SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD सुसेप्टर्स

SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD अतिसंवेदनशीलधातु-कार्बनिक रासायनिक वाष्प जमाव (एमओसीवीडी) उपकरण में उपयोग किए जाने वाले आवश्यक घटक हैं, जो वेफर सब्सट्रेट्स को पकड़ने और गर्म करने के लिए जिम्मेदार हैं। अपने बेहतर थर्मल प्रबंधन, रासायनिक प्रतिरोध और आयामी स्थिरता के साथ, SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD रिसेप्टर्स को उच्च गुणवत्ता वाले वेफर सब्सट्रेट एपिटेक्सी के लिए इष्टतम विकल्प माना जाता है।

वेफर निर्माण में,एमओसीवीडीप्रौद्योगिकी का उपयोग उन्नत अर्धचालक उपकरणों के निर्माण की तैयारी के लिए वेफर सब्सट्रेट्स की सतह पर एपिटैक्सियल परतों के निर्माण के लिए किया जाता है। चूंकि एपिटैक्सियल परतों की वृद्धि कई कारकों से प्रभावित होती है, इसलिए वेफर सब्सट्रेट्स को जमाव के लिए सीधे एमओसीवीडी उपकरण में नहीं रखा जा सकता है। SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD रिसेप्टर्स को वेफर सब्सट्रेट्स को पकड़ने और गर्म करने की आवश्यकता होती है, जिससे एपिटैक्सियल परतों के विकास के लिए स्थिर थर्मल स्थितियां बनती हैं। इसलिए, SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD रिसेप्टर्स का प्रदर्शन सीधे पतली फिल्म सामग्री की एकरूपता और शुद्धता निर्धारित करता है, जो बदले में उन्नत अर्धचालक उपकरणों के निर्माण को प्रभावित करता है।

सेमीकोरेक्स चुनता हैउच्च शुद्धता ग्रेफाइटइसके SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD सुसेप्टर्स के लिए मैट्रिक्स सामग्री के रूप में और फिर ग्रेफाइट मैट्रिक्स को समान रूप से कोट करता हैसिलिकन कार्बाइडसीवीडी प्रौद्योगिकी के माध्यम से कोटिंग। पारंपरिक तकनीक की तुलना में, सीवीडी तकनीक सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग और ग्रेफाइट मैट्रिक्स के बीच संबंध शक्ति में काफी सुधार करती है, जिसके परिणामस्वरूप मजबूत आसंजन के साथ सघन कोटिंग होती है। उच्च तापमान वाले संक्षारक वातावरण की मांग के तहत भी, सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग लंबी अवधि तक अपनी संरचनात्मक अखंडता और रासायनिक स्थिरता बनाए रखती है, संक्षारक गैसों और ग्रेफाइट मैट्रिक्स के बीच सीधे संपर्क को प्रभावी ढंग से रोकती है। यह प्रभावी रूप से ग्रेफाइट मैट्रिक्स के क्षरण से बचाता है और ग्रेफाइट कणों को वेफर सब्सट्रेट्स और एपिटैक्सियल परतों को अलग करने और दूषित करने से रोकता है, जिससे सेमीकंडक्टर डिवाइस निर्माण की सफाई और उपज सुनिश्चित होती है।

सेमीकोरेक्स के SiC-लेपित ग्रेफाइट MOCVD रिसेप्टर्स के लाभ

1. उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध

2. उच्च तापीय चालकता

3. बेहतर तापीय स्थिरता

4. थर्मल विस्तार का कम गुणांक

5. असाधारण थर्मल शॉक प्रतिरोध

6. उच्च सतह चिकनाई

7. स्थायी सेवा जीवन