MOCVD के लिए SiC लेपित ग्रेफाइट बेस सुसेप्टर्स

एमओसीवीडी के लिए सेमीकोरेक्स एसआईसी कोटेड ग्रेफाइट बेस रिसेप्टर्स सेमीकंडक्टर उद्योग में उपयोग किए जाने वाले बेहतर गुणवत्ता वाले वाहक हैं। हमारा उत्पाद उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन कार्बाइड के साथ डिज़ाइन किया गया है जो उत्कृष्ट प्रदर्शन और लंबे समय तक चलने वाला स्थायित्व प्रदान करता है। यह वाहक वेफर चिप पर एपिटैक्सियल परत विकसित करने की प्रक्रिया में उपयोग के लिए आदर्श है।

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उत्पाद वर्णन

MOCVD के लिए हमारे SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्स में उच्च ताप और संक्षारण प्रतिरोध होता है जो चरम वातावरण में भी बेहतरीन स्थिरता सुनिश्चित करता है।
MOCVD के लिए इस SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्स की विशेषताएं उत्कृष्ट हैं। इसे ग्रेफाइट पर उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग के साथ बनाया गया है, जो इसे 1600 डिग्री सेल्सियस तक के उच्च तापमान पर ऑक्सीकरण के लिए अत्यधिक प्रतिरोधी बनाता है। इसके निर्माण में उपयोग की जाने वाली सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव प्रक्रिया उच्च शुद्धता और उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध सुनिश्चित करती है। वाहक की सतह घनी होती है, जिसमें बारीक कण होते हैं जो इसके संक्षारण प्रतिरोध को बढ़ाते हैं, जिससे यह एसिड, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मकों के प्रति प्रतिरोधी हो जाता है।
एमओसीवीडी के लिए हमारे सीआईसी लेपित ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्स एक समान थर्मल प्रोफ़ाइल सुनिश्चित करते हैं, जो सर्वोत्तम लैमिनर गैस प्रवाह पैटर्न की गारंटी देते हैं। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों को वेफर में फैलने से रोकता है, जिससे यह साफ-सुथरे वातावरण में उपयोग के लिए आदर्श बन जाता है। सेमीकोरेक्स चीन में SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर का बड़े पैमाने पर निर्माता और आपूर्तिकर्ता है, और हमारे उत्पादों को अच्छी कीमत का लाभ मिलता है। हम सेमीकंडक्टर उद्योग में आपका दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा रखते हैं।

एमओसीवीडी के लिए एसआईसी लेपित ग्रेफाइट बेस रिसेप्टर्स के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग की मुख्य विशिष्टताएँ
SiC-CVD गुण
क्रिस्टल की संरचना	एफसीसी β चरण
घनत्व	जी/सेमी ³	3.21
कठोरता	विकर्स कठोरता	2500
अनाज आकार	माइक्रोन	2~10
रासायनिक शुद्धता	%	99.99995
ताप की गुंजाइश	जे किग्रा-1 के-1	640
उर्ध्वपातन तापमान	℃	2700
फेलेक्सुरल ताकत	एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)	415
यंग का मापांक	जीपीए (4पीटी बेंड, 1300℃)	430
थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.)	10-6K -1	4.5
ऊष्मीय चालकता	(डब्ल्यू/एमके)	300

एमओसीवीडी के लिए एसआईसी लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर की विशेषताएं

- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लेमिनर गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की समरूपता की गारंटी
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें