वेफर ट्रांसफर के लिए पीएसएस हैंडलिंग कैरियर

वेफर ट्रांसफर के लिए सेमीकोरेक्स का पीएसएस हैंडलिंग कैरियर सबसे अधिक मांग वाले एपिटेक्सी उपकरण अनुप्रयोगों के लिए इंजीनियर किया गया है। हमारा अति-शुद्ध ग्रेफाइट वाहक कठोर वातावरण, उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई का सामना कर सकता है। SiC लेपित वाहक में उत्कृष्ट ताप वितरण गुण, उच्च तापीय चालकता है, और यह लागत प्रभावी है। हमारे उत्पाद कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में व्यापक रूप से उपयोग किए जाते हैं, और हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।

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उत्पाद वर्णन

सेमीकोरेक्स से वेफर ट्रांसफर के लिए पीएसएस हैंडलिंग कैरियर को एपिटैक्सियल ग्रोथ और वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। हमारा अल्ट्रा-प्योर ग्रेफाइट कैरियर एमओसीवीडी, एपिटेक्सी ससेप्टर्स, पैनकेक या सैटेलाइट प्लेटफॉर्म जैसे पतली-फिल्म जमाव चरणों और नक़्क़ाशी जैसे वेफर हैंडलिंग प्रसंस्करण के लिए आदर्श है। SiC लेपित वाहक में उत्कृष्ट ताप वितरण गुण, उच्च तापीय चालकता है, और यह लागत प्रभावी है।

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वेफर ट्रांसफर के लिए पीएसएस हैंडलिंग कैरियर के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ
SiC-सीवीडी गुण
क्रिस्टल की संरचना	एफसीसी β चरण
घनत्व	जी/सेमी ³	3.21
कठोरता	विकर्स कठोरता	2500
अनाज आकार	माइक्रोन	2~10
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
ताप की गुंजाइश	जे किग्रा-1 के-1	640
ऊर्ध्वपातन तापमान	℃	2700
फेलेक्सुरल ताकत	एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)	415
यंग का मापांक	जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)	10-6K -1	4.5
ऊष्मीय चालकता	(डब्ल्यू/एमके)	300