पीएसएस नक़्क़ाशी अनुप्रयोगों के लिए सिलिकॉन ईच प्लेट

पीएसएस नक़्क़ाशी अनुप्रयोगों के लिए सेमीकोरेक्स की सिलिकॉन ईच प्लेट एक उच्च गुणवत्ता वाला, अल्ट्रा-शुद्ध ग्रेफाइट वाहक है जो विशेष रूप से एपिटैक्सियल विकास और वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए डिज़ाइन किया गया है। हमारा वाहक कठोर वातावरण, उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई का सामना कर सकता है। पीएसएस नक़्क़ाशी अनुप्रयोगों के लिए सिलिकॉन ईच प्लेट में उत्कृष्ट गर्मी वितरण गुण, उच्च तापीय चालकता है, और यह लागत प्रभावी है। हमारे उत्पाद कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में व्यापक रूप से उपयोग किए जाते हैं, और हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।

जांच भेजें

उत्पाद वर्णन

पीएसएस नक़्क़ाशी अनुप्रयोगों के लिए सेमीकोरेक्स की सिलिकॉन ईच प्लेट को सबसे अधिक मांग वाले एपिटेक्सी उपकरण अनुप्रयोगों के लिए इंजीनियर किया गया है। हमारा अति-शुद्ध ग्रेफाइट वाहक कठोर वातावरण, उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई का सामना कर सकता है। SiC लेपित वाहक में उत्कृष्ट ताप वितरण गुण, उच्च तापीय चालकता है, और यह लागत प्रभावी है।

पीएसएस नक़्क़ाशी अनुप्रयोगों के लिए सिलिकॉन ईच प्लेट के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ
SiC-CVD गुण
क्रिस्टल की संरचना	एफसीसी β चरण
घनत्व	जी/सेमी ³	3.21
कठोरता	विकर्स कठोरता	2500
अनाज आकार	माइक्रोन	2~10
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
ताप की गुंजाइश	जे किग्रा-1 के-1	640
उर्ध्वपातन तापमान	℃	2700
फेलेक्सुरल ताकत	एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)	415
यंग का मापांक	जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)	10-6K -1	4.5
ऊष्मीय चालकता	(डब्ल्यू/एमके)	300