पोरस एल्यूमिना चक

अर्धविराम झरझरा एल्यूमिना चक सबसे नाजुक वेफर्स के लिए उद्देश्य-निर्मित हैं। उनका झरझरा डिजाइन चक सतह पर सुसंगत वैक्यूम वितरण का आश्वासन प्रदान करता है, जो स्थानीयकृत तनाव को कम करता है, और किनारे की छड़ी और टूटने को रोकने में सहायता करता है। मैकेनिकल क्लैम्पिंग (ठोस या अन्यथा) माइक्रोप्रोरस नेटवर्क के रूप में प्रभावशाली नहीं है, जो कि अधिक से अधिक यांत्रिक तनाव के बिना नाजुक वेफर्स को रखता है, जबकि वेफर को सुरक्षित रूप से ठीक करता है, क्योंकि माइक्रोप्रोरस संरचना पहनने को रोकती है और एक कोमल पकड़ प्रदान करती है। पूरे चक सतह पर समान सोखना की आवश्यकता वेफर्स के लिए विशेष रूप से महत्वपूर्ण है जो बड़े और पतले होते हैं जो स्वचालित हैंडलिंग के दौरान और उच्च सटीक प्रसंस्करण चरणों को निष्पादित करते समय बहुत कम तनाव को सहन कर सकते हैं।

35-40% पोरसिटी के लिए अनुकूलित, चक इंटर-कनेक्टिंग छिद्रों का एक नेटवर्क विकसित करता है जो प्रक्रिया बलों के खिलाफ जगह में वेफर को पकड़ने के लिए पर्याप्त यांत्रिक शक्ति प्रदान करते हुए हवा को खाली करने के लिए काम करता है। इसका मतलब यह है कि वैक्यूम होल्डिंग बल वेफर्स को स्थानांतरित करते समय स्थिर रहता है, यहां तक ​​कि तेजी से उत्तराधिकार में, एक जटिल प्रक्रिया अनुक्रम का प्रदर्शन करते हुए। एक माइक्रोप्रोरस नेटवर्क के भीतर सोखना वैक्यूम सिस्टम के भीतर दबाव में अंतर पैदा करने की तुलना में अधिक स्थिरता प्रदान करता है।

ब्लैक एल्यूमिना (Al₂o₃), अपने आप में अंतिम सामग्री है क्योंकि यह कठिन, पहनने के लिए प्रतिरोधी और रासायनिक रूप से अक्रिय है। यह किसी भी प्रशंसनीय सतह को नीचा नहीं करेगा और वेफर (प्लेसमेंट/ वैक्यूम सोखना/ शीतलन) के बार -बार चक्रों के माध्यम से अप्रभावित है। द ब्लैकअल्युमिनाआयामी रूप से स्थिर है, इसलिए प्रक्रिया (हीटिंग और कूलिंग) या पर्यावरण में स्वाभाविक रूप से होने वाले तापमान में परिवर्तन के बावजूद नहीं बदलेगा।

रासायनिक प्रतिरोध ब्लैक एल्यूमिना का एक और महत्वपूर्ण लाभ है। चक अपनी संरचनात्मक अखंडता से समझौता किए बिना आक्रामक सफाई, प्लाज्मा और नक़्क़ाशी वातावरण में काम कर सकता है। इसकी जड़ता वेफर सतह के संदूषण को रोकती है, उच्च प्रक्रिया शुद्धता और सफाई मानकों के पालन को सुनिश्चित करती है।

माइक्रोप्रोरस संरचना एक सहायक सतह भी प्रदान करती है जो पतली और भंगुर वेफर्स पर तनाव एकाग्रता से राहत देती है। सटीक सतह के सपाटता और चिकनी सतह खत्म के साथ मिलकर, झरझरा एल्यूमिना चक सूक्ष्म-दरारों और खरोंच की घटना को कम कर देगा जो वेफर की अखंडता से समझौता कर सकता है।

एल्यूमिना सिरेमिकशानदार कठोरता, उच्च यांत्रिक शक्ति, विस्तार के कम थर्मल गुणांक, और उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता है जो इसे एक सटीक अर्धचालक अनुप्रयोग के लिए एक व्यावहारिक सामग्री बनाती है। इसके अलावा, इसकी रासायनिक जड़ता का मतलब है कि यह एसिड, क्षारीय और प्लाज्मा का सामना कर सकता है, जबकि पहनने-प्रतिरोध गुण स्थायित्व सुनिश्चित करते हैं, ये लाभ एल्यूमिना को माइक्रोप्रोरस वैक्यूम चक के लिए पसंद की सामग्री बनाते हैं और प्रदर्शन की विश्वसनीयता और भविष्यवाणी दोनों प्रदान करते हैं।

अंत में, झरझरा एल्यूमिना चक को वर्दी और जीवित रहने योग्य वेफर हैंडलिंग की आपूर्ति करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। इसकी microporous ब्लैक एल्यूमिना संरचना यांत्रिक तनाव को कम करते हुए और वेफर क्षति को कम करते हुए वैक्यूम सोखना (एकरूपता) भी प्रदान करती है। एक चक के रूप में, बकाया थर्मल, मैकेनिकल और रासायनिक गुणों के साथ पर्याप्त और इष्टतम पोरसिटी, कठोर निर्माण की स्थिति में वेफर सुरक्षा, मूल्य और संचालन की विश्वसनीयता को अनुकूलित करने में मदद करता है। मजबूत, वर्दी और सुरक्षित हैंडलिंग का उत्कृष्ट संयोजन कि झरझरा एल्यूमिना चक निर्माताओं की पेशकश कर सकते हैं बस दुर्लभ और अद्वितीय हैं।