सेमीकोरेक्स चीन में सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर का बड़े पैमाने पर निर्माता और आपूर्तिकर्ता है। हम सेमीकंडक्टर उद्योगों जैसे सिलिकॉन कार्बाइड परतों और एपिटैक्सी सेमीकंडक्टर पर ध्यान केंद्रित करते हैं। MOCVD के लिए हमारे SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर की कीमत अच्छी है और यह कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों को कवर करता है। हम आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा करते हैं।
MOCVD के लिए सेमीकोरेक्स SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर एक उच्च शुद्धता वाला सिलिकॉन कार्बाइड कोटेड ग्रेफाइट कैरियर है, जो वेफर चिप पर एपिक्सियल परत को विकसित करने की प्रक्रिया में उपयोग करता है। यह MOCVD में सेंटर प्लेट है, जो गियर या रिंग के आकार की होती है। MOCVD के लिए SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर में उच्च ताप और संक्षारण प्रतिरोध होता है, जिसमें चरम वातावरण में बहुत स्थिरता होती है।
सेमीकोरेक्स में, हम अपने ग्राहकों को उच्च गुणवत्ता वाले उत्पाद और सेवाएं प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध हैं। हम केवल सर्वोत्तम सामग्री का उपयोग करते हैं, और हमारे उत्पादों को गुणवत्ता और प्रदर्शन के उच्चतम मानकों को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। MOCVD के लिए हमारा SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर कोई अपवाद नहीं है। इस बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें कि हम आपकी सेमीकंडक्टर वेफर प्रसंस्करण आवश्यकताओं में आपकी सहायता कैसे कर सकते हैं।
MOCVD के लिए SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश |
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सीआईसी-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी ² चरण |
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घनत्व |
जी / सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
मैं |
2 ~ 10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
उच्च बनाने की क्रिया तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (सीटीई) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू / एमके) |
300 |
MOCVD के लिए SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर की विशेषताएं
- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लामिनार गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की गारंटी समता
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें