AL2O3 वैक्यूम चक

अर्धविराम अलोइम वैक्यूम चक सेमीकंडक्टर उद्योग में वेफर हैंडलिंग, फिक्सेशन और प्रसंस्करण अनुप्रयोगों के लिए विकसित सटीक माइक्रोप्रोरस सिरेमिक घटक हैं। 35%-40%के नियंत्रित पोरसिटी के साथ काले एल्यूमिना से बनाया गया, यह वैक्यूम सोखना प्रक्रियाओं के लिए एक अत्यंत स्थिर, स्वच्छ और विश्वसनीय माध्यम है। चक महत्वपूर्ण प्रक्रिया चरणों के दौरान उपयोगकर्ता के नाजुक वेफर के लिए लगातार सक्शन प्रदर्शन प्रदान करने के लिए उन्नत विनिर्माण तकनीकों का उपयोग करके एक कार्यात्मक सतह पर सब्सट्रेट के सिरेमिक प्रसंस्करण को जोड़ती है।

कालाएल्यूमिना (al₂o₃); धातुओं और पॉलिमर की तुलना में यांत्रिक शक्ति, कठोरता और रासायनिक प्रतिरोध का एक अनूठा संतुलन होता है। वैक्यूम चक की सतह पर लगातार वैक्यूम वितरण प्रदान करने के लिए नियंत्रित पोरसिटी के लिए माइक्रोप्रोरस संरचना को अनुकूलित किया गया है। एक वेफर चक के पूर्ण सतह क्षेत्र में लगातार वैक्यूम वितरण स्थानीयकृत तनाव सांद्रता को कम करता है, वेफर विरूपण, किनारे छड़ी और टूटने के जोखिम को सीमित करता है। चूंकि वेफर फैब्रिकेशन व्यास में बढ़ता रहता है, और ज्यामितीय और उपकरण अधिक नाजुक हो जाते हैं, प्रक्रिया उपज और बेहतर वेफर हैंडलिंग विश्वसनीयता महत्वपूर्ण आवश्यकताएं बन जाती हैं।

35-40% की नियंत्रित पोरसिटी इस वैक्यूम चक की एक प्रमुख विशेषता का प्रतिनिधित्व करती है। एक अनुकूलित छिद्र नेटवर्क छिद्र क्षेत्र से हवा की निकासी के दौरान अशांति को कम कर सकता है, और यांत्रिक शक्ति और स्थायित्व को संरक्षित करते हुए होल्डिंग बल को बनाए रख सकता है। इसके विपरीत, मैकेनिकल क्लैंप प्लेटों का उपयोग करते हैं जो स्थानीयकृत तनाव बिंदुओं का कारण बनते हैं और व्यक्तिगत वेफर के यांत्रिक गुणों के खिलाफ काम करते हैं। इसलिए, माइक्रोप्रोरस एल्यूमिना सतह, यांत्रिक दृष्टिकोणों के दौरान वेफर्स को सपाट और असंगत रूप से रखने में बेहतर है। यह उच्च-तकनीकी अर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए एक आदर्श उम्मीदवार के लिए बनाता है जो वेफर फ्लैटनेस और चिकनी पकड़ से लाभान्वित होते हैं, जिसमें लिथोग्राफी, नक़्क़ाशी, बयान और मेट्रोलॉजी शामिल हैं।

एक थर्मल दृष्टिकोण से, ब्लैक एल्यूमिना सामग्री में ऊंचे तापमान के दौरान आयामी स्थिरता बनाए रखने की यह क्षमता उत्कृष्ट है। थर्मल विस्तार के एक कम गुणांक के साथ, एक वैक्यूम चक हीटिंग और कूलिंग चक्रों के दौरान भी सटीक रहने में सक्षम है, जो कि तेजी से तापमान में उतार -चढ़ाव के कारण एक महत्वपूर्ण पहलू है जो अक्सर वेफर प्रसंस्करण वातावरण में होता है। इस सिरेमिक की कठोरता और पहनने के प्रतिरोध भी चक की दीर्घायु को बढ़ाते हैं, उपकरण ऑपरेटरों के लिए रखरखाव की आवृत्ति को कम करते हैं, और स्वामित्व की कुल लागत को कम करते हैं।

एल्यूमिना सिरेमिक की रासायनिक जड़ता अभी तक एक और पर्याप्त संपत्ति है। सेमीकंडक्टर फैब्स में, उपकरणों के घटकों को बिगड़ने के बिना आक्रामक रसायनों, सफाई एजेंटों या प्लाज्मा वातावरण को सहन करने की आवश्यकता होती है। ब्लैक एल्यूमिना में जंग, ऑक्सीकरण और/या सतह संदूषण का विरोध करने के लिए उत्कृष्ट गुण हैं, और इस तरह उत्साहित ऑपरेटिंग चक्र अवधि के दौरान संरचना और संरचनात्मक/चरणबद्ध स्थिरता को बनाए रखता है। जगह में इस संपत्ति का मतलब यह भी है कि वेफर्स को संदूषण के अधीन नहीं किया जाता है जो सर्किट से बचाता है कि वे उपकरण कैसे प्रदर्शन करते हैं, और क्लीनरूम प्रोटोकॉल पर भी भरोसा करते हैं।

न केवल Al₂o₃ वैक्यूम चक उत्कृष्ट कार्यात्मक प्रदर्शन प्रदर्शित करता है, सतह खत्म भी कसकर नियंत्रित है। फिनिश को उच्च-सटीक मशीनिंग और पॉलिशिंग प्रक्रियाओं का उपयोग करके बनाया गया है जो एक समान समतलपन और चिकनाई पैदा करते हैं ताकि नाजुक वेफर्स को बिना खरोंच या सतह के नुकसान के साथ आयोजित किया जा सके। सामग्री के अत्यधिक इंजीनियर पोरसिटी सक्शन और सतह संरक्षण के बीच एक उपयुक्त संतुलन पैदा करते हैं, जो पतले, भंगुर सब्सट्रेट को किसी भी नुकसान से बचते हुए, वेफर पर पर्याप्त होल्डिंग बल की अनुमति देते हैं।

एक परिचालन दृष्टिकोण से, समकालीन अर्धचालक विनिर्माण में Al₂o₃ वैक्यूम चक महत्वपूर्ण घटक हैं। यह स्वचालन की सुविधा देता है, जिससे वेफर्स को लेने, रखा, संरेखित और संसाधित किया जा सकता है, जो प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा करता है। एल्यूमिना का काला रंग भी एड्स करता है और ऑप्टिकल निरीक्षण और माप प्रक्रियाओं के दौरान प्रकाश प्रतिबिंब को कम करके व्यावहारिक लाभ प्रदान करता है, विशेष रूप से जहां उच्च-सटीक ऑप्टिकल उपकरणों का उपयोग किया जाता है।

एक अच्छी तरह से विचार किए गए डिजाइन के साथ उन्नत सिरेमिक तकनीक को मिलाकर, अल-वैक्यूम चक में, सेमीकंडक्टर निर्माताओं के वेफर हैंडलिंग चुनौतियों के लिए एक लंबे समय तक चलने वाले, उच्च-प्रदर्शन समाधान में उपज हुई है। Al₂o₃ वैक्यूम चक कम वेफर हानि के माध्यम से उत्पादकता में सुधार करता है, स्थायित्व के कारण डाउनटाइम को कम करता है, और लगातार वैक्यूम होल्डिंग बल प्रदान करके प्रक्रिया स्थिरता को बढ़ाता है।

अर्धविराम al₂o₃ वैक्यूम चक microporous black से बनाअल्युमिनाकेवल एक स्थिरता से अधिक है; यह सटीक अर्धचालक विनिर्माण का एक महत्वपूर्ण प्रवर्तक है। अपने अनुकूलित पोरसिटी, असाधारण भौतिक गुणों और मजबूत प्रदर्शन के साथ, यह सबसे अधिक मांग वाली निर्माण प्रक्रियाओं में विश्वसनीय वेफर हैंडलिंग सुनिश्चित करता है। उच्च उपज, बेहतर प्रक्रिया दक्षता, और बेहतर उपकरण प्रदर्शन प्राप्त करने के इच्छुक निर्माताओं के लिए, ब्लैक एल्यूमिना वैक्यूम चक एक अपरिहार्य विकल्प है।