In semiconductor fabrication, etching is one of the major steps, along with photolithography and thin-film deposition. It involves removing unwanted materials from the surface of a wafer using chemical or physical methods. This step is carried out after coating, photolithography, and developing. It ......
और पढ़ेंSiC सब्सट्रेट में सूक्ष्म दोष हो सकते हैं, जैसे थ्रेडिंग स्क्रू डिस्लोकेशन (TSD), थ्रेडिंग एज डिस्लोकेशन (TED), बेस प्लेन डिस्लोकेशन (BPD), और अन्य। ये दोष परमाणु स्तर पर परमाणुओं की व्यवस्था में विचलन के कारण होते हैं। SiC क्रिस्टल में मैक्रोस्कोपिक अव्यवस्थाएं भी हो सकती हैं, जैसे Si या C समावेशन,......
और पढ़ेंशोध परिणामों के अनुसार, TaC कोटिंग ग्रेफाइट घटक जीवन को बढ़ाने, रेडियल तापमान एकरूपता में सुधार करने, SiC उर्ध्वपातन स्टोइकोमेट्री को बनाए रखने, अशुद्धता प्रवासन को दबाने और ऊर्जा खपत को कम करने के लिए एक सुरक्षा और अलगाव परत के रूप में कार्य कर सकती है। अंततः TaC-लेपित ग्रेफाइट क्रूसिबल सेट से SiC ......
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