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MOCVD के लिए SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्स

MOCVD के लिए SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्स

MOCVD के लिए सेमीकोरेक्स SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्स सेमीकंडक्टर उद्योग में उपयोग किए जाने वाले बेहतर गुणवत्ता वाले वाहक हैं। हमारे उत्पाद को उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन कार्बाइड के साथ डिज़ाइन किया गया है जो उत्कृष्ट प्रदर्शन और लंबे समय तक चलने वाला स्थायित्व प्रदान करता है। यह वाहक वेफर चिप पर एपिटैक्सियल परत बढ़ने की प्रक्रिया में उपयोग के लिए आदर्श है।

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उत्पाद वर्णन

MOCVD के लिए हमारे SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्स में उच्च ताप और संक्षारण प्रतिरोध है जो अत्यधिक वातावरण में भी महान स्थिरता सुनिश्चित करता है।
MOCVD के लिए इस SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्स की विशेषताएं बकाया हैं। यह ग्रेफाइट पर एक उच्च शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग के साथ बनाया गया है, जो इसे 1600 डिग्री सेल्सियस तक के उच्च तापमान पर ऑक्सीकरण के लिए अत्यधिक प्रतिरोधी बनाता है। इसके निर्माण में उपयोग की जाने वाली CVD रासायनिक वाष्प जमाव प्रक्रिया उच्च शुद्धता और उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध सुनिश्चित करती है। वाहक की सतह घनी होती है, जिसमें महीन कण होते हैं जो इसके संक्षारण प्रतिरोध को बढ़ाते हैं, जिससे यह अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मकों के लिए प्रतिरोधी बन जाता है।
MOCVD के लिए हमारे SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्स एक समान थर्मल प्रोफाइल सुनिश्चित करते हैं, सर्वोत्तम लैमिनार गैस प्रवाह पैटर्न की गारंटी देते हैं। यह किसी भी संदूषण या अशुद्धियों को वेफर में फैलने से रोकता है, जिससे यह क्लीनरूम वातावरण में उपयोग के लिए आदर्श बन जाता है। सेमीकोरेक्स चीन में SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर का बड़े पैमाने पर निर्माता और आपूर्तिकर्ता है, और हमारे उत्पादों को अच्छी कीमत का लाभ है। हम सेमीकंडक्टर उद्योग में आपके दीर्घकालिक भागीदार बनने की आशा करते हैं।


MOCVD के लिए SiC कोटेड ग्रेफाइट बेस ससेप्टर्स के पैरामीटर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश

एसआईसी-सीवीडी गुण

क्रिस्टल की संरचना

एफसीसी β चरण

घनत्व

जी / सेमी ³

3.21

कठोरता

विकर्स कठोरता

2500

अनाज आकार

मैं

2 ~ 10

रासायनिक शुद्धता

%

99.99995

ताप की गुंजाइश

J·kg-1 ·K-1

640

उच्च बनाने की क्रिया तापमान

2700

फेलेक्सुरल स्ट्रेंथ

एमपीए (आरटी 4-पॉइंट)

415

यंग का मापांक

Gpa (4pt बेंड, 1300â)

430

थर्मल विस्तार (सीटीई)

10-6K -1

4.5

ऊष्मीय चालकता

(डब्ल्यू / एमके)

300


MOCVD के लिए SiC कोटेड ग्रेफाइट ससेप्टर की विशेषताएं

- छीलने से बचें और पूरी सतह पर कोटिंग सुनिश्चित करें
उच्च तापमान ऑक्सीकरण प्रतिरोध: 1600 डिग्री सेल्सियस तक उच्च तापमान पर स्थिर
उच्च शुद्धता: उच्च तापमान क्लोरीनीकरण स्थितियों के तहत सीवीडी रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा बनाई गई।
संक्षारण प्रतिरोध: उच्च कठोरता, घनी सतह और महीन कण।
संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल, क्षार, नमक और कार्बनिक अभिकर्मक।
- सर्वोत्तम लामिनार गैस प्रवाह पैटर्न प्राप्त करें
- थर्मल प्रोफाइल की गारंटी समता
- किसी भी संदूषण या अशुद्धियों के प्रसार को रोकें




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