एमओसीवीडी के लिए एसआईसी कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर कैरियर

एमओसीवीडी के लिए एसआईसी कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर कैरियर सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। हमारा उत्पाद विषम वातावरण में भी अत्यधिक स्थिर है, जो इसे उच्च गुणवत्ता वाले वेफर्स के उत्पादन के लिए एक उत्कृष्ट विकल्प बनाता है।
MOCVD के लिए हमारे SiC कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर कैरियर की विशेषताएं उत्कृष्ट हैं। इसकी घनी सतह और महीन कण इसके संक्षारण प्रतिरोध को बढ़ाते हैं, जिससे यह एसिड, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मकों के प्रति प्रतिरोधी हो जाता है। वाहक एक समान थर्मल प्रोफ़ाइल सुनिश्चित करता है और सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न की गारंटी देता है, किसी भी संदूषण या अशुद्धियों को वेफर में फैलने से रोकता है।

एमओसीवीडी के लिए एसआईसी कोटिंग ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर कैरियर के पैरामीटर

एमओसीवीडी के लिए एसआईसी लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर की विशेषताएं

- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की समरूपता की गारंटी
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें