MOCVD के लिए सेमीकोरेक्स SiC कोटेड प्लेट कैरियर एक उच्च गुणवत्ता वाला वाहक है जिसे सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में उपयोग के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसकी उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध और यहां तक कि थर्मल प्रोफाइल इसे उन लोगों के लिए एक उत्कृष्ट विकल्प बनाती है जो एक ऐसे वाहक की तलाश में हैं जो सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया की मांगों का सामना कर सके।
MOCVD के लिए हमारे SiC लेपित प्लेट वाहक में उच्च शुद्धता होती है, जो इसे ऐसे वाहक की तलाश करने वालों के लिए एक उत्कृष्ट विकल्प बनाती है जो अत्यधिक समान और इसके गुणों में सुसंगत हो।
MOCVD के लिए हमारे SiC लेपित प्लेट वाहक ग्रेफाइट पर उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग के साथ बने हैं, जो इसे 1600 ° C तक के उच्च तापमान पर ऑक्सीकरण के लिए अत्यधिक प्रतिरोधी बनाता है। इसके निर्माण में उपयोग की जाने वाली CVD रासायनिक वाष्प जमाव प्रक्रिया उच्च शुद्धता और उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध सुनिश्चित करती है। यह घने सतह और महीन कणों के साथ अत्यधिक संक्षारण प्रतिरोधी है, जो इसे एसिड, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मकों के लिए प्रतिरोधी बनाता है। इसका उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिरता सुनिश्चित करता है।
MOCVD के लिए SiC कोटेड प्लेट कैरियर्स के पैरामीटर
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश |
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सीआईसी-सीवीडी गुण |
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क्रिस्टल की संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी / सेमी ³ |
3.21 |
कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
अनाज आकार |
मैं |
2 ~ 10 |
रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
ताप की गुंजाइश |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
उच्च बनाने की क्रिया तापमान |
℃ |
2700 |
फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ |
एमपीए (आरटी 4-पॉइंट) |
415 |
यंग का मापांक |
Gpa (4pt बेंड, 1300â) |
430 |
थर्मल विस्तार (सीटीई) |
10-6K -1 |
4.5 |
ऊष्मीय चालकता |
(डब्ल्यू / एमके) |
300 |
MOCVD के लिए SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर की विशेषताएं
- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लामिनार गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की गारंटी समता
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें