रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया के माध्यम से सीआईसी कोटिंग ससेप्टर पर एक पतली परत होती है। सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री सिलिकॉन की तुलना में कई लाभ प्रदान करती है, जिसमें 10x ब्रेकडाउन विद्युत क्षेत्र की ताकत, 3x बैंड गैप शामिल है, जो सामग्री को उच्च तापमान और रासायनिक प्रतिरोध, उत्कृष्ट पहनने के प्रतिरोध के साथ-साथ थर्मल चालकता प्रदान करता है।
सेमीकोरेक्स अनुकूलित सेवा प्रदान करता है, आपको उन घटकों के साथ नवाचार करने में मदद करता है जो लंबे समय तक चलते हैं, चक्र के समय को कम करते हैं और पैदावार में सुधार करते हैं।
SiC कोटिंग के कई अनूठे फायदे हैं
उच्च तापमान प्रतिरोध: सीवीडी SiC लेपित रिसेप्टर महत्वपूर्ण थर्मल गिरावट के बिना 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान का सामना कर सकता है।
रासायनिक प्रतिरोध: सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग एसिड, क्षार और कार्बनिक सॉल्वैंट्स सहित रसायनों की एक विस्तृत श्रृंखला के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान करती है।
पहनने का प्रतिरोध: SiC कोटिंग सामग्री को उत्कृष्ट पहनने के प्रतिरोध प्रदान करती है, जिससे यह उन अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त हो जाती है जिनमें उच्च टूट-फूट शामिल होती है।
तापीय चालकता: सीवीडी SiC कोटिंग सामग्री को उच्च तापीय चालकता प्रदान करती है, जो इसे उच्च तापमान वाले अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए उपयुक्त बनाती है जिनके लिए कुशल ताप हस्तांतरण की आवश्यकता होती है।
उच्च शक्ति और कठोरता: सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ससेप्टर सामग्री को उच्च शक्ति और कठोरता प्रदान करता है, जो इसे उन अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त बनाता है जिनके लिए उच्च यांत्रिक शक्ति की आवश्यकता होती है।
SiC कोटिंग का उपयोग विभिन्न अनुप्रयोगों में किया जाता है
एलईडी विनिर्माण: सीवीडी सीआईसी लेपित ससेप्टर का उपयोग इसकी उच्च तापीय चालकता और रासायनिक प्रतिरोध के कारण, नीले और हरे एलईडी, यूवी एलईडी और डीप-यूवी एलईडी सहित विभिन्न प्रकार के एलईडी के निर्माण में किया जाता है।
मोबाइल संचार: GaN-on-SiC एपिटैक्सियल प्रक्रिया को पूरा करने के लिए CVD SiC लेपित सुसेप्टर HEMT का एक महत्वपूर्ण हिस्सा है।
सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण: सीवीडी SiC लेपित सुसेप्टर का उपयोग सेमीकंडक्टर उद्योग में वेफर प्रोसेसिंग और एपिटैक्सियल ग्रोथ सहित विभिन्न अनुप्रयोगों के लिए किया जाता है।
SiC लेपित ग्रेफाइट घटक
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग (SiC) ग्रेफाइट द्वारा निर्मित, कोटिंग को CVD विधि द्वारा उच्च घनत्व ग्रेफाइट के विशिष्ट ग्रेड पर लागू किया जाता है, इसलिए यह उच्च तापमान भट्ठी में निष्क्रिय वातावरण में 3000 डिग्री सेल्सियस से अधिक, वैक्यूम में 2200 डिग्री सेल्सियस पर काम कर सकता है। .
सामग्री के विशेष गुण और कम द्रव्यमान तेज ताप दर, समान तापमान वितरण और नियंत्रण में उत्कृष्ट सटीकता की अनुमति देते हैं।
सेमीकोरेक्स SiC कोटिंग का सामग्री डेटा
विशिष्ट गुण |
इकाइयों |
मान |
संरचना |
|
एफसीसी β चरण |
अभिविन्यास |
अंश (%) |
111 पसंदीदा |
थोक घनत्व |
जी/सेमी³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
ताप की गुंजाइश |
जे किग्रा-1 के-1 |
640 |
थर्मल विस्तार 100-600 डिग्री सेल्सियस (212-1112 डिग्री फारेनहाइट) |
10-6K -1 |
4.5 |
यंग का मापांक |
जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃) |
430 |
अनाज आकार |
माइक्रोन |
2~10 |
ऊर्ध्वपातन तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू/एमके) |
300 |
निष्कर्ष सीवीडी SiC लेपित ससेप्टर एक मिश्रित सामग्री है जो ससेप्टर और सिलिकॉन कार्बाइड के गुणों को जोड़ती है। इस सामग्री में उच्च तापमान और रासायनिक प्रतिरोध, उत्कृष्ट पहनने के प्रतिरोध, उच्च तापीय चालकता और उच्च शक्ति और कठोरता सहित अद्वितीय गुण हैं। ये गुण इसे अर्धचालक प्रसंस्करण, रासायनिक प्रसंस्करण, गर्मी उपचार, सौर सेल विनिर्माण और एलईडी विनिर्माण सहित विभिन्न उच्च तापमान अनुप्रयोगों के लिए एक आकर्षक सामग्री बनाते हैं।
सेमीकोरेक्स लिक्विड फेज़ एपिटैक्सी (एलपीई) रिएक्टर सिस्टम एक अभिनव उत्पाद है जो उत्कृष्ट थर्मल प्रदर्शन, यहां तक कि थर्मल प्रोफ़ाइल और बेहतर कोटिंग आसंजन प्रदान करता है। इसकी उच्च शुद्धता, उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध इसे अर्धचालक उद्योग में उपयोग के लिए एक आदर्श विकल्प बनाते हैं। इसके अनुकूलन योग्य विकल्प और लागत-प्रभावशीलता इसे बाजार में अत्यधिक प्रतिस्पर्धी उत्पाद बनाती है।
और पढ़ेंजांच भेजेंबैरल रिएक्टर में सेमीकोरेक्स सीवीडी एपिटैक्सियल डिपोजिशन वेफर चिप्स पर एपिक्सियल परतों को बढ़ाने के लिए एक अत्यधिक टिकाऊ और विश्वसनीय उत्पाद है। इसका उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध और उच्च शुद्धता इसे अर्धचालक उद्योग में उपयोग के लिए उपयुक्त बनाती है। इसकी समान थर्मल प्रोफ़ाइल, लैमिनर गैस प्रवाह पैटर्न और संदूषण की रोकथाम इसे उच्च गुणवत्ता वाले एपिक्सियल परत विकास के लिए एक आदर्श विकल्प बनाती है।
और पढ़ेंजांच भेजेंयदि आपको सेमीकंडक्टर विनिर्माण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए उच्च-प्रदर्शन वाले ग्रेफाइट ससेप्टर की आवश्यकता है, तो बैरल रिएक्टर में सेमीकोरेक्स सिलिकॉन एपिटैक्सियल डिपोजिशन आदर्श विकल्प है। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग और असाधारण थर्मल चालकता बेहतर सुरक्षा और गर्मी वितरण गुण प्रदान करती है, जो इसे सबसे चुनौतीपूर्ण वातावरण में भी विश्वसनीय और लगातार प्रदर्शन के लिए पसंदीदा विकल्प बनाती है।
और पढ़ेंजांच भेजेंयदि आपको असाधारण तापीय चालकता और ताप वितरण गुणों वाले ग्रेफाइट ससेप्टर की आवश्यकता है, तो सेमीकोरेक्स इंडक्टिवली हीटेड बैरल एपी सिस्टम के अलावा और कुछ न देखें। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में बेहतर सुरक्षा प्रदान करती है, जो इसे अर्धचालक विनिर्माण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए आदर्श विकल्प बनाती है।
और पढ़ेंजांच भेजेंअपनी असाधारण थर्मल चालकता और गर्मी वितरण गुणों के साथ, सेमीकंडक्टर एपिटैक्सियल रिएक्टर के लिए सेमीकोरेक्स बैरल संरचना एलपीई प्रक्रियाओं और अन्य सेमीकंडक्टर विनिर्माण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए सही विकल्प है। इसकी उच्च शुद्धता वाली SiC कोटिंग उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में बेहतर सुरक्षा प्रदान करती है।
और पढ़ेंजांच भेजेंयदि आप सेमीकंडक्टर निर्माण अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए उच्च-प्रदर्शन वाले ग्रेफाइट ससेप्टर की तलाश कर रहे हैं, तो सेमीकोरेक्स SiC कोटेड ग्रेफाइट बैरल ससेप्टर आदर्श विकल्प है। इसकी असाधारण तापीय चालकता और ताप वितरण गुण इसे उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में विश्वसनीय और सुसंगत प्रदर्शन के लिए पसंदीदा विकल्प बनाते हैं।
और पढ़ेंजांच भेजें