वेफर ट्रांसफर के लिए सेमीकोरेक्स का पीएसएस हैंडलिंग कैरियर सबसे अधिक मांग वाले एपिटेक्सी उपकरण अनुप्रयोगों के लिए इंजीनियर किया गया है। हमारा अति-शुद्ध ग्रेफाइट वाहक कठोर वातावरण, उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई का सामना कर सकता है। SiC लेपित वाहक में उत्कृष्ट ताप वितरण गुण, उच्च तापीय चालकता है, और यह लागत प्रभावी है। हमारे उत्पाद कई यूरोपीय और अमेरिकी बाजारों में व्यापक रूप से उपयोग किए जाते हैं, और हम चीन में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने के लिए तत्पर हैं।
सेमीकोरेक्स से वेफर ट्रांसफर के लिए पीएसएस हैंडलिंग कैरियर को एपिटैक्सियल ग्रोथ और वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के लिए उच्च तापमान और कठोर रासायनिक सफाई आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। हमारा अल्ट्रा-प्योर ग्रेफाइट कैरियर एमओसीवीडी, एपिटेक्सी ससेप्टर्स, पैनकेक या सैटेलाइट प्लेटफॉर्म जैसे पतली-फिल्म जमाव चरणों और नक़्क़ाशी जैसे वेफर हैंडलिंग प्रसंस्करण के लिए आदर्श है। SiC लेपित वाहक में उत्कृष्ट ताप वितरण गुण, उच्च तापीय चालकता है, और यह लागत प्रभावी है।
वेफर ट्रांसफर के लिए हमारे पीएसएस हैंडलिंग कैरियर के बारे में अधिक जानने के लिए आज ही हमसे संपर्क करें।
वेफर ट्रांसफर के लिए पीएसएस हैंडलिंग कैरियर के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ |
||
SiC-सीवीडी गुण |
||
क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
|
घनत्व |
जी/सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
माइक्रोन |
2~10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
जे किग्रा-1 के-1 |
640 |
ऊर्ध्वपातन तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू/एमके) |
300 |
वेफर ट्रांसफर के लिए पीएसएस हैंडलिंग कैरियर की विशेषताएं
- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की समरूपता की गारंटी
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें