ प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं। हम केवल सर्वोत्तम सामग्रियों का उपयोग करते हैं, और हमारे उत्पाद गुणवत्ता और प्रदर्शन के उच्चतम मानकों को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। MOCVD के लिए हमारा SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर कोई अपवाद नहीं है। हम आपकी सेमीकंडक्टर वेफर प्रसंस्करण आवश्यकताओं में कैसे मदद कर सकते हैं, इसके बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।

MOCVD के लिए SiC लेपित ग्रेफाइट सुसेप्टर के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ
SiC-सीवीडी गुण
क्रिस्टल की संरचना	एफसीसी β चरण
घनत्व	जी/सेमी ³	3.21
कठोरता	विकर्स कठोरता	2500
अनाज आकार	माइक्रोन	2~10
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
ताप की गुंजाइश	जे किग्रा-1 के-1	640
ऊर्ध्वपातन तापमान	℃	2700
फेलेक्सुरल ताकत	एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)	415
यंग का मापांक	जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)	10-6K -1	4.5
ऊष्मीय चालकता	(डब्ल्यू/एमके)	300

एमओसीवीडी के लिए एसआईसी लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर की विशेषताएं

- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की समरूपता की गारंटी
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें