MOCVD के लिए सेमीकोरेक्स SiC कोटेड प्लेट कैरियर एक उच्च गुणवत्ता वाला कैरियर है जिसे सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में उपयोग के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसकी उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और यहां तक कि थर्मल प्रोफ़ाइल इसे उन लोगों के लिए एक उत्कृष्ट विकल्प बनाती है जो एक ऐसे वाहक की तलाश में हैं जो अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया की मांगों का सामना कर सके।
MOCVD के लिए हमारे SiC लेपित प्लेट कैरियर में उच्च शुद्धता होती है, जो इसे ऐसे कैरियर की तलाश करने वालों के लिए एक उत्कृष्ट विकल्प बनाती है जो अपने गुणों में अत्यधिक समान और सुसंगत है।
MOCVD के लिए हमारे SiC लेपित प्लेट कैरियर ग्रेफाइट पर उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग से बने होते हैं, जो इसे 1600 डिग्री सेल्सियस तक के उच्च तापमान पर ऑक्सीकरण के लिए अत्यधिक प्रतिरोधी बनाता है। इसके निर्माण में उपयोग की जाने वाली सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव प्रक्रिया उच्च शुद्धता और उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध सुनिश्चित करती है। यह घनी सतह और महीन कणों के साथ अत्यधिक संक्षारण प्रतिरोधी है, जो इसे एसिड, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मकों के प्रति प्रतिरोधी बनाता है। इसका उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिरता सुनिश्चित करता है।
एमओसीवीडी के लिए एसआईसी लेपित प्लेट कैरियर के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ |
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SiC-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी/सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
माइक्रोन |
2~10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
जे किग्रा-1 के-1 |
640 |
ऊर्ध्वपातन तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃) |
430 |
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू/एमके) |
300 |
एमओसीवीडी के लिए एसआईसी लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर की विशेषताएं
- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की समरूपता की गारंटी
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें